测试机台的校准方法及校准系统技术方案

本发明专利技术公开了一种测试机台的校准方法及校准系统，校准方法包括：由标准测试源和测试机台的测试源同时测试待测器件的输出参数，获得所述待测器件的输出参数的标准值和测试值；抽样测试多个待测器件的输出参数，获得多个标准值和多个测试值；计算获得所述多个标准值和所述多个测试值的差值的均值，根据所述差值的均值获得校准系数；存储所述校准系数，根据所述校准系数对所述测试机台进行校准。该校准方法能够实现测试机台的快速精确校准，提高了测试效率。试效率。试效率。

【技术实现步骤摘要】
测试机台的校准方法及校准系统


[0001]本专利技术涉及测试
，具体涉及一种测试机台的校准方法及校准系统。

技术介绍

[0002]在集成电路设计中，需要对某些电路参数进行精确控制，如芯片中的基准电压源，基准电流源的输出电压或输出电流值的测量，而这些参数又往往受到流片工艺的影响，一个设计在大生产中的不同批次，或同一批次的不同管芯之间参数存在漂移，从而影响芯片工作的精度。
[0003]在使用量产的测试机台对芯片等待测器件的输出参数进行测量时，量产测试机台测试源的测试精度有限，而受限于测试源的偏置误差影响，无法获得高精度的芯片参数值。同时，不同批次的产品测试不会使用同一台测试机台；以及不同的测试机台固有的偏置误差不同，都会影响产品参数测量的准确性。
[0004]因此，有必要提供改进的技术方案以克服现有技术中存在的以上技术问题。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种测试机台的校准方法及校准系统，能够实现测试机台的快速精确校准，提高了测试效率。
[0006]根据本专利技术提供的一种测试机台的校准方法，包括：由标准测试源和测试机台的测试源同时测试待测器件的输出参数，获得所述待测器件的输出参数的标准值和测试值；抽样测试多个待测器件的输出参数，获得多个标准值和多个测试值；计算获得所述多个标准值和所述多个测试值的差值的均值，根据所述差值的均值获得校准系数；存储所述校准系数，根据所述校准系数对所述测试机台进行校准。
[0007]优选地，采用标准测试源和测试机台的测试源同时测试待测器件的输出参数之前还包括：对所述测试机台的测试源测试的待测器件的个数进行计数。
[0008]优选地，采用标准测试源和测试机台的测试源同时测试待测器件的输出参数之前还包括：判断初始的计数值是否为零，若所述初始的计数值不为零，对所述初始的计数值进行清零。
[0009]优选地，计算获得所述多个标准值和所述多个测试值的差值的均值之前还包括：判断当前的计数值是否大于第一阈值，若当前的计数值不大于所述第一阈值，继续进行抽样测试。
[0010]优选地，计算获得所述多个标准值和所述多个测试值的差值的均值包括：计算每个待测器件对应的标准值和测试值的差值，获得多个差值；计算所述多个差值的均值。
[0011]优选地，计算获得所述多个标准值和所述多个测试值的差值的均值包括：计算所述多个标准值的均值；计算所述多个测试值的均值；计算所述多个标准值的均值与所述多个测试值的均值的差值。
[0012]优选地，根据所述校准系数对所述测试机台进行校准还包括：断开所述标准测试
源，由所述校准系数对所述测试机台的测试源测试的所述待测器件输出参数的测试值进行校准。
[0013]优选地，由所述校准系数对所述测试机台的测试源测试的所述待测器件输出参数的测试值进行校准之后还包括：判断当前的计数值是否大于第三阈值，若当前的计数值不大于所述第三阈值，由所述测试机台的测试源根据所述校准系数测试下一所述待测器件的输出参数；若当前的计数值大于所述第三阈值，所述计数值清零，更新所述校准系数。
[0014]优选地，所述第三阈值大于所述第一阈值。
[0015]优选地，根据所述差值的均值获得校准系数之前还包括：计算所述多个标准值的均值；判断所述差值的均值是否大于所述多个标准值的均值与所述第二阈值的乘积，若所述差值的均值大于所述多个标准值的均值与所述第二阈值的乘积，发出故障警报，对所述测试机台进行故障检修；故障检修后，重新对所述测试机台进行校准。
[0016]根据本专利技术提供的一种测试机台的校准系统，包括：测试机台，用于逐个对多个待测器件进行电性测试，以获得对应所述多个待测器件的输出参数的多个测试值；标准测试源，与所述测试机台电性连接，用于在所述测试机台对所述多个待测器件进行电性测试的同时，测试获得对应所述多个待测器件的输出参数的多个标准值，其中，所述测试机台还用于根据所述多个测试值和所述多个标准值获得校准系数。
[0017]优选地，所述标准测试源为高精度电压表。
[0018]本专利技术的有益效果是：本专利技术公开了一种测试机台的校准方法及校准系统，采用标准测试源与测试机台测试源同时对待测器件的输出参数进行测试进而获得校准系数，确保了不同的测试源具有相同的测试环境，避免了外在因素的干扰，实现了对测试机台的快速精确校准。
