一种卧式石英舟清洗设备制造技术

本发明专利技术公开了一种卧式石英舟清洗设备，包括清洗箱、驱动箱和电控箱，清洗箱的侧端固定有电控箱，顶端固定有驱动箱；其特征在于：清洗箱的内腔底部设有并排分布的水洗槽安装室和酸洗槽安装室，水洗槽安装室中安装有水洗槽，酸洗槽安装室中安装有酸洗槽；清洗箱、驱动箱的内部共同安装有能够实现石英舟工件在水洗槽、酸洗槽之间切换的机械手载具；机械手载具包括导向轨座、活动式龙门架、水平位移导向机构、水平位移驱动机构、竖向位移驱动机构和吊具组件。本发明专利技术结构设计合理，整个清洗工艺过程中石英舟可进行滚动，与清洗液之间产生相对运动，使石英舟因能够得到全面的清洗，清洗效果较好，避免造成扩散工艺过程的污染。避免造成扩散工艺过程的污染。避免造成扩散工艺过程的污染。

【技术实现步骤摘要】
一种卧式石英舟清洗设备


[0001]本专利技术涉及半导体清洗设备
，尤其涉及一种卧式石英舟清洗设备。

技术介绍

[0002]硅片扩散工艺，是将硅片插在石英舟上，然后将石英舟连同硅片一起放入石英管，并一起放入高温扩散炉中，之后在炉管的尾部通入一定量含有扩散源的气体，在高温条件下，通过扩散源气体与硅片发生化学反应，完成扩散工艺。由于每次扩散工艺后，石英舟表面都会残存一定量扩散后的微粒，而石英舟又直接与硅片接触，因此，石英舟表面的清洁度直接影响到整个扩散工艺的质量。
[0003]现有的技术中，大多采用人工将清洗液倒入清洗槽中，然后将石英舟放入清洗槽内，通过浸泡的方式对石英舟清洗。这种方式存在不足之处，一是由于整个清洗工艺过程中石英舟始终处于静止状态，且与清洗液之间没有相对运动，使石英舟因不能得到全面的清洗而使得清洗效果不佳，从而易造成扩散工艺过程的污染；二是由于石英舟较长，在对石英舟内壁所形成的有机材料进行酸清洗后，附着的酸液不易清洗，大量水冲，不但浪费水而且偶尔会有酸液残留；三是石英舟更换场地来回搬运易碎且不安全，而且还会造成时间和人工的大量浪费。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于克服传统技术中存在的上述问题，提供一种卧式石英舟清洗设备。
[0005]为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本专利技术是通过以下技术方案实现：
[0006]一种卧式石英舟清洗设备，包括清洗箱、驱动箱和电控箱，所述清洗箱的侧端固定有电控箱，顶端固定有驱动箱；所述清洗箱的内腔底部设有并排分布的水洗槽安装室和酸洗槽安装室，所述水洗槽安装室中安装有水洗槽，所述酸洗槽安装室中安装有酸洗槽；所述清洗箱、驱动箱的内部共同安装有能够实现石英舟工件在水洗槽、酸洗槽之间切换的机械手载具。
[0007]进一步地，上述卧式石英舟清洗设备中，所述水洗槽、酸洗槽均为开口位于上侧的开口槽，所述开口槽的底板内侧对称固定有两排支撑座，每排所述支撑座中转动支撑有一根支撑轴，所述支撑轴的轴体上固定有用于对放入其内的石英舟工件提供滚动支撑用的支撑辊轮。
[0008]进一步地，上述卧式石英舟清洗设备中，所述开口槽位于支撑轴的外围区域固定有喷淋管，所述开口槽的侧板靠近底部设有带开度阀的排液管。
[0009]进一步地，上述卧式石英舟清洗设备中，所述开口槽位于与支撑轴垂直的两侧板对称开设有环形轨座，所述环形轨座中安装有能够带动槽体水平位移以提高清洗效果的轨轮。
[0010]进一步地，上述卧式石英舟清洗设备中，所述机械手载具包括导向轨座、活动式龙
门架、水平位移导向机构、水平位移驱动机构、竖向位移驱动机构和吊具组件，所述导向轨座共有两个且平行固定于清洗箱的顶部，所述活动式龙门架的底侧两端部分别与对应的导向轨座通过水平位移导向机构进行滑动连接，所述活动式龙门架的底部安装有能够带动其进行水平位移的水平位移驱动机构，所述活动式龙门架上对称设有两个能够独立动作的竖向位移驱动机构，所述活动式龙门架通过两个竖向升降机构共同安装有吊具组件。
[0011]进一步地，上述卧式石英舟清洗设备中，所述水平位移导向机构为由轨条和滑块构成的直线导轨副，所述滑块固定于活动式龙门架的底侧端部处，所述轨条固定于导向轨座上。
[0012]进一步地，上述卧式石英舟清洗设备中，所述水平位移驱动机构包括水平位移驱动电机、水平位移驱动轴、驱动齿轮和齿条，所述水平位移驱动电机的输出轴经皮带轮与水平位移驱动轴进行传动连接，所述水平位移驱动轴由活动式龙门架提供转动支撑，所述导向轨座的内侧沿其长度方向固定有齿条，所述水平位移驱动轴的轴体固定有与齿条啮合的驱动齿轮。
