蓝宝石研磨废液中的碳化硼的回收方法和碳化硼回收悬浮液以及蓝宝石研磨液技术

技术编号:30646632 阅读:21 留言:0更新日期:2021-11-04 00:55
本发明专利技术涉及研磨抛光领域,具体涉及一种蓝宝石研磨废液中的碳化硼的回收方法和碳化硼回收悬浮液以及蓝宝石研磨液。该回收方法包括:向所述废液中加水稀释,得到稀释废液,对所述稀释废液进行热处理,并进行沉降,形成碳化硼游离层、蓝宝石粉的液层和碳化硼沉积层,取碳化硼沉积层,以得到回收的碳化硼;其中,所述热处理的温度为40

【技术实现步骤摘要】
蓝宝石研磨废液中的碳化硼的回收方法和碳化硼回收悬浮液以及蓝宝石研磨液


[0001]本专利技术涉及研磨抛光领域,具体涉及一种蓝宝石研磨废液中的碳化硼的回收方法和碳化硼回收悬浮液以及蓝宝石研磨液。

技术介绍

[0002]蓝宝石晶片研磨一般采取含有新配碳化硼的研磨液进行表面精磨,从而控制表面的粗糙度和表面质量。双面研磨设备用于平面硬脆材料的双面研磨抛光加工,适用于蓝宝石晶片的研磨。双面研磨设备利用游星轮片将工件置于双面研磨机的上下盘之间,游轮片分别和内齿圈、太阳轮啮合,二者采用不同转速带动游星轮进行公转和自转,工件在游轮的带动下在上下研磨光盘间做行星运动,然后加入相宜的液体研磨材料,通过蠕动泵进入研磨设备内,在工件和研磨盘产生相对运动时,结合两运动表面之间的研磨液的左右,对工件表面形成磨削或抛光加工,使工件获得极高的平坦度和表面光洁。
[0003]在蓝宝石晶片的研磨工艺中,碳化硼研磨液经一次研磨后直接排放到收集桶内。其中一次研磨的研磨时间为20min/盘,消耗研磨液约为1.5L/盘。然后收集桶内的直排研磨液,再给前道工序,对蓝宝石晶片的厚度进行减薄,其使用方式为循环使用,研磨时间在60~90min/盘,每12小时需求量为15L/台。对每日减薄之后的研磨液,进行废弃。通过板换压滤设备,收集废弃碳化硼,进行废品处理报废。
[0004]由于循环机台效率慢,机台多,导致循环机台对研磨液的需求量大于直排液产生的量,因此需要配置新液来补充不足部分。例如,5台直排效率对应14台循环机效率,直排产生120升研磨液,而循环机台需求210升的研磨液。每日需配置90升的新研磨液补充不足部分,碳化硼需求量为30kg,由于碳化硼的价格高达11万/吨,添加新碳化硼的使用量会大大增加加工成本。因此需要对蓝宝石研磨废液中的碳化硼进行回收。
[0005]传统的对蓝宝石研磨废液中的碳化硼进行回收的方法往往采用酸洗、碱洗,以及高压或板框过滤等工艺。传统的酸洗、碱洗、高压或板框过滤的方法,不仅工艺复杂、工艺条件较为严格、耗时较长,而且酸洗、碱洗的工艺往往需要对废弃的酸液、碱液进行排放,对于环境十分不友好。因此,亟需开发一种对环境友好,工艺条件简单并且节省成本和时间的蓝宝石研磨废液中的碳化硼的回收方法。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的是为了克服现有技术存在的上述问题,提供一种蓝宝石研磨废液中的碳化硼的回收方法和碳化硼回收悬浮液以及蓝宝石研磨液,该蓝宝石研磨废液中的碳化硼的回收方法,避免了酸洗、碱洗的复杂工艺,因此对环境友好,工艺简单,节省成本和时间,且能够有效回收蓝宝石研磨废液中的碳化硼,节省资源。
[0007]为了实现上述目的,本专利技术一方面提供一种蓝宝石研磨废液中的碳化硼的回收方法,该方法包括:
[0008]向所述废液中加水稀释,得到稀释废液,对所述稀释废液进行热处理,并进行沉降,形成碳化硼游离层、蓝宝石粉的液层和碳化硼沉积层,取碳化硼沉积层,以得到回收的碳化硼;
[0009]其中,所述热处理的温度为40

