碳化硅晶型检验装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及实验设备技术领域，具体而言，涉及一种碳化硅晶型检验装置。碳化硅晶型检验装置包括拍照箱、拍照相机、拍照光源、托盘和控制单元；拍照箱围合形成用于拍照的暗室空间；托盘可转动地设置在拍照箱中，托盘用于承载晶体；拍照光源和拍照相机均设置在拍照箱中，控制单元与拍照相机连接以操控拍照相机对托盘上的晶体进行拍照。能够通过自动拍照进行UV灯照射检验。UV灯照射检验。UV灯照射检验。

【技术实现步骤摘要】
碳化硅晶型检验装置


[0001]本技术涉及实验设备
，具体而言，涉及一种碳化硅晶型检验装置。

技术介绍

[0002]碳化硅当前主要受到长晶稳定性的影响导致整体的晶体良率低的影响。而在长晶过程中是极度容易产生其他晶型的晶体。所以对于晶体晶型的检验及确认，也是当前碳化硅晶体检测必要的工作。当前生产技术条件下多型的检测主要通过UV灯照射来辨识晶体晶型情况。
[0003]然而UV灯照射检验的持续时间长、紫外线伤害是现有存在的弊端。

技术实现思路

[0004]本技术的目的包括，例如，提供了一种碳化硅晶型检验装置，其能够通过自动拍照进行UV灯照射检验。
[0005]本技术的实施例可以这样实现：
[0006]第一方面，本技术提供一种碳化硅晶型检验装置，用于对碳化硅的晶体拍照，包括：
[0007]拍照箱、拍照相机、拍照光源、托盘和控制单元；
[0008]所述拍照箱围合形成用于拍照的暗室空间；所述托盘可转动地设置在所述拍照箱中，所述托盘用于承载所述晶体；
[0009]所述拍照光源和所述拍照相机均设置在所述拍照箱中，所述控制单元与所述拍照相机连接以操控所述拍照相机对所述托盘上的所述晶体进行拍照。
[0010]本方案的碳化硅晶型检验装置通过设置具有暗室空间的拍照箱，而暗室空间中具有拍照相机，控制单元通过控制拍照相机完成对放置在托盘上的晶体进行拍照，再根据拍照得到的相片对晶片进行验证和检验。同时，托盘可转动的设置在拍照箱中，当拍照相机拍摄过程中，通过转动托盘，使得相机能够多角度地实现对托盘上的晶体的拍摄，从而获得更加全面的晶片的照片，进而保障了晶体检验的准确性和高效性。另外，在拍照箱的暗室空间中，拍照光源的光源效果能够得到最大限度地展示，从而提高了拍照相机的对晶体拍照的相片效果，如此提高了拍照相机的质量，而高质量的相片能够增加晶体检验的效率。
[0011]综上，这样的碳化硅晶型检验装置具有结构简单、操作方面，且自动化完成拍照的作业，从而显著提高了晶体检验的效率、提高了作业人员的安全性，因此经济效益显著。
[0012]在可选的实施方式中，所述碳化硅晶型检验装置包括旋转机构；
[0013]所述旋转机构与所述托盘连接，以驱动所述托盘绕其中心转动。
[0014]在可选的实施方式中，所述控制单元与所述旋转机构连接，以操控所述旋转机构带动托盘转动。
[0015]在可选的实施方式中，所述拍照相机包括均设置在所述拍照箱中的第一相机和第二相机；
[0016]所述第一相机位于所述托盘的正对面，所述第二相机位于所述托盘的侧面。
[0017]在可选的实施方式中，所述拍照光源包括第一光源和第二光源；
[0018]所述第一光源设置在所述第一相机的附近，所述第二光源设置在所述第二相机附近。
[0019]在可选的实施方式中，所述第二光源设置在所述第二相机靠近所述第一光源的一侧。
[0020]在可选的实施方式中，所述第一光源包括第一发光件和第二发光件；
[0021]所述第一发光件设置在所述第一相机远离所述第二相机的一侧；所述第二发光件位于所述第一相机和所述第二光源之间。
[0022]在可选的实施方式中，所述拍照光源均为UV灯。
[0023]在可选的实施方式中，所述拍照箱均由防紫外线材料制作。
[0024]在可选的实施方式中，所述拍照箱均由铝材料或不锈钢材料制作而成。
[0025]在可选的实施方式中，所述拍照箱包括箱体和盖板；
[0026]所述箱体具有出入口，所述盖板可拆卸地设置在所述箱体的所述出入口中以封闭所述出入口形成暗室或打开所述出入口。
[0027]本技术实施例的有益效果包括，例如：
[0028]本方案的碳化硅晶型检验装置包括拍照箱、拍照相机、拍照光源、托盘和控制单元。控制单元通过控制拍照相机完成对放置在托盘上的晶体进行拍照，再根据拍照得到的相片对晶片进行验证和检验。且在拍照相机拍摄过程时，通过转动托盘，使得相机能够多角度地实现对托盘上的晶体的拍摄，从而获得更加全面的晶片的照片，进而保障了晶体检验的准确性和高效性。这样的碳化硅晶型检验装置具有结构简单、操作方便、拍照效率高、持续时间短、提高了作业人员的安全性，因此具有显著的经济效益。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0030]图1为本技术实施例的碳化硅晶型检验装置的结构示意图；
[0031]图2为本技术实施例的碳化硅晶型检验装置的另一视角的结构示意图。
[0032]图标：11
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晶体；100
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拍照箱；101
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暗室空间；110
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箱体；120
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盖板；200
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拍照相机；210
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第一相机；220
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第二相机；300
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拍照光源；310
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第一光源；311
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第一发光件；312
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第二发光件；320
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第二光源；400
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托盘；600
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旋转机构。
具体实施方式
[0033]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0034]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0035]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0036]在本技术的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0037]此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶型检验装置，用于对碳化硅的晶体拍照，其特征在于，包括：拍照箱(100)、拍照相机(200)、拍照光源(300)、托盘(400)和控制单元；所述拍照箱(100)围合形成用于拍照的暗室空间(101)；所述托盘(400)可转动地设置在所述拍照箱(100)中，所述托盘(400)用于承载所述晶体(11)；所述拍照光源(300)和所述拍照相机(200)均设置在所述拍照箱(100)中，所述控制单元与所述拍照相机(200)连接以操控所述拍照相机(200)对所述托盘(400)上的所述晶体(11)进行拍照。2.根据权利要求1所述的碳化硅晶型检验装置，其特征在于：所述碳化硅晶型检验装置包括旋转机构(600)；所述旋转机构(600)与所述托盘(400)连接，以驱动所述托盘(400)绕其中心转动。3.根据权利要求2所述的碳化硅晶型检验装置，其特征在于：所述控制单元与所述旋转机构(600)连接，以操控所述旋转机构(600)带动托盘(400)转动。4.根据权利要求1所述的碳化硅晶型检验装置，其特征在于：所述拍照相机(200)包括均设置在所述拍照箱(100)中的第一相机(210)和第二相机(220)；所述第一相机(210)位于所述托盘(400)的正对面，所述第二相机(220)位于所述托盘(400)的侧面。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡少忠，张洁，张煌珊，许佳锋，
申请(专利权)人：福建北电新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：