干式真空泵制造技术

本发明专利技术的实施例提供了一种干式真空泵，涉及光伏半导体加工设备技术领域。干式真空泵包括壳体和两个一体式转子，壳体的内部开设有容置空腔，两个一体式转子转动安装在容置空腔内，两个一体式转子相互啮合，两个一体式转子用于同步反向转动，以排出容置空腔内的气体。干式真空泵的零件数量较少，减少加工难度，降低生产成本和装配难度，提升设备的性能和使用寿命。寿命。寿命。

【技术实现步骤摘要】
干式真空泵


[0001]本专利技术涉及光伏半导体加工设备
，具体而言，涉及一种干式真空泵。

技术介绍

[0002]随着光伏半导体行业的发展和进步，对于光伏半导体加工设备的控制要求越来越高，工艺也越来越复杂多样。现有的干式真空泵中一般采用多级爪式转子，也就是说，转子和轴为分体式结构，转子需要装配到轴上，每根轴上需要装配四个转子，对应的，壳体上为容纳所有转子设计有沿轴方向依次排布的五个空腔。这样，使现有的干式真空泵至少具有以下缺点：
[0003]1.结构复杂，零件的加工精度要求较高，零件的互换性较低，致使产品的性能和经济性难以提高；
[0004]2.零件多，装配的难度较大，导致装配的误差较大，设备的使用效果较差，使用寿命较短。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的包括提供一种干式真空泵，其能够减少零件的数量，减少加工难度，降低生产成本和装配难度，提升设备的性能和使用寿命。
[0006]本专利技术的实施例可以这样实现：
[0007]第一方面，本专利技术提供一种干式真空泵，干式真空泵包括：
[0008]壳体，壳体的内部开设有容置空腔；
[0009]两个一体式转子，转动安装在容置空腔内，两个一体式转子相互啮合，两个一体式转子用于同步反向转动，以排出容置空腔内的气体。
[0010]本实施例提供的干式真空泵的有益效果包括：
[0011]1.转子采用一体式结构形式，相比于现有的分体式转子，减少了零件数量，降低了生产和装配的难度，避免了装配误差较大，提高了设备的使用性能，并保证了使用寿命较长；
[0012]2.整体结构简单，零件的加工精度要求可以降低，降低了生产成本，零件的互换性较好，提高了经济性。
[0013]在可选的实施方式中，一体式转子包括：
[0014]转轴，转动安装在容置空腔内；
[0015]多个排气爪，安装在转轴上、且沿转轴的长度方向间隔排布，多个排气爪与转轴一体成型。
[0016]这样，一体式转子的结构简单，零件的数量少，可以采用模具一次性成型，降低了生产和装配的难度，提高了经济性。而且，设置有多个排气爪，可以实现多级排气，提升抽真空的效率，每个转轴上的多个排气爪之间无需采用销钉定位，转轴和多个排气爪为一体结构，相互之间的位置精度更高。
[0017]在可选的实施方式中，壳体包括两个盖合设置的外壳，外壳内开设有部分空腔，两个外壳的部分空腔拼接形成容置空腔。
[0018]这样，壳体的结构简单，零件的数量少，降低了生产和装配的难度，提高了经济性。具体的，两个外壳装配成壳体之后，就自动形成了可以容纳一体式转子的容纳空腔，相比于现有的真空泵需要将分体的多个腔体依次装配在一起，本实施例中的壳体明显减小了生产和装配难度。
[0019]在可选的实施方式中，两个外壳的形状结构相同。
[0020]这样，两个外壳可以采用同一个模具完成成型生产，降低了生产成本。
[0021]在可选的实施方式中，部分空腔包括两个轴腔和多个爪腔，两个轴腔间隔平行布置，多个爪腔沿轴腔的长度方向间隔布置，每个轴腔容纳一个转轴，每个爪腔容纳一个排气爪。
[0022]在可选的实施方式中，多个排气爪的形状各不相同。
[0023]这样，相对于排气爪相同的转子，本实施例中的一体式转子在转动一周的过程中，可以实现多次排气，提升排气效率，也可以灵活设计一体式转子的抽真空效率以及灵活调整抽速，实现对所需抽速的精准把控，并能实现极高的真空度，适应于不同场景下对抽真空的要求。
[0024]在可选的实施方式中，多个排气爪包括依次布置的第一排气爪、第二排气爪、第三排气爪、第四排气爪和第五排气爪，其中，第一排气爪和第五排气爪为中心对称结构，第二排气爪、第三排气爪和第四排气爪为异形结构。
[0025]这样，一体式转子在转动一周的过程中，每个排气爪排出气体的量可能不同，排气的次数可能也不同，实现对排气效率的精准控制。
[0026]在可选的实施方式中，第一排气爪、第二排气爪、第三排气爪、第四排气爪和第五排气爪的宽度逐渐减小。
[0027]这样，第一排气爪、第二排气爪、第三排气爪、第四排气爪和第五排气爪排气一次的气体量依次减小，整个一体式转子排气的精度较高。
[0028]在可选的实施方式中，第一排气爪为两叶形状，第五排气爪为五叶形状。
[0029]这样，一体式转子在转动一周的过程中，第一排气爪可以实现两次排气，第五排气爪可以实现五次排气，通过控制一体式转子的转动角度，就可以精准控制干式真空泵的排气量，从而起到对真空率的精准控制。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0031]图1为本专利技术实施例提供的干式真空泵的分解结构示意图；
[0032]图2为图1中两个一体式转子的结构示意图；
[0033]图3为图1中外壳的结构示意图。
[0034]图标：100
‑
干式真空泵；110
‑
壳体；111
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外壳；112
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部分空腔；113
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轴腔；114
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爪腔；
120
‑
一体式转子；121
‑
转轴；122
‑
第一排气爪；123
‑
第二排气爪；124
‑
第三排气爪；125
‑
第四排气爪；126
‑
第五排气爪。
具体实施方式
[0035]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0036]因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0037]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0038]在本专利技术的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干式真空泵，其特征在于，所述干式真空泵包括：壳体(110)，所述壳体(110)的内部开设有容置空腔；两个一体式转子(120)，转动安装在所述容置空腔内，两个所述一体式转子(120)相互啮合，两个所述一体式转子(120)用于同步反向转动，以排出所述容置空腔内的气体。2.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于，所述一体式转子(120)包括：转轴(121)，转动安装在所述容置空腔内；多个排气爪，安装在所述转轴(121)上、且沿所述转轴(121)的长度方向间隔排布，多个所述排气爪与所述转轴(121)一体成型。3.根据权利要求2所述的干式真空泵，其特征在于，所述壳体(110)包括两个盖合设置的外壳(111)，所述外壳(111)内开设有部分空腔(112)，两个所述外壳(111)的所述部分空腔(112)拼接形成所述容置空腔。4.根据权利要求3所述的干式真空泵，其特征在于，两个所述外壳(111)的形状结构相同。5.根据权利要求3所述的干式真空泵，其特征在于，所述部分空腔(112)包括两个轴腔(113)和多个爪腔(114)，两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈文武，周忠贤，
申请(专利权)人：四川莱斯特真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：