一种热丝法化学气相沉积设备制造技术

本实用新型专利技术属于化学气相沉积技术领域，具体公开了一种热丝法化学气相沉积设备，包括腔体、载具、加热组件及调压组件，其中，腔体至少设置有两个腔室，每个腔室均设置有进气口和出气口；载具包括竖直紧固于腔室内的升降台、以及设置于升降台的载盘，载盘设置有1～3排待镀膜的工件；加热组件包括加热丝，以及电极组件；电极组件与供电装置电连接；调压组件用于腔室压力调节及腔室中气体的输入输出。本实用新型专利技术能够有效提升工件镀膜效率及其灵活性，且镀膜一致性和均匀性好，同时还能够有效节省镀膜成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
一种热丝法化学气相沉积设备


[0001]本技术涉及化学气相沉积
，尤其涉及一种热丝法化学气相沉积设备。

技术介绍

[0002]随着工业应用要求的提升，制造技术和能力不断发展，一些领域需要的材料加工难度不断加大，传统的物理气相沉积(PVD，PhysicalVaporDeposition)镀膜刀具也难以应付，因此需要使用更厚、更硬的薄膜来满足寿命需求。热丝法化学气相沉积(HFCVD，HotFilamentChemicalVaporDeposition)是工业镀膜领域广泛应用的镀膜技术，相比物理气相沉积镀膜，可在刀具上沉积更厚的薄膜来应付重切削环境，其更突出的优势在于可沉积金刚石薄膜，化学气相沉积(CVD，ChemicalVaporDeposition)技术是目前唯一能在刀具上沉积金刚石薄膜材料的方法。要制备高品质化学气相沉积薄膜，首当其冲要有好的化学气相沉积设备，该设备将两种或两种以上气态原材料导入反应腔时，气态原材料经热丝高温热解成活性物质，相互之间发生化学反应，形成一种新的材料并沉积到刀具或模具表面，形成硬质薄膜以提高产品的耐磨、耐腐蚀等本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热丝法化学气相沉积设备，其特征在于，包括：腔体(1)，至少设置有两个腔室(11)，每个所述腔室(11)均设置有进气口(12)和出气口(13)；载具，架设于所述腔室(11)，所述载具包括竖直紧固于所述腔室(11)内的升降台(21)、以及设置于所述升降台(21)的载盘(22)，所述载盘(22)设置有1～3排待镀膜的工件(23)；加热组件，用于所述工件(23)均匀加热，所述加热组件包括架设于所述工件(23)上方的加热丝(33)，以及设置于所述加热丝(33)两端的电极组件；所述电极组件与供电装置(5)电连接；调压组件，用于所述腔室(11)的压力调节及所述腔室(11)中气体的输入输出。2.根据权利要求1所述的一种热丝法化学气相沉积设备，其特征在于，所述电极组件包括正导电杆(32)、负导电杆及电极，所述电极包括设置于两所述正导电杆(32)之间的正电极(31)，以及设置于两所述负导电杆之间的负电极。3.根据权利要求2所述的一种热丝法化学气相沉积设备，其特征在于，所述正电极(31...

【专利技术属性】
技术研发人员：周敏，王俊锋，戴军，
申请(专利权)人：广东鼎泰高科技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：