表面弹性波滤波器、双工器及模块制造技术

本发明专利技术的表面弹性波滤波器，包含谐振子，所述谐振子包括衬底基板、形成在所述衬底基板上并由压电材料制成的压电层，及形成于所述压电层上的IDT电极，所述衬底基板由高阻抗半导体或绝缘体构成，所述弹性波的波长λ根据所述IDT电极的电极周期而定，并可划分成多个具有不同厚度的区域，所述IDT电极分别位于多个所述区域上构成所述谐振子，由形成于所述多个区域的所述谐振子相互连接而构成谐振器。所述表面弹性波滤波器、包含所述表面弹性波滤波器的双工器及模块可抑制高频杂讯，同时保持较高的Q值。Q值。Q值。

【技术实现步骤摘要】
表面弹性波滤波器、双工器及模块


[0001]本专利技术涉及表面弹性波滤波器，双工器和包括该表面弹性波滤波器的模块。

技术介绍

[0002]在诸如移动电话终端和便携式信息终端之类的通信装置终端中，天线滤波器或双工器中使用的弹性波器件需要更高的Q值。在弹性波器件中，包括块体弹性波滤波器和表面弹性波滤波器。在前述弹性波器件中，尽管使用表面弹性波滤波器为主流，但表面弹性波滤波器与块体弹性波滤波器相比，具有Q值较低的问题。
[0003]为了提高Q值，如专利文献1(日本专利申请公开号2002
‑
534886)所记载，通过采用在由硅或蓝宝石等构成的基板上贴合由钽酸锂或铌酸锂等构成的尽可能薄的压电层的多层膜构造，使弹性波向弹性波基板的深度方向的泄漏大幅减少，因此能大幅地提升Q值。
[0004]但是，诸如上述传统的弹性波器件一样，其中弹性波被压电层良好的限制，除了应传播的表面弹性波外还激发了如纵波的其他传播模式。结果在高于通带的频带中产生大的寄生谐振(spurious)。这种高频杂讯会不利地影响器件的阻尼特性。结果对在移动通信设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种表面弹性波滤波器，其特征在于：所述表面弹性波滤波器包含谐振子，所述谐振子包括衬底基板、形成在所述衬底基板上并由压电材料制成的压电层，及形成于所述压电层上的IDT电极，所述衬底基板由高阻抗半导体或绝缘体构成，弹性波的波长λ根据所述IDT电极的电极周期而定，并可划分成多个具有不同厚度的区域，所述IDT电极分别位于多个区域上构成所述谐振子，由形成于多个区域的所述谐振子相互连接而构成谐振器。2.根据权利要求1所述的表面弹性波滤波器，其特征在于：所述压电层的多个区域的厚度阶段性地减少，所述表面弹性波滤波器包括互相串联或并联的分别形成在多个区域上的IDT电极。3.根据权利要求2所述的表面弹性波滤波器，其特征在于：多个区域的厚度每次减少的幅度大于或等于10％。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村浩，渡边纪之，垣尾省司，
申请(专利权)人：国立大学法人山梨大学，
类型：发明
国别省市：