一种湿法用液体导流板制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体湿法工艺领域，公开了一种湿法用液体导流板，其技术方案要点是包括由横板和导流板组成，横板上设置有固定部，固定部用以将横板固定连接在外槽体其中一侧面的顶端，导流板与横板一端固定连接，且导流板倾斜设置，导流板底面与横板底面形成的夹角包括第一夹角和第二夹角，第一夹角位于第二夹角的下方，且第一夹角为钝角，通过设置的横板能够接住从机械手臂上溢流出来的液体，通过设置的固定部能够将横板固定在外槽体上，通过设置的导流板能够将溢流的液体导向收集槽中，通过设置的第一夹角为钝角能够保证液体顺利的流向收集槽中。流向收集槽中。流向收集槽中。

【技术实现步骤摘要】
一种湿法用液体导流板


[0001]本技术涉及半导体湿法工艺领域，更具体的说是涉及一种湿法用液体导流板。

技术介绍

[0002]在半导体湿法工艺领域，藉由晶园传输机构如机械手系统将单片、批量式晶圆或着装载晶圆的晶圆盒(花篮)在湿法工艺区间进行传递输送，其晶圆完成湿法工艺区间需要进行清洗的动作，而后进行晶圆干燥，在完整的晶圆湿法工艺强调对表面洁净度与降低单位面积下颗粒度的呈现，在晶圆传递的过程，其最后进入晶圆干燥的步骤，一旦环境操作条件无法达到良好的控制，易使前段湿法工艺的清洁度无效而产生交叉污染，与表面洁净度下降以及颗粒数增加的问题产生；
[0003]在湿法工艺设备的清洗工艺区端与晶圆干燥模组区中，晶圆经过清洗过后进入晶圆干燥模组过程中，干燥模组中包括内槽体和外槽体，内槽体设置在外操体内，且内槽体与外槽体之间形成有容纳空间，容纳空间内设置有收集槽，外槽体顶面上开设有安装孔，晶圆干燥完成后可能会因为机械手臂的夹臂所夹带的液体溢流进入内槽体从而造成干燥后的晶圆再次沾到水汽，造成对晶圆的二次污染，溢出的液体不易被导入收集槽内。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种湿法用液体导流板，用于将液体通过液体导流板能够将溢流的液体导向收集槽内。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：
[0006]一种湿法用液体导流板，由横板和导流板组成，所述横板上设置有固定部，所述固定部用以将所述横板固定连接在外槽体其中一侧面的顶端，所述导流板与所述横板一端固定连接，且所述导流板倾斜设置，所述导流板底面与所述横板底面形成的夹角包括第一夹角和第二夹角，所述第一夹角位于所述第二夹角的下方，且所述第一夹角为钝角。
[0007]在本技术中，优选的，所述导流板包括第一引流面和第二引流面，所述第一引流面与所述横板顶面相互连接，所述第二引流面与所述第一引流面相互连接，且所述第二引流面垂直于所述横板顶面。
[0008]在本技术中，优选的，所述第一引流面与所述横板顶面之间一体形成有第一过渡部，所述第一过渡部用以将液体从所述横板导向所述第一引流面，所述第一引流面与所述第二引流面之间一体形成有第二过渡部，所述第二过渡部用以将液体从所述第一引流面导向第二引流面。
[0009]在本技术中，优选的，所述固定部包括定位孔，所述定位孔开设在所述横板顶面，所述定位孔与外槽体上的安装孔一一对应。
[0010]在本技术中，优选的，还包括定位部，所述定位部由第一定位面和第二定位面组成，所述第一定位面垂直于所述第二定位面，所述第一定位面用以与外槽体顶面抵接，所
述第二定位面用以与外槽体内侧壁抵接。
[0011]在本技术中，优选的，所述横板与所述导流板均由聚偏二氟乙烯PVDF 或者聚四氟乙烯PTFE制成。
[0012]在本技术中，优选的，所述横板与所述导流板的表面粗糙度小于3.2Ra。本技术的有益效果：本技术通过设置的横板能够接住从机械手臂上溢流出来的液体，通过设置的固定部能够将横板固定在外槽体上，通过设置的导流板能够将溢流的液体导向收集槽中，通过设置的第一夹角为钝角能够保证液体顺利的流向收集槽中，通过设置的第一引流面和第二引流面液体能够被导向收集槽内，通过设置的第一过渡部能够将液体从横板导向第一引流面，通过设置的第二过渡部能够将液体从第一引流面导向第二引流面，通过设置的定位孔能够通过螺栓将横板固定在外槽体上，通过设置的第一定位面和第二定位面能能够便于横板的安装定位。
