光信息记录媒体以及其制造方法技术

本发明专利技术的目的在于提供一种光信息记录媒体及其制造方法，涉及一种可进行记录.消去的相位变化型的光盘，尤其是４．７ＧＢ的ＤＶＤ－ＲＡＭ。在具有引导槽（ｇｕｉｄｅ　ｇｒｏｏｖｅ）的基片上，至少按顺序设有反射层、记录层、光射入侧保护层、第１树脂层、光射入侧基片，记录层和第１树脂层，以一个１ｎｍ以上５０ｎｍ以下的间隔而形成。本发明专利技术的光信息记录媒体与以往的光盘相比，成膜流水生产时间较短，且ｊｉｔｔｅｒ特性、交叉消去特性、循环特性得到了良好的改善。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种利用激光来记录及再生大容量信息的。
技术介绍
众所周知，作为可以利用激光来记录及再生信号的光信息记录媒体的实用例，有一种在记录层上使用相位变化材料的DVD-RAM媒介。此DVD-RAM媒介的基片直径为120mm，是一种单面的用户记录容量为4.7GB、两面的用户记录容量为9.4GB的DVD-RAM媒介(以下称为4.7GB的DVD-RAM)。4.7GB的DVD-RAM，利用波长为660nm的激光来进行信号的记录及再生，标准的数据传输率被定为22Mbps。在4.7GB的DVD-RAM中所采用的主要技术如下所述。(1)在Jpn.J.Appl.Phys.32(1993)第5324页，记述有一种为了实现大记录容量的L&G(Land and Groove)记录方式。L&G记录方式，是一种在光盘基片表面形成的Land和Groove双方记录信号的技术。为了能在相位变化型的光盘上实现L&G记录，必须足够地减小记录层处于非晶质状态时从记录媒体反射的反射光和记录层处于结晶状态时从记录媒体反射的反射光之间的相位差。(2)还有一种众所周知的技术是，为了提高重写消去率(erasingefficiency in overwrite)，也就是减小重写(overwrite)后的再生不稳定性，将非晶质状态时的记录层的光吸收率Aa和结晶状态时的记录层的光吸收率Ac的关系定为Ac＞Aa，即所谓的“热平衡结构(thermally balancedstructure)”的技术。例如，在Int.Conf.Advanced Materials(1993)2/B，Information Storage Materials，Tokyo(1994)第1035页中，介绍了这种“热平衡结构”的技术。(3)例如，在J.Appl.Phys.69(1991)第2849页中，还介绍有一种高速结晶性的记录层材料。(4)例如，在Jpn.J.Appl.Phys.37，2104(1998)中，有关与记录层连接而设置的界面层技术，公开了一种为确保良好的循环特性的技术。作为我们所开发的4.7GB的DVD-RAM结构的一个例子，是在形成有引导槽(guide groove)的聚碳酸酯制的光射入侧基片上，按顺序依次对光射入侧保护层、光射入侧氮化物界面层、记录层、反射层侧氮化物界面层、反射层侧保护层、吸收层、反射层进行层压而成膜。所述光射入侧基片的厚度为0.6mm，其直径为120mm。而磁道间距则为0.615μm。所述光射入侧保护层，是以ZnS-SiO2为主要成分，其厚度大约为150nm。所述光射入侧氮化物界面层的厚度为数nm。所述记录层以Ge-Sb-Te为主要成分，其厚度大约为9nm。所述反射层侧氮化物界面层的厚度为数nm。所述反射层侧保护层，是以ZnS-SiO2为主要成分，其厚度大约为40nm。所述吸收层以Ge或Si为主要成分，其厚度大约为40nm。所述反射层以Ag或Al为主要成分，其厚度大约为100nm。在各层的成膜工序中，考虑到批量生产的特性，通常采用晶片喷溅装置(wafer sputtering apparatus)。