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一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉制造技术
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下载一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉的技术资料
文档序号:30609968
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本实用新型公开了一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉,包括生长炉本体和通风柱,生长炉本体的一侧设有出风管,出风管的内部开设有三号出风口,生长炉本体的一侧设有与三号出风口配合的通风柱,通风柱的内部设有调整机构,通风柱的一侧设有通风箱...
该专利属于厦门天三半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门天三半导体有限公司授权不得商用。
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