【技术实现步骤摘要】
腔室组件及测试设备
[0001]本技术涉及传感器检测设备领域，具体来说是一种检测压力传感器的腔室组件及测试设备。
技术介绍
[0002]传感器是工业应用中很重要的一部分，传感器产品的高质量对生产及工程应用有着举足轻重的地位。特别是对于压力传感器，通常被用于监测气动、轻载液压、制动压力、机油压力、传动装置等关键系统的压力、液力、流量及液位来反馈工业设备的性能。
[0003]压力传感器一般是具有外壳、压力感应接口端以及高电平信号输出的压力测量装置。具体地，其一端是被配置为压力接口，另一端被配置为电缆或连接器。
[0004]压力传感器制备完成后，出厂前必须进行校准或者检测，确保实际压力与显示压力一致。现有的对压力传感器进行校准或者检测的方式包括：给压力传感器供气充正压；或者，抽气给压力传感器抽负压。然而，目前现在市面上没用发现实用性强、操作简单的传感器性能测试设备，使得传感器的测试工作困难。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种腔室组件及测试设备，用于提升腔室组件内的温度均一性，提升测试准
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种腔室组件，其特征在于，所述腔室组件包括：基座，所述基座包括相互连通的容置腔和气孔；以及放置于所述容置腔中的流道结构，所述流道结构的一侧表面上包括朝向所述基座突出的通道，所述通道的入口和所述气孔相对；其中，所述通道还包括主流道、第一分支流道和第二分支流道，所述第一分支流道和所述第二分支流道分别连通所述主流道，且所述第一分支流道和所述第二分支流道分别分布于所述主流道相对的两侧。2.根据权利要求1所述的腔室组件，其特征在于，所述主流道的延伸方向、所述第一分支流道的延伸方向和所述第二分支流道的延伸方向相互平行。3.根据权利要求2所述的腔室组件，其特征在于，所述主流道的宽度大于所述第一分支流道的宽度，且所述主流道的宽度大于所述第二分支流道的宽度。4.根据权利要求2所述的腔室组件，其特征在于，所述主流道为T型流道，所述通道的入口位于所述T型流道的一端，所述T型流道另一端的两个分支分别连通所述第一分支流道和所述第二分支流道。5.根据权利要求4所述的腔室组件，其特征在于，所述第一分支流道相对的两端分别包括第一子流道，所述第一子流道和所述第一分支流道连通，所述第一子...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁进书，于成奇，高洪连，
申请(专利权)人：苏州纳芯微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。