一种光学平面平行度及微小位移测量系统技术方案

本发明专利技术提供一种光学平面平行度及微小位移测量系统，光学微小位移测量系统包括第一壳体、光源组件、第一反射组件和投射壁S1；第一反射组件包括一光学反射体，光学反射体包括一反射表面；光学反射体包括固定端部和自由端部；光学反射体的自由端部相对于固定端部位置改变时，线光源入射平面与反射平面相交位置的夹角相应改变；第一壳体上设置有投射壁S1，线光源经反射表面反射后射向投射壁S1相交并形成可视相交线。光学平面检测系统在光学微小位移检测系统的基础上，光源组件设置两组线光源，分别靠近所述第一壳体的四个侧面中的两个设置；且，至少在所述第一壳体的两个侧面上设置有投射壁S1，所述投射壁S1用于显示线光源与所述投射壁S1的相交线。述投射壁S1的相交线。述投射壁S1的相交线。

【技术实现步骤摘要】
一种光学平面平行度及微小位移测量系统


[0001]本专利技术属于一般性位移测量
，涉及微小位移量及平面的微小平行度测量技术，具体涉及一种基于影响光学路径的平面平行度及微小位移测量系统。

技术介绍

[0002]微小位移测量通常需要高精度仪器、设备才能实现。比如借助游标卡尺、千分尺，或者借助计算机图像处理技术实现。
[0003]但是，负复杂的仪器设备有一定的操作门槛，在日常的生产工作中，使用方式、归零调节、使用环境、日常保样甚至读数都需要学习和记忆，并且记忆的对象是多步骤过程或者多环节组合，难以在一般性岗位全面落实使用。
[0004]平面间的平行度是生产环节控制产品品质以及检查产品质量的重要参数，但是目前缺乏精准易用的平面间平行度测量工具。

