一种桨固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术为一种桨固定装置，包括炉门以及密封筒；所述密封筒设置于炉门；密封筒包括尾部、桨外筒以及中部；桨外筒设置于中部以及尾部之间；桨外筒的一端与中部固定连接，另一端与尾部固定连接；桨的一端能够穿过炉门设置于密封筒内；通过在桨外筒内部设置限位环以及支撑环完成对桨的固定；通过调节机米螺丝在限位通孔内的位置，调节桨压块固定块的位置，进而实现桨压块对于桨的松紧调节；通过压块实现支撑环和桨的固定连接。支撑环和桨的固定连接。支撑环和桨的固定连接。

【技术实现步骤摘要】
一种桨固定装置


[0001]本技术涉及半导体和太阳能光伏电池制造领域，特别是涉及一种桨固定装置。

技术介绍

[0002]扩散设备作为半导体器件工艺的重要设备之一，被广泛应用于集成电路、电力电子、太阳能电池的生产等行业。在光伏行业，高温扩散炉主要用于对单晶硅片、多晶硅片进行掺杂，形成PN结；退火设备主要是进行退火、激活等作用；低压化学气相沉积(LPCVD)设备主要用于薄膜生长，可用于本征非晶硅、掺杂非晶硅、氧化硅等薄膜生长；等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备在太阳能光伏电池工艺流程中作用主要是薄膜生长，可用于氮化硅、氧化铝、本征硅、掺杂非晶硅等薄膜生长。扩散设备、退火设备、PECVD设备共有的特征之一是都需要将装有硅片的舟推进炉管，退出炉管。但是传统的扩散设备难以同时实现桨的固定和桨与炉门的密封。
[0003]其中实现桨固定、没有实现桨和炉门密封的结构中，通常将桨进行独立，只作为载具在炉内进出，炉门单独进行开关密封。此种结构在动作的过程中包括桨机构放下舟和取起舟的过程，而且在一个工艺流程中，还需要进行进桨、放舟、出桨、进桨、取舟、出桨等多个动作，动作多，放舟、取舟的风险大。
[0004]实现桨与炉门密封、桨不固定的结构中，通常将桨插入密封筒中，在一定的范围内限位，密封筒与炉门实现密封。在工艺过程中，桨的位置不固定，增加了安全隐患，难以满足现阶段的安全需求。因此需要一种既能够实现桨固定，同时还能够实现桨与炉门密封的固定装置。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是解决现有技术的不足，提供一种桨固定装置，结构简单，使用方便。
[0006]一种桨固定装置，包括炉门以及密封筒；所述密封筒设置于炉门；密封筒包括尾部、桨外筒以及中部；桨外筒设置于中部以及尾部之间；桨外筒的一端与中部固定连接，另一端与尾部固定连接；桨的一端能够穿过炉门设置于密封筒内。
[0007]进一步的，所述桨外筒整体呈内部中空的柱形，桨外筒内部的镂空部分用于设置桨；桨外筒靠近尾部的一端设置为圆形镂空一，桨外筒靠近尾部的一端还设置有圆形镂空二，其中圆形镂空一位于圆形镂空二和尾部之间；圆形镂空一的直径大于圆形镂空二的直径；圆形镂空一的内部设置有尾部的桨固定结构。
[0008]进一步的，所述桨固定结构包括支撑环、调节螺丝以及压块；支撑环设置于桨外筒的圆形镂空一内；压块与支撑环之间卡接和/或螺纹连接；压块通过调节螺丝设置于桨上。
[0009]进一步的，所述支撑环的中间部位设置有四边形通孔一，用于穿过桨；四边形通孔一的三面侧壁上设置有凹槽一，凹槽一的长度方向与四边形通孔一的轴线方向一致；压块
整体呈“工”字形，压块嵌于凹槽一。
[0010]进一步的，所述桨外筒靠近尾部一端的外周设置卡位凸起，用于连接尾部的尾部密封结构。
[0011]进一步的，所述尾部密封结构包括尾部盖板、密封圈以及盖板固定扣；尾部盖板设置于桨外筒的一端，在尾部盖板与桨外筒之间设置有密封圈；盖板固定扣可拆式设置于尾部盖板；盖板固定扣呈“L”型，设置于尾部盖板的边缘；盖板固定扣与桨外筒外周的卡位凸起相配合。
[0012]进一步的，所述桨外筒靠近中部的一端设置有圆形镂空三以及圆形镂空四，圆形镂空三的直径小于圆形镂空四的直径，圆形镂空四位于圆形镂空三以及中部之间；在桨外筒的圆形镂空四对应部分的外周设置有限位通孔。
[0013]进一步的，所述中部包括连接筒以及固定密封结构；连接筒设置于桨外筒以及炉门之间，固定密封结构设置于桨外筒的圆形镂空四内。
