弹性波装置制造方法及图纸

提供一种弹性波装置，能够高精度地调整声速，难以产生声损失。弹性波装置(1)在支承基板(2)上层叠有能量封闭层(3)、压电膜(4)及IDT电极(7)，并且设置有声速调整膜(11、12)，该声速调整膜(11、12)设置在压电膜(4)与支承基板(2)之间的至少一部分，并且由与压电膜(4)不同的材料构成。材料构成。材料构成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置


[0001]本专利技术涉及具有声速调整膜的弹性波装置。

技术介绍

[0002]以往，已知有一种具有用于使弹性波的声速部分不同的声速调整膜的弹性波装置。例如在下述的专利文献1所记载的弹性波装置中，在第一电极指和第二电极指在从弹性波传播方向观察的情况下重叠的交叉区域内的两端附近，设置有第一边缘区域、第二边缘区域。为了降低该第一边缘区域、第二边缘区域的声速，在第一边缘区域、第二边缘区域层叠有用于向第一电极指、第二电极指附加质量的金属膜。另外，在下述的专利文献2中，示出在边缘区域中在第一电极指、第二电极指层叠了电介质膜的构造。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：WO2011/088904A1
[0006]专利文献2：日本特开2015
‑
111923号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的课题
[0008]在专利文献1和专利文献2所记载的弹性波装置中，将由金属、电介质构成的声速调整膜层叠在第一电极指、第二电极指上，因此，难以高精度地形成声速调整膜。因此，难以高精度地对声速进行调整。另外，当在电极指层叠比较厚的声速调整膜时，声损失变大。因此，机电耦合系数、Q特性也可能会发生劣化。
[0009]本专利技术的目的在于，提供一种能够高精度地调整声速、难以产生声损失的弹性波装置。
[0010]用于解决课题的手段
[0011]本专利技术的弹性波装置具备：支承基板；压电膜；IDT电极，其设置在所述压电膜上；能量封闭层，其设置在所述压电膜与所述支承基板之间，用于将能量封闭在所述压电膜；以及声速调整膜，其设置在所述压电膜与所述支承基板之间的至少一部分，并且，由与所述压电膜不同的材料构成。
[0012]专利技术效果
[0013]根据本专利技术，可提供能够高精度地调整声速且难以产生声损失的弹性波装置。
附图说明
[0014]图1的(a)及图1的(b)是用于说明本专利技术的第一实施方式的弹性波装置的主要部分的俯视图及正面剖视图。
[0015]图2是示意性示出本专利技术的第一实施方式的弹性波装置的电极构造的俯视图。
[0016]图3是示出本专利技术的第二实施方式的弹性波装置的主要部分的正面剖视图。
[0017]图4的(a)及图4的(b)是用于说明本专利技术的第三实施方式的弹性波装置的主要部分的俯视图及正面剖视图。
[0018]图5的(a)及图5的(b)是用于说明本专利技术的第四实施方式的弹性波装置的主要部分的俯视图及正面剖视图。
[0019]图6是用于说明本专利技术的第五实施方式的弹性波装置的主要部分的正面剖视图。
[0020]图7是示出本专利技术的第六实施方式的弹性波装置的主要部分的正面剖视图。
具体实施方式
[0021]以下，通过参照附图对本专利技术的具体实施方式进行说明，使本专利技术变得清楚。
[0022]需要说明的是，本说明书所记载的各实施方式是例示性的内容，预先指出在不同的实施方式之间能够进行结构的部分置换或组合。
[0023]图1的(a)及图1的(b)是示出本专利技术的第一实施方式的弹性波装置的主要部分的俯视图及正面剖视图，图2是示意性示出本实施方式的弹性波装置的电极构造的俯视图。
[0024]如图1的(a)及图1的(b)所示，弹性波装置1具有支承基板2。在支承基板2上层叠有能量封闭层3。在能量封闭层3上层叠有压电膜4。压电膜4具有相对置的第一主面4a和第二主面4b。压电膜4层叠于能量封闭层3，使得第二主面4b与能量封闭层3相接。在压电膜4的第一主面4a上设置有IDT电极7。
[0025]在图1的(a)及图1的(b)中，示出了设置有IDT电极7的部分，但实际上如图2所示，在IDT电极7的弹性波传播方向两侧设置有反射器8、9。由此，构成弹性波谐振器。
