磁转录装置制造方法及图纸

一种磁转录装置，具有：保持母信息载体的母盘保持装置（１４），该母信息载体将强磁性薄膜构成的磁性部在盘片状基体上形成为与规定的信息信号对应的排列图案形状，保持盘片状媒体的盘片保持装置（６），对磁性部施加磁场的磁化手段，所述母盘保持装置及所述盘片保持装置使母信息载体的磁性部与磁记录媒体叠合，同时磁化手段将磁性部磁化，从而将形成于母信息载体上的信息信号的排列图案作为信息信号的磁化图案转录在盘片状媒体上，并且，所述母盘保持装置（１４）或所述盘片保持装置（６）可以使母信息载体或盘片状媒体的相对位置依次偏移并叠合。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在硬盘装置及软盘装置所使用的磁盘的制造过程中，进行磁转录记录的磁转录方法及磁转录装置。目前，作为代表性磁盘装置的硬盘驱动器已有面记录密度超过1×109比特/平方英寸的商品，甚至已在议论数年后20×109比特/平方英寸的将实际应用，技术进步发展迅猛。使这样的高记录密度成为可能的技术背景，虽然也有线记录密度提高的因素，但主要因素在于，依靠了能将宽度仅数μm磁道的信号信噪比良好地再现的磁阻元件型磁头。随着高记录密度，也要求降低浮动磁滑块相对磁记录媒体的上浮量，增大了在上浮过程中因某种原因使盘片与滑块发生接触的可能性。在这样的状况下，对记录媒体要求有更好的光滑性。此时，要使磁头正确扫描狭磁道，磁头的跟踪伺服技术起着重要的作用。使用这样的跟踪伺服技术的目前的硬盘驱动器在盘片一周中，以一定的角度间隔记录有跟踪用的伺服信号及地址信息信号、再现时钟信号等。驱动装置根据磁头以一定时间间隔再现的这些信号，检测磁头位置并加以修正，使磁头在磁道上正确扫描成为可能。上述的伺服信号、地址信息信号、再现时钟信号等是使磁头在磁道上正确扫描用的基准信号，因此，其写入(以下称格式化)必须有高的定位精度。目前的硬盘驱动器使用组装有利用光干涉的高精度位置检测装置的专用伺服装置(以下称伺服记录器)进行记录磁头的定位后进行格式化。但是，上述利用伺服记录器进行的格式化存在以下的问题。第1，边对磁头进行高精度定位边对多个磁道写入信号要化很多时间。为了提高生产率必须使多个伺服记录器同时工作。第2，引入多个伺服记录器，维护管理成本就增高。这些问题当磁道密度越高、磁道数越多时问题越严重。因此有人提出了这样的方式格式化不是使用伺服记录器，而是将预先写入有所有伺服信息的称为母盘的盘片与应格式化的磁盘重叠，从外部给予转录用的能量，以此将母盘信息一下子转录在磁盘上。作为其一个例子，例如有日本专利技术专利公开1998年第40544号公报所公开的磁转录装置。该公报公开了这样的方法在基体表面以相对信息信号的图案形状形成由强磁性材料构成的磁性部来作为磁转录用母盘，使该磁转录用母盘的表面与形成有强磁性薄膜或强磁性粉涂层的的片状或盘状磁记录媒体的表面接触，并施加规定的磁场，以此将与形成在磁转录用母盘上的信息信号对应的图案形状的磁化图案记录在磁记录媒体上。但是，盘片旋转时磁头与盘片表面的间隙一般为30nm左右，因此盘片表面的凹凸最大也必须控制在20nm左右。如果磁记录媒体上存在更大的凸起，则数据记录再现时，磁头与磁记录媒体就会接触。在这种情况下，接触的瞬间磁头与磁盘的间隔变大，信号的记录再现性能下降，并由于磁头与磁盘物理性接触，故会引起磁头寿命下降。即，上述日本专利技术专利公开1998年第40544号公报所公开的磁转录装置，虽能在瞬间完成格式化，但其缺点是，因为磁转录用母盘与磁盘在整个面接触，为了以这样的磁头、盘片之间的间隙也能经得起实际使用，必须进行严格的表面管理。还有，近年来，磁盘、光磁盘、光盘等盘状记录媒体正在进行小型化、薄型化、高容量化等的高性能化，随之如上所述，对高密度记录媒体的要求也增高。为了满足这样的要求，必须有高精度高可靠性的盘状记录媒体，制造平坦性、光滑性良好且记录信息时不会附着微小尘埃等的盘状记录媒体成为当务之急。相对上述要求，上述现有的磁转录装置无论进行怎样严格的管理，也很难避免混入微小异物，在将母盘与要格式化的磁盘叠合的瞬间，由于这样的异物在母盘或磁盘表面会产生微小的异常凸起。一般母盘的材质为硅，磁盘是硬度比此低的材质例如铝，在这样的情况下，母盘上异物引起的凸部会被形状复制成磁盘侧的凹陷，相反，在磁盘为硬度高的材质、例如为玻璃时，由于磁盘上存在的异物，母盘侧会产生缺陷，在这种情况下，其缺陷会全部反映在然后进行磁转录的磁盘上，很难高效率稳定地制造高品质的磁盘。本专利技术的目的在于，为了制造能将这样的微小凸起减小到不成问题的大小、记录再现时不会发生错误的高品质盘片，提供一种能进行正确的磁转录的磁转录装置。