一种发光二极管及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种发光二极管，包含与第一半导体层连接有第一电极，与第二半导体层连接有第二电极，第一电极和/或第二电极依次包括第一反射层、接垫层和至少部分包覆接垫层的第二反射层，第二反射层的材料包括铑、铂或者钌，第一反射层和第二反射层通过良好的应力特性制作大角度的电极结构，有利于提升发光二极管的光电特性，提升产品可靠性。提升产品可靠性。提升产品可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种发光二极管及其制作方法


[0001]本专利技术是有关于一种半导体制造领域，特别是指一种具有高可靠性电极的发光二极管。

技术介绍

[0002]参看图1，现有LED芯片电极结构设计因考虑到其光萃取效率, 在电极结构中增加高反射率之材料作为反射层200以提高光效, 但大多高反射材料：例如银、铝等，其特性易受环境、温度、湿度、酸碱度等影响而降低产品稳定性, 故在其后覆盖迁移率低的金属保护层230加以保护, 但此设计仅能延长此反射层材料与环境反应之时间, 无法完全避免其金属材料迁移或析出及电极脱落等重大异常, 导致终端产品模块无法正常运作;且因此电极结构设计会限制产品设计及应用领域，如高电流高电压驱动,极端环境等。

技术实现思路

[0003]本专利技术就是针对
技术介绍
的问题提出一种可行的解决方案，借由稳定金属铑、钌或者铂采用双反射层结构，构建可靠性强的电极设计。
[0004]本专利技术提供的第一个实施例中，公开了一种发光二极管，包含：基板，以正装产品为例，包括表面具有一系列凸起的基板，包括例如采用干法蚀刻制作的没有固定斜率的凸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种发光二极管，包含：外延发光层，外延发光层包括第一半导体层、第二半导体层和位于两者之间的有源层，与第一半导体层连接有第一电极，与第二半导体层连接有第二电极，其特征在于，第一电极和/或第二电极依次包括第一反射层、用于打线或者键合的接垫层，其中第一反射层上包覆有应力调整层，应力调整层的成膜应力方向与第一反射层相反。2.根据权利要求1所述的一种发光二极管，其特征在于，第一反射层的材料包括铑、铂或者钌。3.根据权利要求1所述的一种发光二极管，其特征在于，应力调整层为第一反射层厚度的65%至75%。4.根据权利要求1所述的一种发光二极管，其特征在于，第一反射层材料为铂，应力调整层材料为钌或铑。5.根据权利要求1所述的一种发光二极管，其特征在于，第一反射层的厚度为不小于500埃。6.根据权利要求1所述的一种发光二极管，其特征在于，第一电极和/或第二电极的截面为梯...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈柏羽，邓有财，张中英，
申请(专利权)人：厦门三安光电有限公司，
类型：发明
国别省市：