80℃。
[0010]本专利技术第二方面提供一种碳化硼回收悬浮液,该碳化硼回收悬浮液含有上述的方法得到的回收的碳化硼。
[0011]本专利技术第三方面提供一种蓝宝石研磨液,所述蓝宝石研磨液含有上述的碳化硼回收悬浮液和新鲜蓝宝石研磨液。
[0012]本专利技术可以取得如下的有益效果:
[0013]1、本专利技术提供的蓝宝石研磨废液中的碳化硼的回收方法,避免了传统对蓝宝石研磨废液中的碳化硼进行回收的方法中采用的酸洗、碱洗、高压或板框过滤等工艺,因此工艺简单,节省成本和时间,当日产生的蓝宝石研磨废液当日就可以实现回收再利用。并且避免了酸洗、碱洗工艺需要对废弃的酸液、碱液进行排放的问题,对于环境友好。
[0014]2、本专利技术提供的蓝宝石研磨废液中的碳化硼的回收方法,能够有效回收蓝宝石研磨废液中的碳化硼,节省资源。
附图说明
[0015]图1是本专利技术提供的蓝宝石研磨废液中的碳化硼的回收方法的流程图。
具体实施方式
[0016]在本文中所披露的范围的端点和任何值都不限于该精确的范围或值,这些范围或值应当理解为包含接近这些范围或值的值。对于数值范围来说,各个范围的端点值之间、各个范围的端点值和单独的点值之间,以及单独的点值之间可以彼此组合而得到一个或多个新的数值范围,这些数值范围应被视为在本文中具体公开。
[0017]第一方面,本专利技术提供了一种蓝宝石研磨废液中的碳化硼的回收方法,该方法包括:
[0018]向所述废液中加水稀释,得到稀释废液,对所述稀释废液进行热处理,并进行沉降,形成碳化硼游离层、蓝宝石粉的液层和碳化硼沉积层,取碳化硼沉积层,以得到回收的碳化硼;
[0019]其中,所述热处理的温度为40

80℃(例如,可以为40、41、42、43、44、45、46、47、48、49、50、52、55、58、60、62、65、68、70、72、75、78、80℃)。
[0020]能够理解的是,所述碳化硼游离层呈现表层黑色油膜状,所述蓝宝石粉的液层呈现微白色液体状。
[0021]根据本专利技术,优选的,按质量计,所述稀释用水的量为所述废液用量的2

7倍(例如,可以为2、3、4、5、6、7倍),更优选为3

5倍。
[0022]根据本专利技术,为了进一步提高回收的碳化硼的纯度和回收率,优选的,所述沉降的时间为6

18小时(例如,可以为6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16、17、18小时)。综合考虑节省时间以及回收的碳化硼的纯度和回收率,更优选的,所述沉降的时间为10

14小时。
[0023]其中,所述沉降可以通过静置的方式实现。
[0024]根据本专利技术,优选的,当所述热处理的温度为40

50℃时,能够进一步在节省成本的同时,节省时间,同时保证回收得到的碳化硼的纯度和回收率。
[0025]根据本专利技术,优选的,为了进一步提高回收的碳化硼的纯度和回收率,该方法还包括:在对所述稀释废液进行热处理前,将所述稀释废液进行固液分离。
[0026]其中,所述固液分离的方法不受特别的限制,优选的,所述固液分离的方法可以为过滤。更优选的,所述过滤采用过滤袋,所用过滤袋的目数为180

220目,所述过滤袋可以循环使用以进一步节省成本。
[0027]第二方面,本专利技术提供了一种碳化硼回收悬浮液,该碳化硼回收悬浮液含有上述方法得到的回收的碳化硼。
[0028]根据本专利技术,优选的,所述碳化硼回收悬浮液还含有润滑液和悬浮液。
[0029]根据本专利技术,所述润滑液可以为本领域常用的润滑液,优选的,所述润滑液选自润滑剂油剂,润滑剂水剂,更优选为润滑剂水剂。
[0030]其中,所述润滑剂油剂、润滑剂水剂的具体类型可以为本领域的常规选择,优选的,所述润滑剂本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石研磨废液中的碳化硼的回收方法,其特征在于,该方法包括:向所述废液中加水稀释,得到稀释废液,对所述稀释废液进行热处理,并进行沉降,形成碳化硼游离层、蓝宝石粉的液层和碳化硼沉积层,取碳化硼沉积层,以得到回收的碳化硼;其中,所述热处理的温度为40

80℃。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,按质量计,所述稀释用水的量为所述废液用量的2

7倍;优选的,按质量计,所述稀释用水的量为所述废液用量的3

5倍。3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述沉降的时间为6

18小时;优选的,所述沉降的时间为10

14小时。4.根据权利要求1

3中任意一项所述的方法,其特征在于,所述热处理的温度为40

50℃。5.根据权利要求1

4中任意一项所述的方法,其特征在于,该方法还包括:在对所述稀释废液进行热处理前,将所述稀释废液进行固液分离。6.一种碳化硼回收悬浮液,其特征在于,该碳化硼回收悬浮液含有权利要求1

5中任意一项所述的方法得到的回收的碳化硼。7.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:陆继波
申请(专利权)人:东旭科技集团有限公司东旭光电科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1