附图说明
[0013]图1是本技术的立体结构示意图；
[0014]图2是本技术的主视结构示意图。
[0015]附图标记：1、横板；2、导流板；3、第一夹角；4、第二夹角；5、第一引流面；6、第二引流面；7、第一过渡部；8、第二过渡部；9、定位孔；10、第一定位面；11、第二定位面。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0018]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0019]请同时参见图1至图2，本实施例的一种湿法用液体导流板2，由横板1和导流板2组成，横板1上设置有固定部，固定部用以将横板1固定连接在外槽体其中一侧面的顶端，固定部包括定位孔9，定位孔9开设在横板1顶面，定位孔9与外槽体上的安装孔一一对应，定位孔9的直径与安装孔的直径相同，还包括定位部，定位部由第一定位面10和第二定位面11组成，第一定位面10垂直于第二定位面 11，第一定位面10用以与外槽体顶面抵接，第二定位面11用以与外槽体内侧壁抵接，当操作人员需要将横板1安装在外槽体上时，将横板1上的第一定位面10 与外槽体顶面抵接，将横板1上的第二定位面11与外槽体的内侧壁抵接，此
时操作人员将螺栓穿过定位孔9，并将螺栓固定连接在安装孔上。
[0020]导流板2与横板1一端固定连接，且导流板2倾斜设置，导流板2底面与横板1底面形成的夹角包括第一夹角3和第二夹角4，第一夹角3位于第二夹角 4的下方，且第一夹角3为钝角，导流板2包括第一引流面5和第二引流面6，第一引流面5与横板1顶面相互连接，第二引流面6与第一引流面5相互连接，且第二引流面6垂直于横板1顶面，横板1上的液体依次从第一引流面5、第二引流面6流入收集槽中，第二引流面6垂直于横板1能够使得液体在第二引流面上时能够快速落入收集槽中，第一引流面5与横板1顶面之间一体形成有第一过渡部7，第一过渡部7用以将液体从横板1导向第一引流面5，第一引流面 5与第二引流面6之间一体形成有第二过渡部8，第二过渡部8用以将液体从第一引流面5导向第二引流面6，第一过渡部7上包括有弧面，横板1上的液体通过第一过渡部上的弧面被快速的导向第一引流面5，第二过渡部8上包括有弧面，第一引流面5上的液体通过第二过渡部8上的弧面被快速导向第二引流面6。
[0021]本实施方案中，参照图1所示，横板1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种湿法用液体导流板，其特征在于：由横板(1)和导流板(2)组成，所述横板(1)上设置有固定部，所述固定部用以将所述横板(1)固定连接在外槽体其中一侧面的顶端，所述导流板(2)与所述横板(1)一端固定连接，且所述导流板(2)倾斜设置，所述导流板(2)底面与所述横板(1)底面形成的夹角包括第一夹角(3)和第二夹角(4)，所述第一夹角(3)位于所述第二夹角(4)的下方，且所述第一夹角(3)为钝角。2.根据权利要求1所述的一种湿法用液体导流板，其特征在于：所述导流板(2)包括第一引流面(5)和第二引流面(6)，所述第一引流面(5)与所述横板(1)顶面相互连接，所述第二引流面(6)与所述第一引流面(5)相互连接，且所述第二引流面(6)垂直于所述横板(1)顶面。3.根据权利要求2所述的一种湿法用液体导流板，其特征在于：所述第一引流面(5)与所述横板(1)顶面之间一体形成有第一过渡部(7)，所述第一过渡部(7)用以将液体从所述横板(1)导向所述第一引流面(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐铭，陈佳炜，邓信甫，李志锋，刘大威，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：