专利技术的公开本专利技术的磁转录装置，具有保持母信息载体的母盘保持装置，该母信息载体将强磁性薄膜构成的磁性部在盘片状基体上形成为与规定的信息信号对应的配置图案形状，保持盘片状媒体的盘片保持装置，对所述磁性部施加磁场的磁化手段，所述母盘保持装置及所述盘片保持装置使所述母信息载体的所述磁性部与所述磁记录媒体叠合，同时所述磁化手段将所述磁性部磁化，从而将形成于所述母信息载体上的信息信号的配置图案作为信息信号的磁化图案转录在所述盘片状媒体上，其特征在于，所述母盘保持装置或所述盘片保持装置可以使所述母信息载体或所述盘片状媒体的相对位置依次偏移并叠合。采用这样的磁转录装置，由于可以使母信息载体即磁转录用母盘与盘片状媒体的相对位置依次发生偏移并叠合，故可以在磁转录用母盘上使与暂设盘贴紧、分离的区域完全包含进行磁转录时从磁转录用母盘向磁盘的磁转录区域，因此，通过净化操作，可以净化磁转录时的磁转录用母盘及盘片状媒体的包括外周边缘部在内的表面，使其始终保持无异物及毛刺的光滑状态，能制造出几乎不会产生对进行了磁转录的磁盘来说会成为问题的微小凸起的、高品质的磁盘，使得磁盘的外周侧边缘部也能正确转录伺服信号，能制造高品质的磁盘。此外，本专利技术在使暂设母盘与磁盘贴紧、分离的操作重复规定次数之后，将暂设母盘更换成磁转录用母盘，使其与磁盘贴紧后进行磁转录，以此能除去磁盘上的异物，能在保证有极光滑的表面性和高可靠性的情况下，进行正确的磁转录。附图的简单说明附图说明图1为示出本专利技术第1实施形态的工序的流程图。图2所示为本专利技术第1实施形态中的磁转录装置的剖视图。图3为示出图2的磁转录装置中磁转录用母盘与暂设盘贴紧时状态的磁转录装置的剖视图。图4为示出本专利技术第1实施形态中的磁转录用母盘的与磁盘的接触面的图。图5为示出本专利技术第1实施形态中的磁转录用母盘的轮毂形状之一例的图。图6为示出本专利技术第1实施形态的磁转录装置中的气体抽吸、压送时空间S的气压的时间经过说明图。图7为示出将磁盘向一个方向磁化后的状态的立体图。图8为示出在磁盘规定区域，记录有与母盘磁性部的图案形状对应的信息信号状态的图。图9为示出将与母盘上形成的图案形状对应的信息信号转录到磁盘上的顺序的图。图10所示为对用本专利技术第1实施形态中的磁转录装置进行磁转录之后的磁盘表面用异物检测装置进行测定所得数据的图。图11所示为对用现有的磁转录装置进行磁转录之后的磁盘表面用异物检测装置进行测定所得数据的图。图12为示出磁盘表面的缺陷数与抽吸/压送次数之关系的图。图13A为示出磁转录用母盘上形成的磁道图案边缘部出现的初始状态的毛刺的图。图13B为示出重复进行抽吸/压送之后状态的毛刺的图。图13C为示出磁转录用母盘上形成的初始状态的凸起部的图。图13D为示出重复进行抽吸/压送之后状态的凸起部的图。图14为示出本专利技术第1实施形态中的磁转录用母盘的信号区域之一例的示意图。图15为示出本专利技术第1实施形态中的磁转录用母盘的信号区域的局部放大示意图。图16为示出本专利技术第1实施形态中的磁转录用母盘的信号区域的局部剖面示意图。图17为示出本专利技术第2实施形态的磁转录方法的工序的流程图。图18为示出暂设盘上润滑剂的有无与磁转录用母盘上的异物、缺陷数及抽吸/压送之本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁转录装置，具有：保持母信息载体的母盘保持装置，该母信息载体将强磁性薄膜构成的磁性部在盘片状基体上形成为与规定的信息信号对应的配置图案形状，保持盘片状媒体的盘片保持装置，对所述磁性部施加磁场的磁化手段，所 述母盘保持装置及所述盘片保持装置使所述母信息载体的所述磁性部与所述磁记录媒体叠合，同时所述磁化手段将所述磁性部磁化，从而将形成于所述母信息载体上的信息信号的配置图案作为信息信号的磁化图案转录在所述盘片状媒体上，其特征在于，所述母盘保 持装置或所述盘片保持装置可以使所述母信息载体或所述盘片状媒体的相对位置依次偏移并叠合。

【技术特征摘要】
JP 1999-4-26 117819/99;JP 1999-9-28 274204/991.一种磁转录装置，具有保持母信息载体的母盘保持装置，该母信息载体将强磁性薄膜构成的磁性部在盘片状基体上形成为与规定的信息信号对应的配置图案形状，保持盘片状媒体的盘片保持装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：桥秀幸，浜田泰三，真壁俊夫，东间清和，石田达朗，伴泰明，宫田敬三，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]