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抗蚀剂剥离液制造技术
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文档序号:30660805
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由于实施4K、8K这样的高精细度的广播传输格式,电视的画面变大。因此,为了在元件形成时不发生失败,光致抗蚀剂的烧成温度上升,光致抗蚀剂变得难以剥离。另外,由于使用大量的抗蚀剂剥离液,因此为了降低其成本,需要再生率高的抗蚀剂剥离液。提供一种抗...
该专利属于松下知识产权经营株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下知识产权经营株式会社授权不得商用。
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