一种自动检测单晶硅棒晶向的装置制造方法及图纸

技术编号:30520153 阅读:26 留言:0更新日期:2021-10-27 23:03
本实用新型专利技术公开了一种自动检测单晶硅棒晶向的装置,包括固定板、支架、支撑臂和固定基座,所述固定基座的中间设置有升降护罩,所述固定基座的一侧设置有晶向检测传感器,所述固定基座的边缘处设置有放置装置,所述放置装置包括放置板、卡紧螺柱、固定槽、固定环和转动销,所述固定基座的边缘处设置有转动销,所述固定基座通过转动销与放置板相连接。本实用新型专利技术所述的一种自动检测单晶硅棒晶向的装置,属于单晶硅棒晶向领域,通过将放置板绕着转动销转动,然后通过卡紧螺柱将固定环进行固定,从而使得可以将检测报废的单晶硅棒放在放置板上,通过旋转转动轴使得齿轮与齿条相传动,从而可以将升降护罩进行升降,比较方便。比较方便。比较方便。

【技术实现步骤摘要】
一种自动检测单晶硅棒晶向的装置


[0001]本技术涉及单晶硅棒晶向领域,特别涉及一种自动检测单晶硅棒晶向的装置。

技术介绍

[0002]单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒,晶向是指晶体的一个基本特点是具有方向性,沿晶格的不同方向晶体性质不同,布拉维点阵的格点可以看成分列在一系列相互平行的直线系上,这些直线系称为晶列,同一个格点可以形成方向不同的晶列,每一个晶列定义了一个方向,称为晶向。在专利号为CN203824893U,名称为《一种单晶硅棒晶向检测装置》中,升降护罩调整比较麻烦,且升降护罩固定不牢靠,还有检测晶向时,检测晶向时缺少放置装置或者中转平面,报废的单晶硅棒没有放置的地方,有报废品时机械手需要夹持较远的距离,效率较低。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种自动检测单晶硅棒晶向的装置,可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:
[0005]一种自动检测单晶硅棒晶向的装置,包括固定板、支架、支撑臂和固定基座,所述固定基座的中间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动检测单晶硅棒晶向的装置,其特征在于:包括固定板(1)、支架(2)、支撑臂(3)和固定基座(4),所述固定基座(4)的中间设置有升降护罩(6),所述固定基座(4)的一侧设置有晶向检测传感器(5),所述固定基座(4)的边缘处设置有放置装置(7),所述放置装置(7)包括放置板(701)、卡紧螺柱(702)、固定槽(703)、固定环(704)和转动销(705),所述固定基座(4)的边缘处设置有转动销(705),所述固定基座(4)通过转动销(705)与放置板(701)相连接,所述固定基座(4)的下表面开设有固定槽(703),所述固定槽(703)的内部设置有固定环(704),所述固定基座(4)的一侧设置有卡紧螺柱(702),所述固定基座(4)上位于升降护罩(6)的一侧设置有调整装置(8),所述调整装置(8)包括固定块(801)、第一固定螺帽(802)、第二固定螺帽(803)、齿条(804)、齿轮(805)、预留槽(806)、紧固螺栓(807)和转动轴(808),所述升降护罩(6)的一侧设置有固定块(801),所述固定块(801)通过紧固螺栓(807)与升降护罩(6)相固定,所述固定块(801)上开设有预留槽(806),所述预留槽(806)的侧壁设置有齿条(804),所述固定基座(...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵亮娄勇
申请(专利权)人:锦州佑华硅材料有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1