[0019]采用抽样测试的方法，提高了测试效率。
[0020]对测试机台测试的待测器件数量进行计数，方便于对测试及校准工作的管理和记录，有助于提高测试效率。
[0021]确保校准操作时初始的计数值为0，避免了本次校准前的对待测器件的电性测试记录对本次校准操作的影响，提高了对测试机台的校准结果的准确性。
[0022]获得校准数据后关断外置的标准测试源，有测试机台内置的测试源根据校准系数对后续的待测器件进行测试，在保证测试精度的同时，降低了能源损耗。
[0023]在关断外置标准测试源之前对当前测试机台进行故障检测，以及在测试一定数量的待测器件后重新启动校准程序以更新校准系数，都更进一步的提高了对测试机台校准结果的准确性。
[0024]应当说明的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本专利技术。
附图说明
[0025]通过以下参照附图对本专利技术实施例的描述，本专利技术的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚。
[0026]图1示出本专利技术实施例提供的测试机台校准系统的结构框图；
[0027]图2示出本专利技术实施例提供的测试机台校准方法的流程图。
具体实施方式
[0028]为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的较佳实施例。但是，本专利技术可以通过不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反的，提供这些实施例的目的是使对本专利技术的公开内容的理解更加透彻全面。
[0029]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。
[0030]下面，参照附图对本专利技术进行详细说明。
[0031]图1示出本专利技术实施例提供的测试机台校准系统的结构框图，图2示出本专利技术实施例提供的测试机台校准方法的流程图。
[0032]参考图1和图2，本实施例中，测试机台校准系统包括：测试机台100以及外置的标准测试源200。其中，测试机台100用于对待测器件300进行电性测试，以获得待测器件300的输出参数的测试值。标准测试源200与测试机台100电性连接，用于测试机台100对待测器件300进行电性测试的同时，测试获得待测器件300的输出参数的标准值。
[0033]进一步的，测试机100还用于在测试过程中接收返回的测试结果(包括标准值、测试值测量的待测芯片个数等)，并根据测试结果获得校准系数，选择是否断开标本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试机台的校准方法，其特征在于，包括：由标准测试源和测试机台的测试源同时测试待测器件的输出参数，获得所述待测器件输出参数的标准值和测试值；抽样测试多个待测器件的输出参数，获得多个标准值和多个测试值；计算获得所述多个标准值和所述多个测试值的差值的均值，根据所述差值的均值获得校准系数；存储所述校准系数，根据所述校准系数对所述测试机台进行校准。2.根据权利要求1所述的测试机台的校准方法，其特征在于，采用标准测试源和测试机台的测试源同时测试待测器件的输出参数之前还包括：对所述测试机台的测试源测试的待测器件的个数进行计数。3.根据权利要求2所述的测试机台的校准方法，其特征在于，采用标准测试源和测试机台的测试源同时测试待测器件的输出参数之前还包括：判断初始的计数值是否为零，若所述初始的计数值不为零，对所述初始的计数值进行清零。4.根据权利要求3所述的测试机台的校准方法，其特征在于，计算获得所述多个标准值和所述多个测试值的差值的均值之前还包括：判断当前的计数值是否大于第一阈值，若当前的计数值不大于所述第一阈值，继续进行抽样测试。5.根据权利要求4所述的测试机台的校准方法，其特征在于，计算获得所述多个标准值和所述多个测试值的差值的均值包括：计算每个待测器件对应的标准值和测试值的差值，获得多个差值；计算所述多个差值的均值。6.根据权利要求4所述的测试机台的校准方法，其特征在于，计算获得所述多个标准值和所述多个测试值的差值的均值包括：计算所述多个标准值的均值；计算所述多个测试值的均值；计算所述多个标准值的均值与所述多个测试值的均值的差值。7.根据权利要求4所述的测试机台的校准方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙宏雨，
申请(专利权)人：圣邦微电子北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：