温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于化学气相沉积技术领域，具体公开了一种热丝法化学气相沉积设备，包括腔体、载具、加热组件及调压组件，其中，腔体至少设置有两个腔室，每个腔室均设置有进气口和出气口；载具包括竖直紧固于腔室内的升降台、以及设置于升降台的载盘，载盘设置有...
该专利属于广东鼎泰高科技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东鼎泰高科技术股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。