显示装置和用于制造显示装置的方法制造方法及图纸

一种显示装置和一种用于制造显示装置的方法，所述显示装置包括：基板；第一导电层，位于基板上并且包括下部阻光图案和第一信号线；缓冲层，位于第一导电层上；半导体层，位于缓冲层上并且包括第一半导体图案和与第一半导体图案分离的第二半导体图案；绝缘层，位于半导体层上并且包括绝缘层图案；第二导电层，位于绝缘层上并且包括第二信号线；平坦化层，位于第二导电层上；以及第三导电层，位于平坦化层上并且包括阳极电极。第一半导体图案通过阳极电极电连接到下部阻光图案，并且第二半导体图案的至少一部分与第一信号线和第二信号线中的每一条绝缘并重叠。的每一条绝缘并重叠。的每一条绝缘并重叠。

【技术实现步骤摘要】
显示装置和用于制造显示装置的方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2020年4月9日提交的第10
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2020
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0043332号韩国专利申请的优先权及从其产生的所有权益，上述韩国专利申请的内容通过引用全部包含于此。


[0003]本公开涉及显示装置和用于制造显示装置的方法。

技术介绍

[0004]向用户提供图像的诸如电视机、智能电话、平板PC、数码相机、膝上型计算机和导航系统的电子装置包括用于显示图像的显示装置。
[0005]显示装置是用于显示图像的装置，并且包括诸如发光显示面板或液晶显示面板的显示面板。在上述面板中，发光显示面板可以包括发光元件。发光二极管(“LED”)的示例包括使用有机材料作为荧光材料的有机发光二极管(“OLED”)和使用无机材料作为荧光材料的无机发光二极管。
[0006]显示装置可以包括多个像素和用于驱动每个像素的像素电路。每个像素电路包括薄膜晶体管和形成在绝缘基板上的布线。