关于4.7GB的DVD-RAM的成膜工序，例如在专利公报2002-312979号中，公开了一种可以缩短成膜流水生产时间(tact time)的新型盘结构的方案。为了缩短成膜流水生产时间，有必要对膜的厚度比其他层要厚的光射入侧保护层进行薄膜化。在此公报中还记述了，通过将所述光射入侧保护层对为了再生信息而被照射的所述波长的激光的折射率设定成等于或小于所述光射入侧基片对相同波长的激光的折射率，即使光射入侧保护层的膜厚度变薄，也可以实现与以往相同的光学特性。在此公报中，还记载有，例如在材质ZnS-SiO2的情况下，即使对膜的厚度约为150nm的以往的光射入侧保护层大幅度地进行薄膜化(厚度为50nm以下)，也可以实现与以往的盘结构相同的光学特性，并且也可以获得与以往的盘结构同样能够满足4.7GB的DVD-RAM规格的光信息记录媒体。根据所述公报记述的专利技术，由于光射入侧保护层的膜厚度与以往相比，可以大幅度地减薄，所以，可以缩短成膜流水生产时间。然而，这种结构却出现一个问题，就是与以往的盘结构相比，其信息的记录·消去的反复特性将大幅度地退化。本来，光射入侧保护层是承担着一种隔热屏障的作用，以便即使在记录信息时，因激光的射入而使记录层被加热到融点以上，也可以避免形成有引导槽(guide groove)的光射入侧基片因受热而发生变形。如果为了缩短成膜流水生产时间而采用将光射入侧保护层的膜厚度大幅度减薄的结构，则从本质上就无法避免光射入侧基片容易发生受热变形这个问题，因而，与以往的结构相比，则出现其信息的记录·消去的反复特性将大幅度地退化的难题。
技术实现思路
本专利技术为了解决上述的问题，目的在于提供一种光信息记录媒体以及一种光信息记录媒体的制造方法，从而实现良好的记录·消去的反复特性。本专利技术所提供的利用激光进行信息的记录及再生的光信息记录媒体，在具有引导槽的基片上，至少按顺序依次设有反射层、记录层、光射入侧保护层、第1树脂层、光射入侧基片；所述记录层和所述第1树脂层之间的间隔在1nm以上50nm以下。而且，本专利技术还提供一种利用激光进行信息的记录及再生的光信息记录媒体的制造方法，在具有引导槽的基片上，至少将反射层、记录层、光射入侧保护层按顺序成膜之后，介于第1树脂层，将光射入侧基片贴合在所述光射入侧保护层上；所述记录层和所述第1树脂层，以1nm以上50nm以下的间隔而形成。而且，本专利技术还提供一种利用激光进行信息的记录及再生的光信息记录媒体的制造方法，在具有引导槽的基片上，至少将反射层、记录层、光射入侧保护层按顺序成膜之后，在所述光射入侧保护层上形成第1树脂层，再介于第2树脂层而将光射入侧基片贴合在所述第1树脂层上；所述记录层和所述第1树脂层，以1nm以上50nm以下的间隔而形成。根据本专利技术以上的结构，可以在保证信息的记录·消去的反复特性的同时，获得一种光射入侧保护层的膜厚度比较薄、记录层和第1树脂层之间的间隔较小的光信息记录媒体。附图说明图1是说明本专利技术的一个实施例的光信息记录媒体结构的剖面图。图2是说明光信息记录媒体的记录·再生的记录再生装置的示意图。具体实施例方式以下，参照附图，就本专利技术的最佳实施例进行说明。需要说明的是，本专利技术并不只局限于以下所述的实施例。图1是说明本专利技术一个实施例的光信息记录媒体(光盘)的层压结构概况的沿半径方向的剖面图。所述光信息记录媒体，是通过将基片1、反射层3、吸收层4、反射层侧保护层5、反射层侧界面层6、记录层7、光射入侧界面层8、光射入侧保护层9、第1树脂层10、第2树脂层12以及光射入侧基片11按此顺序依次进行层压而形成。各层都是由金属薄膜构成。在图1中，进行信息的记录及再生的激光，是从光射入侧基片11的一侧射入。