[0026]另外，在弹性波装置1中设置有声速调整膜11、12。声速调整膜11、12是为了调整所传播的弹性波的声速而设置的。在本实施方式的弹性波装置1中，通过设置声速调整膜11、12，能够使声速部分地不同。而且，如后所述，难以产生声损失，因此，难以产生机电耦合系数、Q特性的劣化。以下，详细说明弹性波装置1。
[0027]支承基板2包括绝缘体、半导体等。这样的材料没有特别限定，例如能够举出Si、Al2O3等。能量封闭层3具有声阻抗相对低的低声阻抗层3a、3c、3e、以及声阻抗相对高的高声阻抗层3b、3d。低声阻抗层3a、3c、3e和高声阻抗层3b、3d交替地层叠。
[0028]构成低声阻抗层3a、3c、3e的材料及构成高声阻抗层3b、3d的材料只要满足上述声阻抗关系就没有特别限定。作为低声阻抗层3a、3c、3e的材料，例如能够举出氧化硅、氮氧化硅等。作为高声阻抗层3b、3d的材料，能够举出金属、Al2O3等电介质。
[0029]在能量封闭层3的上表面层叠有压电膜4。压电膜4能够由LiNbO3、LiTaO3等压电单晶或者压电陶瓷构成。在本实施方式中，使用LiNbO3。
[0030]IDT电极7具有第一梳型电极5、第二梳型电极6。第一梳型电极5具有多根第一电极指5a和第一汇流条5b。第二梳型电极6具有多根第二电极指6a和第二汇流条6b。多根第一电极指5a和多根第二电极指6a相互交替插入。
[0031]IDT电极7能够由Al、Cu、W、Mo等金属或者以这些金属为主体的合金构成。另外，也可以使用将多个金属膜层叠而成的层叠金属膜。不过，IDT电极7的材料没有特别限定。
[0032]将由IDT电极7中的电极指间距决定的波长设为λ。压电膜4的厚度优选为1.5λ以下。在这样的较薄的压电膜4的情况下，能够使用能量封闭层3，将所产生的弹性波有效地封闭在压电膜4内。在能量封闭层3中，低声阻抗层3a、3c、3e中的至少一层位于比高声阻抗层
3b、3d中的至少一层靠压电膜4侧的位置即可。由此，能够反射弹性波，将弹性波的能量有效地封闭在压电膜4内。
[0033]需要说明的是，能量封闭层3中的低声阻抗层及高声阻抗层的层叠数没有特别限定。
[0034]声速调整膜11、12被配置为用于在IDT电极7中在交叉宽度方向上设置声速不同的区域。在IDT电极7中，在沿弹性波传播方向观察时，第一电极指5a与第二电极指6a重叠的区域为交叉区域。在该交叉区域中，弹性波被激励。
[0035]在交叉区域中，与位于第一电极指5a、第二电极指6a延伸的方向中央的中央区域相比，位于中央区域的两侧的第一边缘区域A、第二边缘区域B的声速被声速调整膜11、12降低。即，设置有声速调整膜11、12的区域是第一边缘区域A、第二边缘区域B，如图1的(a)所示，第一边缘区域A、第二边缘区域B成为具有沿着弹性波传播方向延伸的长方形形状的区域。在该区域设置有声速调整膜11、12。
[0036]声速调整膜11、12位于能量封闭层3的上表面。声速调整膜11、12能够通过能量封闭层3上的图案形成来设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，具备：支承基板；压电膜；IDT电极，其设置在所述压电膜上；能量封闭层，其设置在所述压电膜与所述支承基板之间，用于将能量封闭在所述压电膜；以及声速调整膜，其设置在所述压电膜与所述支承基板之间的至少一部分，并且，由与所述压电膜不同的材料构成。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述声速调整膜设置为与所述压电膜相接。3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，所述IDT电极具有相互交替插入的第一电极指及第二电极指，在将沿弹性波传播方向观察时所述第一电极指与所述第二电极指重叠的区域设为交叉区域的情况下，该交叉区域具有在所述第一电极指、第二电极指的延伸方向上位于中央的中央区域和配置在所述中央区域的两侧的边缘区域，所述声速调整膜设置为在所述边缘区域的下方沿所述弹性波传播方向延伸。4.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性波装置，其中，所述IDT电极是标准型的IDT电极。5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥永洋梦，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：