反应管固定模组与反应炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种反应管固定模组与反应炉，反应管固定模组包括反应管、套接件与至少两个柔性支撑件：套接件用于与外部构件连接，套接件套接在反应管的外侧，且与反应管之间具有间隙；柔性支撑件套接在反应管的外侧，位于间隙内且分别与反应管以及套接件接触，各柔性支撑件沿反应管的轴向分布。本实用新型专利技术实施例的反应管固定模组中，套接件通过至少两个沿反应管的轴向分布的柔性支撑件支撑反应管，可以避免反应管与硬质的套接件直接接触而发生破裂，至少两个柔性支撑件能够提供多个支撑位置，从而均衡反应管的受力，减少反应管支撑位置的压强，实现反应管的稳定放置。实现反应管的稳定放置。实现反应管的稳定放置。

【技术实现步骤摘要】
反应管固定模组与反应炉


[0001]本技术涉及晶圆制造领域，尤其是涉及反应管固定模组与反应炉。

技术介绍

[0002]随着国内半导体行业的迅速发展，半导体相关设备需求也越来越大，晶圆的处理通过在反应管中的进行，在某些场合需要对反应管的一端进行固定，另一端保持悬空，相关技术中通常采用法兰盘实现端部固定，由于反应管的固定端需要承受较大的作用力，且反应管由易碎的材质(例如石英)制成，因此与法兰盘接触后容易碎裂。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种反应管固定模组，能够避免反应管碎裂。
[0004]本技术还公开了应用上述反应管固定模组的反应炉。
[0005]根据本技术第一实施例的反应管固定模组，包括：
[0006]反应管；
[0007]套接件，用于与外部构件连接，所述套接件套接在所述反应管的外侧，且与所述反应管之间具有间隙；
[0008]至少两个柔性支撑件，所述柔性支撑件套接在所述反应管的外侧，位于所述间隙内且分别与所述反应管以及所述套接件接触本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.反应管固定模组，其特征在于，包括：反应管；套接件，用于与外部构件连接，所述套接件套接在所述反应管的外侧，且与所述反应管之间具有间隙；至少两个柔性支撑件，所述柔性支撑件套接在所述反应管的外侧，位于所述间隙内且分别与所述反应管以及所述套接件接触，各所述柔性支撑件沿所述反应管的轴向分布。2.根据权利要求1所述的反应管固定模组，其特征在于，所述套接件具有第一环形槽，所述第一环形槽内具有所述柔性支撑件；所述反应管固定模组还包括第一连接件，所述第一连接件套接在所述反应管的外侧，且与所述套接件连接，以将所述柔性支撑件限制在对应的所述第一环形槽内。3.根据权利要求2所述的反应管固定模组，其特征在于，所述第一连接件能够挤压对应的所述柔性支撑件，以使所述柔性支撑件沿所述反应管的径向伸展。4.根据权利要求3所述的反应管固定模组，其特征在于，所述第一连接件具有伸入所述第一环形槽内的挤压部，沿所述挤压部的伸入方向，所述第一环形槽的槽壁与所述反应管之间的距离逐渐缩小。5.根据权利要求1所述的反应管固定模组，其特征在于，所述反应管固定模组还包括柔性填充件，所述柔性填充件填充于所述间隙内，且与所述反应管接触。6.根据权利要求5所述的反应管固定模组，其特征在于，所述柔性填充件为导热硅胶。7.根据权利要求1所述的反应管固定模组，其特征在于，所述反应管固定模组还包括高度调节件，所述高度调节件与所述套接件连接，支撑于所述反应管的下方，能够沿竖直方向运动。8.根据权利要求7所述的反应管固定模组，其特征在于，所述高度调节件...

【专利技术属性】
技术研发人员：李时俊，李学文，刘兵吉，王郴意，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：