抗蚀剂剥离液制造技术

由于实施4K、8K这样的高精细度的广播传输格式，电视的画面变大。因此，为了在元件形成时不发生失败，光致抗蚀剂的烧成温度上升，光致抗蚀剂变得难以剥离。另外，由于使用大量的抗蚀剂剥离液，因此为了降低其成本，需要再生率高的抗蚀剂剥离液。提供一种抗蚀剂剥离液，其能够将经硬烘焙的抗蚀剂剥离，还能够进行蒸馏再生，所述抗蚀剂剥离液的特征在于，包含：3级多胺化合物；极性溶剂，所述极性溶剂包含作为直链酰胺的选自N

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】抗蚀剂剥离液


[0001]本专利技术涉及用于将光刻时使用的光致抗蚀剂剥离的抗蚀剂剥离液。

技术介绍

[0002]已经提出了能够提供4K、8K这样的高画质的广播传输格式，而且也已经开始进行测试广播。与其相应地电视也逐渐提供大型画面。液晶电视是目前电视的主流，对应于像素的晶体管形成于大画面用的透明基板(玻璃)上。该形成利用了光刻技术。
[0003]通过光刻在大画面上形成元件时，施行1个元件的失败也不允许的严格的生产管理。因此，要求不发生与蚀刻错误直接相关的所涂布的光致抗蚀膜的剥离。其结果，有曝光前的光致抗蚀剂的烘焙处理(也称作烧成处理)的温度上升的倾向。
[0004]专利文献1公开了一种光致抗蚀剂去除用剥离剂组合物，其特征在于，包含：一种以上的胺化合物；非质子性极性溶剂、亚烷基二醇单烷基醚系溶剂、或它们的混合物；选自由双(2
‑
羟基乙基)醚、亚烷基二醇双(羟基乙基)醚、及[2
‑
(2
‑
羟基乙氧基)乙氧基]乙醇组成的组中的一种以上的溶剂；以及包含三唑系化合物、四唑系化合物、或结构本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种抗蚀剂剥离液，其特征在于，包含：3级多胺化合物；极性溶剂，所述极性溶剂包含作为直链酰胺的选自N
‑
甲基甲酰胺、N,N
‑
二甲基甲酰胺、N,N
‑
二乙基甲酰胺、N,N
‑
二甲基乙酰胺、N,N
‑
二乙基乙酰胺中的至少一种、2
‑
吡咯烷酮及水；以及0.0001～0.01质量％的金属表面保护剂，所述直链酰胺的含量比所述2
‑
吡咯烷酮的含量多。2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液，其特征在于，所述3级多胺化合物包含选自四甲基乙二胺、N,N,N
’
,N
’‑
四甲基
‑
1,3
‑
二氨基丁烷、N,N,N
’
,N”,N
”‑
五甲基二亚乙基三胺、2
‑
二亚乙基氨基乙醇、二甲基氨基乙醇、三甲基氨基甲基乙醇胺、三(3
‑
氨基丙基...

【专利技术属性】
技术研发人员：渊上真一郎，鬼头佑典，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：