[0013]进一步地，上述卧式石英舟清洗设备中，所述竖向位移驱动机构包括竖向位移驱动电机、转向齿轮组、驱动丝杆、从动丝杆套、安装板、导向杆和导向套，所述竖向位移驱动电机固定于活动式龙门架的顶板外侧，所述驱动丝杆沿竖直方向设置且由活动式龙门架提供转动支撑，所述活动式龙门架位于驱动丝杆的两侧对称固定有导向杆，所述竖向位移驱动电机的输出轴经转向齿轮组与驱动丝杆进行传动连接，所述驱动丝杆的外侧套设有与其啮合的从动丝杆套，所述导向杆的套设有能够沿其轴向进行滑动的导向套，所述从动丝杆套、导向套共同固定于安装板的内侧，所述安装板的外侧固定有便于固定安装吊具组件用的安装框。
[0014]进一步地，上述卧式石英舟清洗设备中，所述吊具组件包括竖向吊杆、连接头、横向吊杆和吊钩，所述竖向吊杆的顶端与安装框固定，底端经连接头与横向吊杆连接，所述横向吊杆上安装有若干吊钩。
[0015]进一步地，上述卧式石英舟清洗设备中，所述连接头的底端开设有便于卡入横向吊杆的卡槽，所述卡槽卡入横向吊杆后其上方留有便于横向吊杆作倾斜动作的活动空间；所述连接头位于卡槽上方处穿设有第一螺栓，所述竖向吊杆的底端开设有相配合的圆穿孔，所述连接头位于卡槽处穿设有第二螺栓，所述横向吊杆上开设有便于其作倾斜动作的腰形穿孔。
[0016]本专利技术的有益效果是：
[0017]1、本专利技术结构设计合理，整个清洗工艺过程中石英舟可进行滚动，与清洗液之间产生相对运动，使石英舟因能够得到全面的清洗，清洗效果较好，避免造成扩散工艺过程的污染。
[0018]2、本专利技术使用机械手载具来实现石英舟工件切换工艺槽，生产效率高；机械手载具带有倾斜功能，可以将石英舟内的多余残留液体快速排出，便于后续处理，节省冲洗水资源的消耗。
[0019]3、本专利技术可完成石英舟工件的水洗、酸洗一体化操作，无需更换场地来回搬运，避免出现易碎、不安全问题，避免时间和人工的大量浪费；酸液槽盖与机械手互锁，减少酸液挥发，提高安全防护，可通过电控箱的触摸屏随时更改工艺顺序。
[0020]当然，实施本专利技术的任一产品并不一定需要同时达到以上的所有优点。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本专利技术的外部结构示意图；
[0023]图2为本专利技术的主视结构示意图；
[0024]图3为本专利技术的俯视结构示意图；
[0025]图4为本专利技术中清洗箱的内部结构示意图；
[0026]图5为本专利技术中水洗槽的内部结构示意图；
[0027]图6为本专利技术中水洗槽的侧视结构示意图；
[0028]图7为本专利技术中机械手载具的结构示意图；
[0029]图8为本专利技术中机械手载具省略吊具组件后的结构示意图；
[0030]图9为本专利技术中连接头的结构示意图；
[0031]图10为本专利技术中横向吊杆的局部结构示意图；
[0032]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0033]1‑
清洗箱，101
‑
水洗槽安装室，102
‑
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卧式石英舟清洗设备，包括清洗箱、驱动箱和电控箱，所述清洗箱的侧端固定有电控箱，顶端固定有驱动箱；其特征在于：所述清洗箱的内腔底部设有并排分布的水洗槽安装室和酸洗槽安装室，所述水洗槽安装室中安装有水洗槽，所述酸洗槽安装室中安装有酸洗槽；所述清洗箱、驱动箱的内部共同安装有能够实现石英舟工件在水洗槽、酸洗槽之间切换的机械手载具。2.根据权利要求1所述的卧式石英舟清洗设备，其特征在于：所述水洗槽、酸洗槽均为开口位于上侧的开口槽，所述开口槽的底板内侧对称固定有两排支撑座，每排所述支撑座中转动支撑有一根支撑轴，所述支撑轴的轴体上固定有用于对放入其内的石英舟工件提供滚动支撑用的支撑辊轮。3.根据权利要求2所述的卧式石英舟清洗设备，其特征在于：所述开口槽位于支撑轴的外围区域固定有喷淋管，所述开口槽的侧板靠近底部设有带开度阀的排液管。4.根据权利要求2所述的卧式石英舟清洗设备，其特征在于：所述开口槽位于与支撑轴垂直的两侧板对称开设有环形轨座，所述环形轨座中安装有能够带动槽体水平位移以提高清洗效果的轨轮。5.根据权利要求1所述的卧式石英舟清洗设备，其特征在于：所述机械手载具包括导向轨座、活动式龙门架、水平位移导向机构、水平位移驱动机构、竖向位移驱动机构和吊具组件，所述导向轨座共有两个且平行固定于清洗箱的顶部，所述活动式龙门架的底侧两端部分别与对应的导向轨座通过水平位移导向机构进行滑动连接，所述活动式龙门架的底部安装有能够带动其进行水平位移的水平位移驱动机构，所述活动式龙门架上对称设有两个能够独立动作的竖向位移驱动机构，所述活动式龙门架通过两个竖向升降机构共同安装有吊具组件。6.根据权利要求5所述的卧式石英舟清洗设备，其特征在于：所述水平位移导向机构为由轨条和滑块构成的直线导轨副，所述滑块固定于活动式...

【专利技术属性】
技术研发人员：周尤，段昧存，韦树喜，
申请(专利权)人：安徽万维克林精密装备有限公司，
类型：发明
国别省市：