检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供了一种检测装置，涉及晶锭质量检测技术领域，该检测装置包括支架、槽体和转动机构，支架开设有槽体，槽体用于放置待测晶锭；转动机构位于槽体内，用于抵持待测晶锭。驱动机构用于驱动转动机构转动，以使转动机构带动待测晶锭转动。由此，在进行晶锭的外观质量检测时，可以将待测晶锭放置在槽体中，使得晶锭侧面抵持于转动机构，以此通过驱动机构驱使转动机构转动，转动机构就能够带动待测晶锭转动，使得紫外线灯照射待测晶锭的侧面的不同区域，避免了工作人员的手部与紫外线光的直接接触，从而能够防止工作人员的手部受伤，更加安全。更加安全。更加安全。

【技术实现步骤摘要】
检测装置


[0001]本专利技术涉及晶锭质量检测
，具体而言，涉及一种检测装置。

技术介绍

[0002]碳化硅(SiC)作为新兴的第三代半导体核心材料，具有宽禁带、高临界击穿电场强度、高电子迁移率以及良好的抗辐照性和化学稳定性等优异特性，这使其成为一种广泛应用的重要衬底晶片材料，在航空器件、新能源汽车、轨道交通和家用电器等领域展现了良好的应用前景。因此，需要对碳化硅晶锭进行外观质量检测。
[0003]针对晶锭的外观检测，通常是利用紫外线灯照射晶锭的各面，人眼观察晶锭是否有缺陷。在对晶锭的侧面进行检测时，需要使晶锭绕自身轴线转动，从而使紫外线灯能够照射侧面的不同区域。
[0004]然而，现有技术中是工作人员手动将晶锭置于UV下，通过手部的活动使晶锭绕自身轴线转动，该过程中工作人员的手部暴露在紫外线灯下，长久以往可能会导致工作人员的手部皮肤表面灼伤、刺痛、晒黑，甚至引发皮炎，导致色斑、暗沉皮肤老化及癌变症状。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种检测装置，其能够在检测晶锭质量时，使晶锭绕自身轴线转动，避免了紫外线灯直接照射人体，更加安全。
[0006]本专利技术实施例提供了一种检测装置，该检测装置包括支架、槽体和转动机构，所述支架开设有所述槽体，所述槽体用于放置待测晶锭；转动机构位于所述槽体内，用于抵持待测晶锭。驱动机构用于驱动所述转动机构转动，以使所述转动机构带动待测晶锭转动。
[0007]由此，在进行晶锭的外观质量检测时，可以将待测晶锭放置在槽体中，使得晶锭侧面抵持于转动机构，以此通过驱动机构驱使转动机构转动，转动机构就能够带动待测晶锭转动，使得紫外线灯照射待测晶锭的侧面的不同区域，避免了工作人员的手部与紫外线光的直接接触，从而能够防止工作人员的手部受伤，更加安全。
附图说明
[0008]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0009]图1为本专利技术实施例检测装置在第一视角下的示意图；
[0010]图2为本专利技术实施例检测装置在第二视角下的示意图；
[0011]图3为本专利技术实施例检测装置在第三视角下的示意图。
[0012]图标:1
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支架；10
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基座；101
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主体部分；103
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凸起部分；11
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槽体；12
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第一侧板；14
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第一支板；16
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第二侧板；18
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第二支板；3
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转动机构；30
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转动件；301
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第一旋转轴；303
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滚
轮；32
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传动件；321
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第二旋转轴；323
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转动轮；5
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驱动机构；50
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连动杆；501
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第一杆段；503
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第二杆段；52
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施力杆；54
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握持套；541
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摩擦纹路；7
‑
晶锭。
具体实施方式
[0013]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0014]因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0015]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0016]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0017]此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0018]在本专利技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0019]针对晶锭的外观检测，通常是利用紫外线(UV)灯照射晶锭的各面，如晶锭的硅面、碳面以及侧面的多个小面进行拍照记录，人眼观察晶锭是否有缺陷，例如是否存在多型、多晶、晶花、杂晶等缺陷，存在以上缺陷时需要对晶锭的有效厚度进行扣除。在对晶锭的侧面进行检测时，需要使晶锭绕自身厚度方向的轴线转动，从而使紫外线灯能够照射侧面的不同区域。
[0020]然而，现有技术中是工作人员手动将晶锭置于UV下，通过手部的活动使晶锭绕自身轴线方向转动，该过程中工作人员的手部暴露在UV灯下，由于UV灯具有强辐射作用，工作人员长期直接接触紫外线光可能会导致手部皮肤表面灼伤、刺痛、晒黑，甚至引发皮炎，导致色斑、暗沉皮肤老化及癌变症状。
[0021]针对上述现有技术中的缺陷，本专利技术实施例提供了以下实施例来进行改善。
[0022]请参考图1至图3，本专利技术实施例提供了一种检测装置，该检测装置包括支架1和转
动机构3，支架1开设有槽体11，槽体11用于放置待测晶锭7；转动机构3位于槽体11内，用于抵持待测晶锭7。驱动机构5用于驱动转动机构3转动，以使转动机构3带动待测晶锭7转动。
[0023]由此，在进行晶锭7的外观质量检测时，可以将待测晶锭7放置在槽体11中，使得晶锭7侧面抵持于转动机构3，以此通过驱动机构5驱使转动机构3转动，转动机构3就能够带动待测晶锭7转动，使得紫外线灯照射待测晶锭7的侧面的不同区域，避免了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，其特征在于，包括：支架；槽体，所述支架开设有所述槽体，所述槽体用于放置待测晶锭；转动机构，位于所述槽体内，用于抵持待测晶锭；驱动机构，用于驱动所述转动机构转动，以使所述转动机构带动待测晶锭转动。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述支架包括：基座；相间隔地设置于所述基座的第一支板和第二支板；相对且间隔地设置于所述基座的第一侧板和第二侧板，所述第一侧板连接于所述第一支板的第一侧和所述第二支板的第一侧之间，所述第二侧板连接于所述第一支板的第二侧与所述第二支板的第二侧之间；所述基座、所述第一支板、所述第二支板、所述第一侧板和所述第二侧板共同围成所述槽体；所述转动机构可转动地连接于所述第一侧板和所述第二侧板。3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，沿着所述槽体的底部至开口的方向，所述槽体的内径逐渐增大。4.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述转动机构包括：至少一转动件，每一所述转动件可转动地连接于所述第一侧板和所述第二侧板两者中的至少一者，用于抵持待测晶锭；传动件，相对于所述转动件靠近所述基座，可转动地连接于所述第一侧板和所述第二侧板两者中的至少一者，并与所述驱动机构连接，所述传动件用于在所述驱动机构的作用下驱使所述转动件转动，以使所述转动件带动待测晶锭转动。5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，每一所述转动件包括：第一旋转轴，可转动地穿设于所述第一侧板和所述第二侧板两者中的至少一者；滚轮，用于抵持待测晶锭，所述滚轮围设于所述第一旋转轴的周缘，并与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗思瑶，张洁，蔡少忠，沈艳，许佳锋，
申请(专利权)人：福建北电新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：