移载设备以及容器的移载方法技术

本发明专利技术提供一种移载设备(10)，其具备：收货台(30)，其设置在蒸镀装置(80)的上方，接受料盒(90)；以及移载机(20)，其将料盒(90)相对于收货台(30)进行搬入搬出，且将被搬入搬出的料盒(90)在收货台(30)与蒸镀装置(80)之间进行升降搬送，收货台(30)、移载机(20)、以及蒸镀装置(80)配置在俯视时相互重叠的位置。收货台(30)通过转动轴(35)被支撑为：能够在位于料盒(90)的升降路径上的料盒接受位置(U)、与从料盒(90)的升降路径上离开的台待机位置(T)之间进行转动。收货台(30)在料盒接受位置(U)接受料盒(90)。料盒(90)。料盒(90)。

【技术实现步骤摘要】
移载设备以及容器的移载方法


[0001]本专利技术涉及一种将收容有物品的容器移载到对该物品进行处理的处理装置的移载设备以及容器的移载方法。

技术介绍

[0002]作为上述移载设备，例如，有这样一种设备：能够将收容有基板的料盒(容器)移载到作为处理装置的处理室(例如，参照韩国登录专利第10
‑
1511963号公报)。
[0003]在韩国登录专利第10
‑
1511963号公报的移载设备中，搬送台车单元上的料盒(容器)通过料盒搬送单元而被搬入到设备内，并被载放于在处理室(处理装置)上方设置的支撑架台(收货台)。载放于支撑架台上的料盒通过被料盒移载单元(移载机)进行下降搬送而被移载到处理室。
[0004]另外，处理室上的料盒通过被料盒移载单元进行上升搬送而被载放于支撑架台。被载放于支撑架台的料盒通过料盒搬送单元而被搬出到设备外部的搬送台车单元。

技术实现思路

[0005]然而，在上述那样的移载设备中，当料盒移载单元(移载机)使料盒(容器)进行升降移动之际，料盒会与支撑架台(收货台)发生本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种移载设备，所述移载设备具备：收货台，其设置在对物品进行处理的处理装置的上方，接受收容所述物品的容器；以及移载机，其将所述容器相对于所述收货台进行搬出或者搬入，且将被搬出或者被搬入的所述容器在所述收货台与所述处理装置的装卸口之间进行升降搬送，所述收货台、所述移载机、以及所述处理装置的装卸口配置在俯视时相互重叠的位置，其特征在于，所述收货台通过设置在从所述容器的升降路径上离开的位置的转动轴而被支撑为：能够在位于所述容器的升降路径上的第1位置与从所述容器的升降路径上离开的第2位置之间进行转动，并在所述第1位置接受所述容器。2.根据权利要求1所述的移载设备，其特征在于，所述收货台通过轴心处于铅直方向的所述转动轴而被支撑为能够转动。3.根据权利要求1所述的移载设备，其特征在于，所述收货台通过轴心处于水平方向的所述转动轴而被支撑为能够转动。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的移载设备，其特征在于，所述收货台具备定位部件，该定位部件通过与被所述收货台支撑的所述容器抵接，而对所述收货台上的所述容器进行定位，所述定位部件...

【专利技术属性】
技术研发人员：末广尚也，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：