庭院控制特征制造技术

一种制造多个光学元件(140)的方法，包括以下步骤：提供基板(120)和包括多个复制分区(106)的工具(101)，每个复制分区限定光学元件(140)之一的表面结构，该工具(101)还包括至少一个接触间隔物部分(112)，使工具(101)和基板(120)相对于彼此对准，并使工具(101)和基板的第一侧(122)结合在一起，复制材料(124)在工具(101)和基板(120)之间，该接触间隔物部分(112)接触基板的第一侧(122)，从而使间隔物部分(112)粘附到基板的第一侧(122)，使复制材料(124)硬化，其中基板(120)具有围绕复制分区(106)的至少一部分的庭院线特征(138)，庭院线特征(138)在庭院线相对于工具(101)和基板(120)的第一侧包含复制材料(124)。(120)的第一侧包含复制材料(124)。(120)的第一侧包含复制材料(124)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】庭院控制特征


[0001]本公开涉及微流体对准特征。

技术介绍

[0002]包括一个或多个光学辐射发射器和一个或多个光学传感器的光学设备可用于广泛的应用，包括例如距离测量、接近度感测、手势感测和成像。小型光电模块(例如成像设备和投光器)采用光学组件，该光学组件包括沿着设备光轴堆叠的透镜或其他光学元件，以实现期望的光学性能。复制光学元件包括用于影响光束的透明衍射和/或折射光学元件。在一些应用中，这种光电模块可以包含在各种消费电子产品(例如移动计算设备、智能电话或其他设备)的外壳中。

技术实现思路

[0003]本公开描述了包括微间隔物的光学和光电组件，以及制造这种组件的方法。
[0004]基板可以是“晶圆”或其他基础元件，具有附加的结构添加到其上，例如具有粘附到其上的硬化复制材料结构，限定多个光学元件的表面，具有一些光刻添加或去除的特征(例如孔等)或一些其他结构。基板可以包括任何材料或材料组合。
[0005]光学元件可以是影响照射它们的光的任何元件，包括但不限于透镜/准直器、图案发生器、偏转器、反射镜、分束器、用于将本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种制造多个光学元件的方法，该方法包括:提供基板；提供在复制侧包括多个复制分区的工具，每个复制分区限定所述光学元件之一的表面结构，所述工具还包括至少一个接触间隔物部分，所述接触间隔物部分在复制侧比所述复制分区的最外特征突出得更远；使所述工具和所述基板相对于彼此对准，并使所述工具和所述基板的第一侧结合在一起，在所述工具和所述基板之间有复制材料，所述接触间隔物部分接触所述基板的第一侧，从而使所述间隔物部分粘附到所述基板的第一侧；使所述复制材料硬化；以及使所述工具与所述基板分离，硬化的复制材料粘附到所述基板上，其中所述基板具有围绕所述复制分区的至少一部分的庭院线特征，所述庭院线特征被配置为在庭院线相对于所述基板的第一侧包含所述复制材料。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述庭院线特征围绕沉积到所述基板上的复制材料。3.根据权利要求1所述的方法，包括沉积第一体积的复制材料，接着沉积第二体积的复制材料，所述第二体积大于所述第一体积。4.根据权利要求1所述的方法，包括从所述基板去除所述庭院线特征。5.一种制造多个光学元件的方法，所述方法包括:提供基板，在所述基板的第一侧上具有抗蚀剂层；提供在复制侧包括多个复制分区的工具，...

【专利技术属性】
技术研发人员：博扬泰沙诺比，哈特姆特鲁德曼，尼古拉斯普林，SL加齐尼，
申请(专利权)人：ams传感器新加坡私人有限公司，
类型：发明
国别省市：