【技术实现步骤摘要】
具有用于容纳光发射体的嵌入式阱的图像传感器
[0001]本专利技术涉及一种具有用于容纳光发射体的嵌入式阱的图像传感器及其制造方法、以及一种用于多个样本的基于发光的询问的设备及其制造方法。
技术介绍
[0002]脱氧核糖核酸(DNA)是由两条互相缠绕的链组成的分子，以形成携带有用于所有已知生物体和许多病毒的发育、功能、生长和繁殖的遗传指令的双螺旋。两条DNA链由核苷酸组成。每种核苷酸包括四种含氮核碱基之一：胞嘧啶(C)、鸟嘌呤(G)、腺嘌呤(A)或胸腺嘧啶(T)。根据将A与T配对和C与G配对的碱基配对规则，两条DNA链通过核碱基之间的氢键彼此结合。
[0003]DNA测序是确定DNA中核碱基的序列(即，物理顺序)的过程。DNA测序可以用于确定任何生物体的各个基因、较大的遗传区域(即，基因或操纵子的簇)、完整的染色体或整个基因组的序列。虽然DNA测序历来是一项非常耗时的工作，但最近“快速”且价格较低的DNA测序技术的出现使DNA测序成为生物学和医学、法医学和人类学等其他科学的许多领域中的关键技术。
[0004]许...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有用于容纳光发射体的嵌入式阱的图像传感器，包括：半导体基板，其包括分别与所述图像传感器的感光像素的阵列对应的掺杂的感测区域的阵列，所述半导体基板形成阱的阵列，每个阱与相应掺杂的感测区域对准，以促进由包括所述相应掺杂的感测区域的感光像素检测由设置在所述阱中的光发射体发射到所述感光像素的光；以及在相邻的掺杂的感测区域之间的阻光屏障，以减少光从未与每个感光像素的掺杂的感测区域对准的阱传播到所述每个感光像素的所述掺杂的感测区域。2.根据权利要求1或2所述的图像传感器，所述阻光屏障至少是部分反射的。3.根据权利要求1或2所述的图像传感器，所述阱位于所述半导体基板的光接收表面中，所述阻光屏障在与所述掺杂的感测区域的阵列的平面正交的维度中跨越至少从所述半导体基板的所述光接收表面的顶部到所述阱的底部的下方。4.根据权利要求1或2所述的图像传感器，每个掺杂的感测区域在与所述感光像素的阵列的平面正交的维度中跨越至少从所述阱的底部的上方到下方。5.根据权利要求1或2所述的图像传感器，所述阱位于所述半导体基板的光接收表面中，所述图像传感器还包括设置在所述光接收表面上并衬于所述阱的阵列以形成带衬里的阱的阵列的一个或多个顶部层，所述一个或多个顶部层包括至少一个钝化层。6.根据权利要求5所述的图像传感器，所述阻光屏障在与所述感光像素的阵列的平面正交的第一维度中具有第一跨度，所述第一跨度至少从所述光接收表面的顶部到所述带衬里的阱的底部的下方。7.根据权利要求6所述的图像传感器，每个掺杂的感测区域在所述第一维度中具有第二跨度，所述第二跨度与所述第一跨度重叠。8.根据权利要求7所述的图像传感器，所述第二跨度至少从所述带衬里的阱的底部的上方到所述阱的底部的下方。9.根据权利要求7所述的图像传感器，所述第二跨度仅位于所述阱的底部的下方。10.根据权利要求5所述的图像传感器，所述一个或多个顶部层包括：设置在所述光接收表面上的第一钝化层；设置在所述第一钝化层上的高k介电层；以及设置在所述高k介电层上的第二钝化层。11.根据权利要求10所述的图像传感器，所述半导体基板还在相邻的感光像素之间形成沟槽，所述第一钝化层和所述高k介电层衬于所述沟槽，所述阻光屏障是设置在所述沟槽中的所述高k介电层上的阻光深沟槽隔离。12.根据权利要求1或2所述的图像传感器，每个阱的底部在所述半导体基板的顶部下方50和300纳米之间，每个阱具有在50和1000纳米之间范围内的宽度，所述感光像素的阵列的特征在于在0.5和3.0微米范围内的节距。13.根据权利要求1或2所述的图像传感器，每个阱具有平坦的底部表面。14.一种用于多个样本的基于发光的询问的设备，包括：权利要求1至13中任一项所述的图像传感...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘家颖，杨武璋，刘嘉蓉，张明，钱胤，阿里雷萨，
申请(专利权)人：豪威科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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