【技术实现步骤摘要】
分拣装置及其挑拣模块
[0001]本技术涉及分拣装置,更具体地说,涉及一种分拣装置及其挑拣模块。
技术介绍
[0002]随着LED的不断发展,对LED的需求和品质要求也越来越高,尤其是迷你LED技术的进步,带动了显示行业的快速发展,同时也对LED晶粒的品质提出了更高的要求。
[0003]在LED晶圆的加工制程中,晶圆被切割成多个晶粒,切割后的晶粒需要经过一系列的检测,并根据所检测的光电参数进行分类。晶粒分拣装置将晶粒挑选出来整齐排列到蓝膜上,以方便后续制程作业。
[0004]图1是现有技术中一种分拣装置的结构示意图。如图1所示,该分拣装置包括待分料晶粒顶取模块1、与待分料晶粒顶取模块1相对设置的晶粒分类模块2、以及设置在两者之间的挑拣模块3,其中一挑拣模块3将晶粒从待分料晶粒顶取模块1上吸取以后,旋转至晶粒分类模块2并将晶粒4置放在对应的蓝膜上。其中,可通过在晶粒分类模块2中设置顶针,并使顶针推顶蓝膜朝向挑拣模块3的吸嘴方向运动,使得吸嘴上的晶粒置放到蓝膜上。在这种现有的分拣装置中,由于顶针在推顶蓝膜的过程中 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种分拣装置的挑拣模块,其特征在于,所述挑拣模块包括:可旋转的摆臂底座;分别连接在所述摆臂底座的两端上方的摆臂组件,每个所述摆臂组件包括:可滑动地连接在所述摆臂底座上的吸嘴座、以及设置在所述吸嘴座上的吸嘴组件;与所述摆臂底座连接并驱动所述摆臂底座旋转、使得所述吸嘴组件在第一位置和第二位置之间切换的摆臂底座驱动装置;以及拨动组件,包括拨杆、以及驱动所述拨杆运动的拨杆驱动装置,所述拨杆与处于第二位置的所述吸嘴组件配合并带动所述吸嘴组件的吸嘴座滑动以放料。2.根据权利要求1所述的分拣装置的挑拣模块,其特征在于,所述拨动组件还包括拨杆旋转轴,所述拨杆连接于所述拨杆旋转轴,且一端与所述拨杆驱动装置配合,另一端与处于第二位置的所述吸嘴组件配合。3.根据权利要求1所述的分拣装置的挑拣模块,其特征在于,所述吸嘴组件可沿第一方向运动地设置在所述吸嘴座上,在所述吸嘴座和所述吸嘴组件之间设置有缓冲件,所述缓冲件在变形状态恒对所述吸嘴组件施加远离另一摆臂组件的弹力。4.根据权利要求3所述的分拣装置的挑拣模块,其特征在于,所述摆臂组件还包括连接在所述吸嘴座和吸嘴组件之间的固定套,所述固定套固定设置在所述吸嘴座上,在所述吸嘴组件上固定设置有限位突起,所述限位突起在所述缓冲件的作用下抵顶在所述吸嘴座或者固定套上。5.根据权利要求1所述的分拣装置的挑拣模块,其特征在于,所述吸嘴组件可沿第一方向运动地设置在所述吸嘴座上,所述吸嘴座包括:与所述摆臂底座滑动连接的连接部;从所述连接部沿着第二方向向上延伸的吸嘴安装部,所述吸嘴组件设置在所述吸嘴安装部上,所述第二方向与所述第一方向垂直;以及设置在所述连接部或吸嘴安装部底部的拨动部,所述拨动部是沿着第二方向向下延伸的单个突出部、或者是沿着第二方向...
【专利技术属性】
技术研发人员:王胜利,刘振辉,
申请(专利权)人:矽电半导体设备深圳股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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