技术实现思路

[0005]为了解决上述问题，本专利技术采用的技术方案是：本专利技术提供一种光学微小位移测量系统,包括第一壳体、光源组件、第一反射组件和投射壁S1；所述第一反射组件包括一光学反射体，所述光学反射体包括一反射表面；所述光学反射体成条状，包括两个端部，一端部与所述第一壳体相连接为固定端部，另一端部为自由端部；所述光源组件包括激光光源和窄缝单元，所述激光光源射向所述窄缝单元形成线光源；所述线光源可射向所述光学反射体的反射表面；且，所述线光源与所述反射表面的相交线垂直于所述线光源的入射方向；且，所述光学反射体的自由端部相对于固定端部位置改变时，所述线光源入射平面与反射平面相交位置的夹角相应改变；所述第一壳体上设置有投射壁S1，所述线光源经反射表面反射后射向投射壁S1相交并形成可视相交线。
[0006]进一步地，所述微小位移测量系统包括还第二壳体，所述第二壳体与所述光学反射体的自由端部固定连接。
[0007]进一步地，所述第一壳体与所述第二壳体以唯一直线运动自由度活动连接。
[0008]进一步地，所述第一壳体为直筒状，第一壳体直筒状的轴线与所述直线运动自由度的直线平行。
[0009]进一步地，所述第一壳体的侧壁包括第二反射组件，所述第二反射组件包括一反射表面；所述线光源经第一反射组件反射后，射向第二反射组件的反射表面，并经反射后射向与设置第二反射组件的第一壳体侧面相对侧面的投射壁S1并显示。
[0010]进一步地，所述第一反射组件的光学反射体为薄片状；材质为弹性材质；且，在所述自由端部的可移动范围内具备完全弹性形变性能。
[0011]进一步地，包括直线轨道，所述直线轨道包括静轨和滑轨，所述静轨和滑轨分别设置于第一壳体和第二壳体上；且，所述直线轨道用于实现所述第一壳体与所述第二壳体连接的唯一直线运动自由度活动。
[0012]进一步地，所述系统包括第三反射组件，所述第三反射组件包括一反射表面；所述第三反射组件设置于所述第一壳体的一端部，且所述端部与设置第一反射组件的端部相对；且，与所述第一壳体固定连接。
[0013]进一步地，所述光源组件发射的线光源经第一反射组件反射后射向所述第三反射组件。
[0014]进一步地，所述第一壳体的侧壁包括第四反射组件，所述第四反射组件包括一反射表面；所述线光源经第三反射组件反射后，射向第四反射组件的反射表面，并经反射后射向与设置第四反射组件的第一壳体侧面相对侧面的投射壁S1并显示。
[0015]进一步地，所述第一壳体的端部A外表面包括一测量平面A；所述端部A为设置所述第三反射组件的端部；所述测量平面A垂直于所述第一壳体的轴线。
[0016]进一步地，所述第二壳体外部包括测量平面B，所述测量平面A与所述测量平面B在自由状态下为平行状态。
[0017]本申请还提供一种光学平面平行度测量系统，包括上述的一种光学微小位移测量系统，所述第一壳体为长方体状；所述光源组件包括两组线光源，分别靠近所述第一壳体的四个侧面中的两个设置；且，至少在所述第一壳体的两个侧面上设置有投射壁S1，所述投射壁S1用于显示线光源与所述投射壁S1的相交线。
[0018]进一步地，所述第一反射组件包括两个或四个光学反射体，多个光学反射体以第一壳体的轴线为轴对称设置。
[0019]本专利技术的有益效果在于，本专利技术提供一种光学微小位移测量系统，用以对物体的微小位移进行测量，通过对线光源进行折射，将微小的位移幅度放大的方式，实现对位移的高精度测量，同时本专利技术所提供的一种微小位移测量系统操作简便，只需将其防止在待测物体与基准之间即可，无需复杂的操作，没有使用的门槛，使用范围广。
[0020]本专利技术还提供一种光学平面平行度测量系统，用以对两平面之间的平行度进行测量，操作过程同样仅需将其放置在待测平面之间，无需复杂的操作，所得到的数据精度高。
附图说明
[0021]图1为本专利技术所提供的一种光学平面平行度及微小位移测量系统的结构示意图；图2为图1另一视角的示意图；图3为图2的正视图；图4为第一壳体的剖切示意图；图5为光源组件的刨切结构示意图；图6为第一反射组件的结构示意图；图7为第一壳体的刨切的内部结构示意图；
图8为线光源反射示意图；图9为实施例1中的线光源反射示意图；图10为实施例1中位移测量过程的状态变化示意图；图11为实施例2中的线光源反射示意图；图12为实施例3中的线光源反射示意图；图13为实施例4中的线光源反射示意图；附图标记：第一壳体10、静轨11、测量平面A；光源组件20、激光光源21、窄缝单元22、线光源23、连接臂24；第一反射组件30、光学反射体31、固定端部311、自由端部312、反射表面32；投射壁S1、可视相交线41、刻度42；第二壳体50、滑轨51、弹簧52、挡板53、测量平面B；第二反射组件60、第三反射组件70、第四反射组件80。
具体实施方式
[0022]以下实施例是依据本专利技术的专利技术构思而提出，针对某一特定的问题场景，不应理解为对本专利技术保护范围构成的限制。
[0023]实施例1参照图1、图3
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图5，本实施例提供一种光学微小位移测量系统,包括第一壳体10、光源组件20、第一反射组件30和投射壁S1；所述第一反射组件30包括一光学反射体31，所述光学反射体31包括一反射表面32；所述光学反射体31成条状，包括两个端部，一端部与所述第一壳体10相连接为固定端部311，另一端部为自由端部312；所述光源组件20包括激光光源21和窄缝单元22，所述激光光源21射向所述窄缝单元22形成线光源23；所述线光源23可射向所述光学反射体31的反射表面32；且，所述线光源23与所述反射表面32的相交线垂直于所述线光源23的入射方向；且，所述光学反射体31的自由端部312相对于固定端部311位置改变时，所述线光源23入射平面与反射平面相交位置的夹角相应改变；所述第一壳体10上设置有投射壁S1，所述线光源23经反射表面32反射后射向投射壁S1相交并形成可视相交线41。
[0024]现有的微小位移测量仪器、设备的操作门槛对于一般性岗位的工作人员来说操作过程具有一定的复杂性，在进行测量操作过程中需要多个步骤的操作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学微小位移测量系统,其特征在于，包括第一壳体、光源组件、第一反射组件和投射壁S1；所述第一反射组件包括一光学反射体，所述光学反射体包括一反射表面；所述光学反射体成条状，包括两个端部，一端部与所述第一壳体相连接为固定端部，另一端部为自由端部；所述光源组件包括激光光源和窄缝单元，所述激光光源射向所述窄缝单元形成线光源；所述线光源可射向所述光学反射体的反射表面；且，所述线光源与所述反射表面的相交线垂直于所述线光源的入射方向；且，所述光学反射体的自由端部相对于固定端部位置改变时，所述线光源入射平面与反射平面相交位置的夹角相应改变；所述第一壳体上设置有投射壁S1，所述线光源经反射表面反射后射向投射壁S1相交并形成可视相交线。2.根据权利要求1所述的一种光学微小位移测量系统，其特征在于，所述微小位移测量系统还包括第二壳体，所述第二壳体与所述光学反射体的自由端部固定连接。3.根据权利要求2所述的一种光学微小位移测量系统，其特征在于，所述第一壳体与所述第二壳体以唯一直线运动自由度活动连接。4.根据权利要求3所述的一种光学微小位移测量系统，其特征在于，所述第一壳体为直筒状，第一壳体直筒状的轴线与所述直线运动自由度的直线平行。5.根据权利要求1
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4之任一项权利要求所述的一种光学微小位移测量系统，其特征在于，所述第一壳体的侧壁包括第二反射组件，所述第二反射组件包括一反射表面；所述线光源经第一反射组件反射后，射向第二反射组件的反射表面，并经反射后射向与设置第二反射组件的第一壳体侧面相对侧面的投射壁S1并显示。6.根据权利要求5所述的一种光学微小位移测量系统，其特征在于，所述第一反射组件的光学反射体为薄片状；材质为弹性材质；且，在所述自由端部的可移动范围内具备完全弹性形变性能。7.根据权利要求3所述的一种光学微小位移测量系统，其特征在于，包括直线轨道，所述直线轨道包括静轨和滑轨，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘展花，
申请(专利权)人：深圳市文森特技术有限公司，
类型：发明
国别省市：