一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉，包括生长炉本体和通风柱，生长炉本体的一侧设有出风管，出风管的内部开设有三号出风口，生长炉本体的一侧设有与三号出风口配合的通风柱，通风柱的内部设有调整机构，通风柱的一侧设有通风箱，通风箱的内部滑动连接有一号过滤网，出风管的一侧固定连接有两个固定板，本实用新型专利技术的有益效果是：通过加入了齿条，齿条通过齿轮带动转杆转动，转杆带动二号挡风板进行转动，实现了一号出风口和二号出风口之间的位置调节，通过加入了集尘抽箱，实现了对一号过滤网过滤的废渣进行收集，通过加入了二号过滤网和三号过滤网，实现了对废气的处理。实现了对废气的处理。实现了对废气的处理。

【技术实现步骤摘要】
一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉


[0001]本技术涉及高温感应加热碳化硅单晶生长炉领域，具体为一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉。

技术介绍

[0002]在生产单晶硅的过程中，需要单晶生长炉，碳化多晶硅是原料，纯度不高，通过碳化硅单晶生长炉，对碳化多晶硅进行融化，生成高精度的碳化硅单晶，高纯度的单晶硅可以用于芯片制造，光伏电池，不同行业对纯度的要求也有较大差异，例如光伏产业要求4
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6个9。集成电路产业的硅片要求却高达9
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11个9，但在现有的高温感应加热碳化硅单晶生长炉中，不便于对高温感应加热碳化硅单晶生长炉的出风量进行调节，造成生产效率的影响，且现有的高温感应加热碳化硅单晶生长炉的废气不便于进行过滤处理。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉，包括生长炉本体和通风柱，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉，包括生长炉本体(1)和通风柱(3)，其特征在于，所述生长炉本体(1)的一侧设有出风管(2)，所述出风管(2)的内部开设有三号出风口(6)，所述生长炉本体(1)的一侧设有与三号出风口(6)配合的通风柱(3)，所述通风柱(3)的内部设有调整机构(5)，所述通风柱(3)的一侧设有通风箱(4)，所述通风箱(4)的内部滑动连接有一号过滤网(11)，所述出风管(2)的一侧固定连接有两个固定板(8)，所述固定板(8)的内部开设有卡槽(9)，所述通风柱(3)的外侧设有两个与卡槽(9)配合的固定机构(7)。2.根据权利要求1所述的一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉，其特征在于：所述调整机构(5)包括一号挡风板(55)和二号挡风板(58)，所述通风柱(3)的内部固定连接有一号挡风板(55)，所述一号挡风板(55)的内部开设有一号出风口(56)，所述一号挡风板(55)的一侧转动连接有二号挡风板(58)，且二号挡风板(58)与通风柱(3)转动连接，所述二号挡风板(58)的内部开设有与一号出风口(56)配合的二号出风口(57)，所述二号挡风板(58)的内部固定连接有转杆(54)，且转杆(54)与一号挡风板(55)转动连接，所述转杆(54)的外侧固定连接有齿轮(53)，所述通风柱(3)的顶部设有电动伸缩杆(51)，所述电动伸缩杆(51)的输出端固定连接有与齿轮(53)配合的齿条(52)，且齿轮(53)与齿条(52)啮合连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：许耀迪，
申请(专利权)人：厦门天三半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：