一种基于聚丙烯酸薄膜的声表面波氨气传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于聚丙烯酸薄膜的声表面波氨气传感器，属于氨气检测领域。该传感器包括压电基底，以及集成在压电基底上的铝电极、输出叉指换能器、输入叉指换能器、反射栅、以及感应区的聚丙烯酸薄膜。本实用新型专利技术将易制得且成本很低的有机物聚丙烯酸制成薄膜用做声表面波氨气传感器中的传感膜，利用聚丙烯酸中含有大量的羟基和羧基基团，使得传感膜具有易于吸附空气中的水和氨气，从而使得声表面波氨气传感器具有优良的灵敏度和选择性。面波氨气传感器具有优良的灵敏度和选择性。面波氨气传感器具有优良的灵敏度和选择性。

【技术实现步骤摘要】
一种基于聚丙烯酸薄膜的声表面波氨气传感器


[0001]本技术属于氨气检测领域，具体涉及一种基于聚丙烯酸薄膜的声表面波氨气传感器。

技术介绍

[0002]氨气是最常见的有毒气体之一，已广泛应用于制药、化学和制造业等行业。我们日常生活中氨泄漏或污染的风险非常高，过量吸入氨气会导致呼吸系统疾病、严重头痛、喉咙痛、嗅觉丧失和胸痛。因此，开发高灵敏度和选择性的氨气传感器是至关重要的。自从Wohltjen和Dessy于1979年推出了用于化学传感器应用的声表面波技术后，由于其具有灵敏度高、速度快、可靠性好、精度高和成本低等优点，此技术不断受到研究者的关注。
[0003]现有技术中西南交通大学Tang团队研制了一种基于ST
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cut石英声表面波氨气传感器，其传感层采用氧化锌和氧化硅双层纳米薄膜而制成，其探测下限为5ppm，对于30ppm的氨气的响应强度为2KHz，探测下限和响应强度都不高。因此，现有的声表面波氨气传感器在探测下限和响应强度等综合性能方面还有待进一步提高。

技术实现思路

[0004]为了克服上述现有技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于聚丙烯酸薄膜的声表面波氨气传感器，包括压电基底，以及集成在压电基底上的铝电极、输出叉指换能器、输入叉指换能器、反射栅，其特征在于，所述输出叉指换能器、输入叉指换能器之间的感应区设置有聚丙烯酸薄膜。2.如权利要求1所述的一种基于聚丙...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊文凯，郭袁俊，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：新型
国别省市：