一种玻璃晶圆清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种玻璃晶圆清洗装置，包括清洗箱和干燥箱，所述清洗箱右侧固定设有干燥箱，所述清洗箱内侧底部固定设有电动推杆，所述电动推杆上端固定有清洗筒，所述干燥箱右侧固定设有散热箱，所述干燥箱上端通过铰接有箱盖，所述箱盖上端右侧固定设有控制面板，所述干燥箱内部两侧固定设有加热器，所述箱盖内侧左端固定设有湿度传感器，所述控制面板分别与湿度传感器、加热器电性连接。本实用新型专利技术通过设置有湿度传感器，能够时刻感应到干燥箱内部的湿度变化，通过设置加热板能够对干燥箱内部的玻璃晶圆进行干燥，增加了玻璃晶圆的使用寿命。的使用寿命。的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃晶圆清洗装置


[0001]本技术涉及玻璃晶圆
，具体为一种玻璃晶圆清洗装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，光学玻璃晶圆主要应用在精密的电子、数码产品、仪器仪表及光学元件等领域,对晶圆的表面要求有极高的平面度、平行度、粗糙度以及打孔的精准度。
[0003]当前玻璃晶圆清洗完成后，玻璃晶圆上会遗留大量的水渍，水渍会对玻璃晶圆产生损坏，减少玻璃晶圆的使用寿命，其次玻璃晶圆在清洗完成后存在着拿取不便，致使玻璃晶圆清整个清洗过程工作效率低等诸多问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种玻璃晶圆清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种玻璃晶圆清洗装置，包括清洗箱和干燥箱，所述清洗箱右侧固定设有干燥箱，所述清洗箱内侧底部固定设有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种玻璃晶圆清洗装置，包括清洗箱(1)和干燥箱(2)，其特征在于：所述清洗箱(1)右侧固定设有干燥箱(2)，所述清洗箱(1)内侧底部固定设有电动推杆，所述电动推杆上端固定有清洗筒(3)，所述干燥箱(2)右侧固定设有散热箱(4)，所述干燥箱(2)上端通过铰接有箱盖(5)，所述箱盖(5)上端右侧固定设有控制面板(6)，所述干燥箱(2)内部两侧固定设有加热器(7)，所述箱盖(5)内侧左端固定设有湿度传感器(8)，所述控制面板(6)分别与湿度传感器(8)、加热器(7)电性连接。2.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆清洗装置，其特征在于：所述清洗筒(3)为圆柱状，所述清洗筒(3)外侧布满圆形孔洞，所述清洗筒(3)上端设置有筒门(9)，所述清洗筒(3)通过铰链与筒门...

【专利技术属性】
技术研发人员：万峰，
申请(专利权)人：江苏美伦光电有限公司，
类型：新型
国别省市：