[0014]进一步的，所述连接筒内部中空，用于穿过桨；固定密封结构包括限位环、桨压块以及桨压块固定块；桨压块固定块穿过限位环的侧壁与桨压块连接；限位块的中间设置有四边形通孔二，在四边形通孔二的三面侧壁上设置有凹槽二，凹槽二用于设置桨压块；在凹槽二上设置有通孔，用于穿过桨压块固定块；桨压块固定块设置于桨外筒的限位通孔内；在限位通孔内还设置有机米螺丝一和机米螺丝二，机米螺丝一位于机米螺丝二与桨压块固定块之间。
[0015]进一步的，所述限位通孔远离桨外筒的一端还设置有密封螺母，密封螺母与限位通孔之间采用螺纹连接，在密封螺母和限位通孔之间设置有密封圈；限位环和桨压块固定块之间还设置有弹簧，弹簧套接于桨压块的外侧；限位通孔共三个，三个限位通孔间隔设定角度。
[0016]本技术的有益效果为：
[0017]通过在桨外筒内部设置限位环以及支撑环完成对桨的固定；
[0018]通过调节机米螺丝在限位通孔内的位置，调节桨压块固定块的位置，进而实现桨压块对于桨的松紧调节；通过压块实现支撑环和桨的固定连接；
[0019]通过圆形镂空一与圆形镂空二的直径关系，使支撑环卡于圆形镂空一中，进一步实现桨的固定；
[0020]通过在桨外筒的一端设置尾部盖板以及在限位通孔处设置密封螺母，实现密封筒的密封。
附图说明
[0021]图1为本技术实施例一结合桨后的整体结构图；
[0022]图2为本技术实施例一的密封筒和桨的结合示意图；
[0023]图3为本技术实施例一尾部和桨外筒结合示意图；
[0024]图4为本技术实施例一密封筒的纵向截面图；
[0025]图5为本技术实施例一密封筒纵向截面图的立体图；
[0026]图6为本技术实施例一尾部密封结构和桨的结合示意图；
[0027]图7为本技术实施例一调节螺丝和压块结合示意图；
[0028]图8为本技术实施例一固定密封结构和桨外筒的结合示意图；
[0029]图9为本技术实施例一桨外筒圆形镂空四部分的示意图；
[0030]图10为本技术实施例一固定密封结构的结构图；
[0031]图11为本技术实施例一限位环的结构示意图。
[0032]附图标识说明：炉门1、密封筒2、尾部21、桨固定结构211、支撑环212、四边形通孔一2121、凹槽一2122、调节螺丝213、压块214、尾部密封结构215、尾部盖板216、盖板固定扣217、密封圈218、桨外筒22、圆形镂空一221、圆形镂空二222、卡位凸起223、圆形镂空三224、圆形镂空四225、限位通孔226、密封螺母227、中部23、连接筒231、固定密封结构232、限位环233、四边形通孔二2331、凹槽二2332、桨压块234、桨压块固定块235、弹簧236、机米螺丝一237、机米螺丝二238、桨3、连接块31。
具体实施方式
[0033]以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0034]需要说明的是，以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种桨固定装置，其特征在于，包括炉门以及密封筒；所述密封筒设置于炉门；密封筒包括尾部、桨外筒以及中部；桨外筒设置于中部以及尾部之间；桨外筒的一端与中部固定连接，另一端与尾部固定连接；桨的一端能够穿过炉门设置于密封筒内；所述桨外筒靠近中部的一端设置有圆形镂空三以及圆形镂空四，圆形镂空三的直径小于圆形镂空四的直径，圆形镂空四位于圆形镂空三以及中部之间；在桨外筒的圆形镂空四对应部分的外周设置有限位通孔；所述中部包括连接筒以及固定密封结构；连接筒设置于桨外筒以及炉门之间，固定密封结构设置于桨外筒的圆形镂空四内；所述连接筒内部中空，用于穿过桨；固定密封结构包括限位环、桨压块以及桨压块固定块；桨压块固定块穿过限位环的侧壁与桨压块连接；限位块的中间设置有四边形通孔二，在四边形通孔二的三面侧壁上设置有凹槽二，凹槽二用于设置桨压块；在凹槽二上设置有通孔，用于穿过桨压块固定块；桨压块固定块设置于桨外筒的限位通孔内；在限位通孔内还设置有机米螺丝一和机米螺丝二，机米螺丝一位于机米螺丝二与桨压块固定块之间。2.根据权利要求1所述的一种桨固定装置，其特征在于，所述桨外筒整体呈内部中空的柱形，桨外筒内部的镂空部分用于设置桨；桨外筒靠近尾部的一端设置为圆形镂空一，桨外筒靠近尾部的一端还设置有圆形镂空二，其中圆形镂空一位于圆形镂空二和尾部之间；圆形镂空一的直径大于圆形镂空二...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，庞爱锁，刘群，甘新荣，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：