双电机同步驱动无油真空泵制造技术

本发明专利技术的实施例提供了一种双电机同步驱动无油真空泵，涉及抽真空技术领域。双电机同步驱动无油真空泵包括壳体、第一转子、第二转子、第一电机、第二电机和驱动器，壳体内部开设有转动空腔，第一转子通过第一轴承转动连接在转动空腔内，第二转子通过第二轴承转动连接在转动空腔内，第一电机与第一转子传动连接，第一电机用于驱动第一转子，第二电机与第二转子传动连接，第二电机用于驱动第二转子，驱动器与第一电机和第二电机电性连接，驱动器用于控制第一电机和第二电机同步驱动第一转子和第二转子。这样，能够使第一转子与第二转子保持同步转动，且第一转子与第二转子之间无需通过齿轮传动、不需要注入润滑油。不需要注入润滑油。不需要注入润滑油。

【技术实现步骤摘要】
双电机同步驱动无油真空泵


[0001]本专利技术涉及抽真空
，具体而言，涉及一种双电机同步驱动无油真空泵。

技术介绍

[0002]随着光伏半导体行业的发展和进步，对于光伏半导体加工设备的控制要求越来越高，工艺也越来越复杂多样，现有的真空泵不能更好地适应这些要求，容易对加工工艺造成一些污染及破坏。
[0003]具体的，现有的真空泵中采用一个电机驱动第一个转子，第一个转子再通过齿轮连接到第二个转子，实现对两个转子的驱动。这样的驱动结构形式至少存在以下缺点：
[0004]1.齿轮上需要注入润滑油，对需要规避油污染的特殊工艺，现有真空泵很难适用；
[0005]2.通过齿轮传动，齿轮发热量大，使用寿命短；
[0006]3.每个转子上安装的轴承的受力较大，磨损较快，使轴承使用寿命短；4.电机一般采用异步电机，成本较高。

