蓝宝石晶片水汽二流体清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于蓝宝石衬底技术领域，涉及蓝宝石晶片水汽二流体清洁装置。该清洁装置包括设置在支撑台上方的清洗缸和伸缩式液压缸，清洗缸包围底座并与底座形成清洗腔；支撑台内部设置储气罐、水泵、电机和控制系统，电机连接底座底部并为底座旋转提供动力；伸缩式液压缸的伸缩杆贯穿清洗缸侧壁伸入清洗腔，伸缩杆自由端可拆卸连接有二流体喷嘴，二流体喷嘴通过气管和水管分别与储气罐、水泵连通；控制系统与储气罐、水泵、电机、伸缩式液压缸电连接。本实用新型专利技术的清洁装置可以有效地降低颗粒数值，提升蓝宝石衬底晶片表面质量，且零件便于拆卸更换。更换。更换。

【技术实现步骤摘要】
蓝宝石晶片水汽二流体清洁装置


[0001]本技术属于蓝宝石衬底
，涉及蓝宝石晶片水汽二流体清洁装置。

技术介绍

[0002]目前传统的蓝宝石衬底刷片机主要采取毛刷配合喷水进行清洁操作，这种刷片机清洁的晶片表面质量无法得到更大的提升。一般晶片清洗装置使用自动化喷液、清洗、甩干，但是零件结构复杂，不易于拆卸维修，药液管堵塞难以更换等问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供蓝宝石晶片水汽二流体清洁装置，针对的是在毛刷清洁的过程，增加汽体状态喷出，可以有效地进行物理性作用，帮助蓝宝石晶片深度清洁。
[0004]为达到上述目的，本技术是采用以下的技术方案实现的：
[0005]本技术提供的一种蓝宝石晶片水汽二流体清洁装置，包括设置在支撑台上方的清洗缸和伸缩式液压缸，清洗缸包围底座并与底座形成清洗腔；支撑台内部设置储气罐、水泵、电机和控制系统，电机连接底座底部并为底座旋转提供动力；伸缩式液压缸的伸缩杆贯穿清洗缸侧壁伸入清洗腔，伸缩杆自由端可拆卸连接有二流体喷嘴，二流体喷嘴通过气管和水管分别与储气罐、水泵连通；控制系统与储气罐的电磁阀、水泵、电机、伸缩式液压缸电连接。
[0006]进一步地，所述清洗缸外的伸缩杆外套设保护管，保护管通过支撑板固定在支撑台上方。
[0007]进一步地，所述清洗缸底部设置有排液孔。
[0008]进一步地，所述二流体喷嘴通过夹持件与伸缩杆自由端连接。
[0009]控制系统内设有PLC控制器，PLC控制器控制储气罐的电磁阀、水泵、电机以及伸缩式液压缸均为现有技术中常用的手段。
[0010]采用上述技术方案，本技术的有益效果是：本技术方案针对保护的是水汽二流体这种用于蓝宝石衬底刷片机的清洁的方式，可以有效地降低颗粒数值，提升蓝宝石衬底晶片表面质量，且零件便于拆卸更换。通过水管喷水同时，配合高精度过滤空气进行吹气，有效地将水颗粒冲击到蓝宝石衬底晶片表面，发生物理性反应，由于震荡产生力较大，可以有效地进行晶片表面预处理，从而在刷片的过程中晶片表面颗粒数值更小，更稳定。
附图说明
[0011]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。
[0012]在附图中：
[0013]图1为本技术的蓝宝石晶片水汽二流体清洁装置的结构示意图；
[0014]图中各标记如下：1支撑台、2清洗缸、3底座、4伸缩式液压缸、5伸缩杆、6二流体喷
嘴、7夹持件、8气管、9水管、10支撑板、11保护管。
具体实施方式
[0015]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0016]下面结合附图对本技术作进一步说明。
[0017]如图1所示，本技术提供的一种蓝宝石晶片水汽二流体清洁装置，包括设置在支撑台1上方的清洗缸2和伸缩式液压缸4，清洗缸包围底座3并与底座形成清洗腔，清洗缸底部设置有排液孔，及时排出冲洗后的废水。
[0018]支撑台内部设置储气罐、水泵、电机和控制系统，控制系统与储气罐的电磁阀、水泵、电机、伸缩式液压缸电连接。
[0019]电机连接底座底部并为底座旋转提供动力；伸缩式液压缸的伸缩杆5贯穿清洗缸侧壁伸入清洗腔。伸缩杆自由端通过夹持件7可拆卸连接有二流体喷嘴6，二流体喷嘴通过气管8和水管9分别与储气罐、水泵连通。当供水系统或供气系统出现问题时，可以拆卸水管或气管，维修更换该系统零件。
[0020]控制系统控制伸缩杆在清洗缸内往复运动，带动二流体喷嘴在底座上方移动，蓝宝石晶片固定在底座上，并在电机的带动下保持持续旋转。控制系统控制储气罐和水泵的出气和出水流量，二流体喷嘴向晶体表面喷出水雾。停止喷水后，晶片仍保持旋转，直至表面甩干。
[0021]清洗缸外的伸缩杆外套设保护管11，保护管通过支撑板10固定在支撑台上方。保护管保护伸缩杆不被损坏，提高伸缩杆的使用寿命。
[0022]当然，以上仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶片水汽二流体清洁装置，其特征在于：包括设置在支撑台(1)上方的清洗缸(2)和伸缩式液压缸(4)，清洗缸(2)包围底座(3)并与底座(3)形成清洗腔；支撑台(1)内部设置储气罐、水泵、电机和控制系统，电机连接底座(3)底部并为底座(3)旋转提供动力；伸缩式液压缸(4)的伸缩杆(5)贯穿清洗缸(2)侧壁伸入清洗腔，伸缩杆(5)自由端可拆卸连接有二流体喷嘴(6)，二流体喷嘴(6)通过气管(8)和水管(9)分别与储气罐、水泵连通；控制系统与储气罐的电...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖迪，郑东，
申请(专利权)人：青岛华芯晶电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：