技术实现思路

[0007]在每个像素内，在其中各条布线重叠的部分中可能生成寄生电容器。本公开的各方面提供了一种能够抑制或防止寄生电容器的形成的显示装置。
[0008]本公开的各方面还提供制造能够抑制或防止寄生电容器的形成的显示装置的方法。
[0009]然而，本公开的各方面不限于本文中阐述的那些方面。通过参考下面给出的本公开的详细描述，本公开的以上和其他方面对于本公开所属领域的普通技术人员而言将变得更明显。
[0010]显示装置的实施例包括：基板；第一导电层，所述第一导电层设置在所述基板上，并且包括下部阻光图案和第一信号线；缓冲层，所述缓冲层设置在所述第一导电层上；半导体层，所述半导体层设置在所述缓冲层上，并且包括第一半导体图案和与所述第一半导体图案分离的第二半导体图案，所述第一半导体图案包括晶体管的沟道区；绝缘层，所述绝缘层设置在所述半导体层上，并且包括绝缘层图案；第二导电层，所述第二导电层设置在所述绝缘层上，并且包括第二信号线；平坦化层，所述平坦化层设置在所述第二导电层上；以及第三导电层，所述第三导电层设置在所述平坦化层上，并且包括阳极电极，其中，所述第一半导体图案通过所述阳极电极电连接到所述下部阻光图案，并且其中，所述第二半导体图案的至少一部分在厚度方向上与所述第一信号线和所述第二信号线中的每一条绝缘并重叠。
[0011]在包括存储电容器和至少一个晶体管的显示装置的实施例中，所述至少一个晶体
管包括第一半导体图案，所述显示装置包括：基板；第一导电层，所述第一导电层设置在所述基板上，并且包括所述存储电容器的第一电极和第一信号线；缓冲层，所述缓冲层设置在所述第一导电层上；半导体层，所述半导体层设置在所述缓冲层上，并且包括所述第一半导体图案和与所述第一半导体图案分离的第二半导体图案；绝缘层，所述绝缘层设置在半导体层上；以及第二导电层，所述第二导电层设置在所述绝缘层上，并且包括所述晶体管的栅极电极、所述存储电容器的第二电极以及第二信号线，其中，所述第一信号线和所述第二信号线在厚度方向上至少在一部分区域中彼此重叠，其中，所述第二半导体图案的至少一部分设置在所述第一信号线和所述第二信号线彼此重叠的重叠区域中，并且其中，在所述重叠区域中，所述第一信号线和所述第二信号线之间的在所述厚度方向上的距离大于所述存储电容器的所述第一电极和所述第二电极之间的在所述厚度方向上的距离。
[0012]在用于制造显示装置的方法的实施例中，所述方法包括：在基板上形成包括第一信号线和存储电容器的第一电极的第一导电层；在所述基板上形成缓冲层以覆盖所述第一导电层；在整个所述缓冲层上沉积半导体层材料和绝缘层材料；分别蚀刻所述半导体层材料和所述绝缘层材料以形成绝缘层和半导体层，其中，所述半导体层包括晶体管的第一半导体图案和与所述第一半导体图案分离的第二半导体图案；以及在所述绝缘层上形成包括所述晶体管的栅极电极、所述存储电容器的第二电极和第二信号线的第二导电层，其中，所述第一信号线和所述第二信号线在厚度方向上至少在一部分区域中彼此重叠，其中，所述第二半导体图案的至少一部分设置在所述第一信号线和所述第二信号线在所述厚度方向上彼此重叠的重叠区域中，并且其中，在所述重叠区域中，所述第一信号线和所述第二信号线之间的在所述厚度方向上的距离大于所述存储电容器的所述第一电极和所述第二电极之间的在所述厚度方向上的距离。
[0013]根据按照示例性实施例的显示装置和制造显示装置的方法，可以抑制或防止寄生电容器的形成，并可以提高产品的可靠性。
[0014]本公开的效果不限于前述效果，并且各种其他效果被包括在本说明书中。
附图说明
[0015]通过参照附图详细地描述本公开的示例性实施例，本公开的以上和其他方面及特征将变得更明显，在附图中：
[0016]图1是根据示例性实施例的显示装置的平面图；
[0017]图2是示意性地示出根据示例性实施例的显示装置的框图；
[0018]图3是根据示例性实施例的显示装置的一个像素的等效电路图；
[0019]图4是根据示例性实施例的显示装置的一个像素的布局图；
[0020]图5是图4的第一半导体虚设图案的外围区域的放大图；
[0021]图6是沿着图4的线A
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A'和线B
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B'截取的截面图；
[0022]图7是根据示例性实施例的制造显示装置的方法的流程图；
[0023]图8至图19是示出制造图6中所示的显示装置的一个像素的方法的步骤的截面图；
[0024]图20是根据另一实施例的第一半导体虚设图案的外围区域的放大图；
[0025]图21是沿着图20的线XXI
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XXI'截取的截面图；
[0026]图22是根据又一实施例的第一半导体虚设图案的外围区域的放大图；以及
[0027]图23是沿着图22的线XXIII
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XXIII'截取的截面图。
具体实施方式
[0028]现在，将在下文中参照附图更全面地描述本专利技术，在附图中示出了本专利技术的优选实施例。然而，本专利技术可以以不同的形式实施，并且不应被解释为限于本文中阐述的实施例。而是，提供这些实施例使得本公开将是充分的和完整的，并且将向本领域技术人员充分地传达本专利技术的范围。
[0029]还将理解的是，当将层称为“在”另一层或基板“上”时，所述层可以直接在所述另一层或基板上，或者也可以存在中间层。在整个说明书中，相同的附图标记表示相同的组件。在附图中，为了清楚起见，夸大了层和区域的厚度。
[0030]尽管术语“第一”、“第二”等在本文中可用于描述各种元件，但是这些元件不应受到这些术语的限制。这些术语可以用于将一个元件与另一元件区分开。因此，在不脱离一个或多个实施例的教导的情况下，下面讨论的第一元件可以被称为第二元件。将元件描述为“第一”元件可能不要求或暗示第二元件或其他元件的存本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示装置，其中，所述显示装置包括：基板；第一导电层，所述第一导电层设置在所述基板上，并且包括下部阻光图案和第一信号线；缓冲层，所述缓冲层设置在所述第一导电层上；半导体层，所述半导体层设置在所述缓冲层上，并且包括第一半导体图案和与所述第一半导体图案分离的第二半导体图案，所述第一半导体图案包括晶体管的沟道区；绝缘层，所述绝缘层设置在所述半导体层上，并且包括绝缘层图案；第二导电层，所述第二导电层设置在所述绝缘层上，并且包括第二信号线；平坦化层，所述平坦化层设置在所述第二导电层上；以及第三导电层，所述第三导电层设置在所述平坦化层上，并且包括阳极电极，其中，所述第一半导体图案通过所述阳极电极电连接到所述下部阻光图案，并且其中，所述第二半导体图案的至少一部分在厚度方向上与所述第一信号线和所述第二信号线中的每一条绝缘并重叠。2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述显示装置还包括：存储电容器，所述存储电容器包括第一电极和第二电极，其中，所述第一导电层包括所述存储电容器的所述第一电极，其中，所述第二导电层包括所述存储电容器的所述第二电极，并且其中，所述第一信号线和所述第二信号线之间的在所述厚度方向上的距离大于在所述存储电容器的所述第一电极和所述第二电极之间的在所述厚度方向上的距离。3.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述阳极电极通过穿过所述平坦化层和所述缓冲层的第一接触孔连接到所述下部阻光图案，并且通过穿过所述平坦化层的第二接触孔连接到所述晶体管的所述第一半导体图案。4.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第三导电层还包括与所述阳极电极分离的子导电图案，并且所述子导电图案将所述第一信号线电连接到所述晶体管的所述第一半导体图案。5.根据权利要求4所述的显示装置，其中，所述子导电图案通过穿过所述平坦化层和所述缓冲层的第三接触孔接触所述第一信号线，并且通过穿过所述平坦化层的第四接触孔接触所述晶体管的所述第一半导体图案。6.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一信号线是第一电源线和数据线中的一条，并且所述第二信号线是扫描线。7.根据权利要求6所述的显示装置，其中，所述第二信号线在第一方向上延伸，所述第一信号线在与所述第一方向相交的第二方向上延伸，并且所述第一信号线和所述第二信号线在重叠区域中彼此相交。8.根据权利要求7所述的显示装置，其中，所述第二半导体图案的在所述第一方向上的长度等于或大于所述第一信号线的在所述第一方向上的宽度，并且其中，所述第二半导体图案的在所述第二方向上的长度等于或大于所述第二信号线的在所述第二方向上的宽度。9.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一信号线和所述第二信号线彼此重叠
的重叠区域在所述厚度方向上与所述第二半导体图案完全重叠。10.根据权利要求9所述的显示装置，其中，所述绝缘层图案的至少一部分设置在所述重叠区域中，并且在所述厚度方向上与所述第二半导体图案重叠。11.一种显示装置，所述显示装置包括存储电容器和包括第一半导体图案的至少一个晶体管，其中，所述显示装置包括：基板；第一导电层，所述第一导电层设置在所述基板上，并且包括所述存储电容器的第一电极和第一信号线；缓冲层，所述缓冲层设置在所述第一导电层上；半导体层，所述半导体层设置在所述缓冲层上，并且包括所述第一半...

【专利技术属性】
技术研发人员：全景辰，具素英，金亿洙，金亨俊，林俊亨，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：