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本实用新型揭示了一种腔室组件及测试设备，所述腔室组件包括：基座，所述基座包括相互连通的容置腔和气孔；以及放置于所述容置腔中的流道结构，所述流道结构的一侧表面上包括朝向所述基座突出的通道，所述通道的入口和所述气孔相对；其中，所述通道还包括主流...
该专利属于苏州纳芯微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州纳芯微电子股份有限公司授权不得商用。

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