技术实现思路

[0007]本专利技术的目的包括提供了一种双电机同步驱动无油真空泵，其能够使第一转子与第二转子保持同步转动，且第一转子与第二转子之间无需通过齿轮传动、不需要注入润滑油。
[0008]本专利技术的实施例可以这样实现：
[0009]第一方面，本专利技术提供一种双电机同步驱动无油真空泵，双电机同步驱动无油真空泵包括：
[0010]壳体，壳体内部开设有转动空腔；
[0011]第一转子，通过第一轴承转动连接在转动空腔内；
[0012]第二转子，通过第二轴承转动连接在转动空腔内；
[0013]第一电机，与第一转子传动连接，第一电机用于驱动第一转子；
[0014]第二电机，与第二转子传动连接，第二电机用于驱动第二转子；
[0015]驱动器，与第一电机和第二电机电性连接，驱动器用于控制第一电机和第二电机同步驱动第一转子和第二转子。
[0016]本实施例提供的双电机同步驱动无油真空泵至少包括以下有益效果：
[0017]1.采用驱动器控制第一电机和第二电机同步驱动第一转子和第二转子，能够使第一转子与第二转子保持同步转动，从而不需要在第一转子与第二转子之间采用齿轮传动，进而就不存在需要给齿轮增加润滑油，这样，本实施例提供的双电机同步驱动无油真空泵就能够适用于需要规避油污染的特殊工艺；
[0018]2.采用第一电机和第二电机分别驱动第一转子和第二转子，使第一转子上的第一轴承和第二转子上的第二轴承受力较小，能够延长第一轴承和第二轴承的使用寿命；
[0019]3.第一电机和第二电机均由驱动器控制，对第一电机和第二电机的工作性能要求
较低，不需要采用高端电机，减少了设备成本。
[0020]在可选的实施方式中，双电机同步驱动无油真空泵还包括：
[0021]第一齿轮，与第一转子传动连接，第一齿轮与第一转子同步转动；
[0022]第二齿轮，与第二转子传动连接，第二齿轮与第二转子同步转动；
[0023]其中，第一齿轮与第二齿轮相配合，在第一转子和第二转子正常转动的情况下，第一齿轮与第二齿轮相互受力为零。
[0024]这里的第一齿轮与第二齿轮在第一转子和第二转子正常转动的情况下相互受力为零，也就是说，在第一转子和第二转子正常转动的情况下，第一齿轮与第二齿轮是相互不接触的，只是在第一转子和第二转子受到不利影响，例如负载影响，导致第一转子和第二转子突然相互不同步转动，这时，第一转子和第二转子也就带动第一齿轮与第二齿轮相互接触啮合，避免第一转子和第二转子相互转动角度过大、导致二者相互干涉、相互碰损。
[0025]在可选的实施方式中，第一齿轮与第二齿轮之间的配合间隙小于或等于预设间隙，在配合间隙保持在小于或等于预设间隙的情况下，第一转子与第二转子相互不会干涉。
[0026]这样，只要第一齿轮与第二齿轮相互之间没有被撞坏，都能保证第一转子和第二转子相互转动的角度较小，不会出现第一转子与第二转子相互干涉的情况。
[0027]在可选的实施方式中，第一齿轮与第二齿轮之间的配合间隙为零的情况下，第一齿轮与第二齿轮相互受力且同步转动，保持第一转子与第二转子同步转动。
[0028]这样，在第一转子和第二转子相互转动至第一齿轮与第二齿轮接触的情况下，第一转子与第二转子也不会相互干涉。
[0029]在可选的实施方式中，驱动器用于控制第一电机和第二电机分别驱动第一转子和第二转子，使第一齿轮与第二齿轮恢复至相互受力为零的状态。
[0030]这样，在第一转子和第二转子受到不利影响、并发生了相互不同步转动的情况下，驱动器可以及时控制第一电机和第二电机分别驱动第一转子和第二转子，使第一齿轮与第二齿轮恢复至相互受力为零、且第一转子与第二转子同步转动的状态。
[0031]在可选的实施方式中，第一齿轮套设在第一转子上，第一齿轮与第一转子的中心线重合。
[0032]这样，第一齿轮与第一转子连接形式简单，且二者相互之间可以承受的力较大。
[0033]在可选的实施方式中，第二齿轮套设在第二转子上，第二齿轮与第二转子的中心线重合。
[0034]这样，第二齿轮与第二转子连接形式简单，且二者相互之间可以承受的力较大。
[0035]在可选的实施方式中，双电机同步驱动无油真空泵还包括：
[0036]第一编码器，安装在第一电机上，第一编码器用于实时检测第一电机的输出轴的转动位置。
[0037]这样，通过第一编码器就可以实时知晓第一转子的转动位置、速度等参数，以便对第一转子的转动位置作出精准地控制。
[0038]在可选的实施方式中，双电机同步驱动无油真空泵还包括：
[0039]第二编码器，安装在第二电机上，第二编码器用于实时检测第二电机的输出轴的转动位置、速度等参数。
[0040]这样，通过第二编码器就可以实时知晓第二转子的转动位置，以便对第二转子的
转动位置作出精准地控制。
[0041]在可选的实施方式中，第一轴承的数量为两个，两个第一轴承分别安装在第一转子的两端，第二轴承的数量为两个，两个第二轴承分别安装在第二转子的两端。
[0042]这样，轴承对转子的支撑力较为均衡，有利于转子平稳转动，也降低单个轴承的受力，提高轴承的使用寿命。
附图说明
[0043]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0044]图1为本专利技术实施例提供的双电机同步驱动无油真空泵的结构示意图；
[0045]图2为驱动器的结构示意图。
[0046]图标：100
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双电机同步驱动无油真空泵；110
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壳体；111
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转动空腔；120
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第一转子；130
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第二转子；140
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双电机同步驱动无油真空泵，其特征在于，所述双电机同步驱动无油真空泵包括：壳体(110)，所述壳体(110)内部开设有转动空腔(111)；第一转子(120)，通过第一轴承(140)转动连接在所述转动空腔(111)内；第二转子(130)，通过第二轴承(150)转动连接在所述转动空腔(111)内；第一电机(180)，与所述第一转子(120)传动连接，所述第一电机(180)用于驱动所述第一转子(120)；第二电机(190)，与所述第二转子(130)传动连接，所述第二电机(190)用于驱动所述第二转子(130)；驱动器(220)，与所述第一电机(180)和所述第二电机(190)电性连接，所述驱动器(220)用于控制所述第一电机(180)和所述第二电机(190)同步驱动所述第一转子(120)和所述第二转子(130)。2.根据权利要求1所述的双电机同步驱动无油真空泵，其特征在于，所述双电机同步驱动无油真空泵还包括：第一齿轮(160)，与所述第一转子(120)传动连接，所述第一齿轮(160)与所述第一转子(120)同步转动；第二齿轮(170)，与所述第二转子(130)传动连接，所述第二齿轮(170)与所述第二转子(130)同步转动；其中，所述第一齿轮(160)与所述第二齿轮(170)相配合，在所述第一转子(120)和所述第二转子(130)正常转动的情况下，所述第一齿轮(160)与所述第二齿轮(170)相互受力为零。3.根据权利要求2所述的双电机同步驱动无油真空泵，其特征在于，所述第一齿轮(160)与所述第二齿轮(170)之间的配合间隙小于或等于预设间隙，在所述配合间隙保持在小于或等于所述预设间隙的情况下，所述第一转子(120)与所述第二转子(130)相互不会干涉。4.根据权利要求3所述的双电机同步驱动无油真空泵，其特征在于，所述第一齿轮(16...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈文武，周忠贤，
申请(专利权)人：四川莱斯特真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：