所述基片1是由聚碳酸酯等树脂板而构成。基片1的表面2被螺线状的连续槽(引导槽、磁道)所覆盖。所述反射层3，是为了散去在吸收层4所产生的热而设置的。反射层3以Au、Ag、Al、Cu、Cr等金属为主要成分。比较理想的是导热率高而化学稳定性好、且成本较低的Ag及Al等材料。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光信息记录媒体，利用激光进行信息的记录及再生，其特征在于：在具有引导槽的基片上，至少按顺序设有反射层、记录层、光射入侧保护层、第１树脂层、光射入侧基片；所述记录层与所述第１树脂层之间的间隔在１ｎｍ以上５０ｎｍ以下。

【技术特征摘要】
JP 2003-5-16 2003-1388181.一种光信息记录媒体，利用激光进行信息的记录及再生，其特征在于在具有引导槽的基片上，至少按顺序设有反射层、记录层、光射入侧保护层、第1树脂层、光射入侧基片；所述记录层与所述第1树脂层之间的间隔在1nm以上50nm以下。2.根据权利要求1所述的光信息记录媒体，其特征在于所述记录层与所述第1树脂层之间的间隔在20nm以上50nm以下。3.根据权利要求1所述的光信息记录媒体，其特征在于所述第1树脂层的软化温度高于所述光射入侧基片的软化温度。4.根据权利要求1所述的光信息记录媒体，其特征在于所述第1树脂层的硬度高于所述光射入侧基片的硬度。5.根据权利要求1所述的光信息记录媒体，其特征在于所述第1树脂层的厚度在1μm以上20μm以下。6.根据权利要求1所述的光信息记录媒体，其特征在于在所述光射入侧保护层对为了再生信息而被照射的一定波长的所述激光的折射率为n1、所述第1树脂层对相同波长的激光的折射率为n2、所述光射入侧基片对相同波长的激光的折射率为n3的情况下，其n1、n2、n3则满足以下的两个关系式n1≤n2+0.1n1≤n3+0.17.根据权利要求6所述的光信息记录媒体，其特征在于所述n1、n2、n3满足以下的两个关系式n1≤n2n1≤n38.根据权利要求1所述的光信息记录媒体，其特征在于在所述反射层和所述记录层之间，从所述反射层一侧依次设有吸收层、反射层侧保护层及反射层侧界面层；在所述记录层和所述光射入侧保护层之间，设有光射入侧界面层。9.根据权利要求8所述的光信息记录媒体，其特征在于所述反射层以Ag或Al为主要成分；所述吸收层以Ge、Cr或Si为主要成分；所述反射层侧保护层以硫化锌、锆氧化物或铬氧化物为主要成分；所述反射层侧界面层以氮化物、氮氧化物、氧化物或者C为主要成分，其中所述氮化物、氮氧化物、氧化物各由至少一种选自Ge、Cr、Zr、Si、Al、Te的元素构成；所述记录层以Ge和Te为主要成分；所述光射入侧界面层以氮化物、氮氧化物、氧化物或者C为主要成分，其中所述氮化物、氮氧化物、氧化物各由至少一种选自Ge、Cr、Zr、Si、Al、Te的元素构成；所述光射入侧保护层以铝氧化物、硅氧化物、镁氧化物或者氟化物为主要成分。10.根据权利要求9所述的光信息记录媒体，其特征在于所述反射层的膜厚度为50nm以上150nm以下；所述吸收层的膜厚度为20nm以上60nm以下；所述反射层侧保护层的膜厚度为20nm以上60nm以下；所述反射层侧界面层的膜厚度为1nm以上20nm以下；所述记录层的膜厚度为7nm以上10nm以下；所述光射入侧界面层的膜厚度为1nm以上20nm以下；所述光射入侧保护层的膜厚度为1nm以上50nm以下。11.根据权利要求1所述的光信息记录...

【专利技术属性】
技术研发人员：长田宪一，草田英夫，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]