一种具有高精度控温功能的电化学沉积槽制造技术

本实用新型专利技术涉及一种具有高精度控温功能的电化学沉积槽，它包括：槽体；喷盘，所述喷盘用于喷射药液以促进药液流动，所述喷盘设置在所述槽体内，所述喷盘将所述槽体内间隔成至少两个分区，每个所述分区中设置有两个温度传感器；循环管，所述循环管中设置有循环泵，所述循环管连接在所述槽体周壁与所述喷盘之间，所述循环组件用于将所述槽体内药液引导至所述喷盘。由于在每个分区设置两个温度传感器，从而在其中一个温度传感器损坏时仍保证正常运行；由于循环管和喷盘的作用，促进药液流动，促进药液温度匀匀性。最终使药液温度控制更精确。最终使药液温度控制更精确。最终使药液温度控制更精确。

【技术实现步骤摘要】
一种具有高精度控温功能的电化学沉积槽


[0001]本技术属于平板玻璃行业，涉及具有高精度控温功能的电化学沉积槽，用于平板玻璃行业槽式电化学沉积。

技术介绍

[0002]目前，公知的液晶显示行业，电化学沉积温控方式为加热，单管循环，冷却，通过单温控探头检测。此种方式，温度分布均匀性差，搅拌效率缓慢，且存在单个温控损坏，导致整槽药液检测失常。致使工艺温度偏差，影响沉积效果。

技术实现思路

[0003]本技术目的是要提供一种具有高精度控温功能的电化学沉积槽，解决了如何更精确控制药液温度的问题。
[0004]为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：
[0005]本技术提供了一种具有高精度控温功能的电化学沉积槽，它包括：
[0006]槽体；
[0007]喷盘，所述喷盘用于喷射药液以促进药液流动，所述喷盘设置在所述槽体内，所述喷盘将所述槽体内间隔成至少两个分区，每个所述分区中设置有两个温度传感器；
[0008]循环管，所述循环管中设置有循环泵，所述循环管连接在所述槽体周壁与所述喷盘之间，所述循环组件用于将所述槽体内药液引导至所述喷盘。
[0009]优选地，所述喷盘设置有两个，所述喷盘将所述槽体间隔成三个分区，两个所述喷盘设置在基板待料位两侧。
[0010]进一步地，三个所述分区中两远离的两个所述分区之间设置有连通管。
[0011]进一步地，所述循环管连接在一侧的所述周壁和对侧的所述喷盘之间。
[0012]优选地，所述循环管中设置的换热器。
>[0013]进一步地，所述循环管中还设置有过滤器。
[0014]优选地，所述周壁内侧对应于所述循环管的开口位置设置有过滤网。
[0015]优选地，所述循环管在所述周壁上有至少两个开口。
[0016]优选地，所述槽体的相对侧周壁均设置有所述循环管。
[0017]由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：
[0018]本技术具有高精度控温功能的电化学沉积槽，由于在每个分区设置两个温度传感器，从而在其中一个温度传感器损坏时仍保证正常运行；由于循环管和喷盘的作用，促进药液流动，促进药液温度匀匀性。最终使药液温度控制更精确。
附图说明
[0019]后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本技术的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，
这些附图未必是按比例绘制的。附图中：
[0020]图1是本技术具有高精度控温功能的电化学沉积槽优选实施例的结构示意图；
[0021]其中，附图标记说明如下：
[0022]1、槽体；
[0023]2、循环管；
[0024]3、循环泵；
[0025]4、换热器；
[0026]5、过滤器；
[0027]6、喷盘；
[0028]7、过滤网；
[0029]8、电极；
[0030]9、连通管；
[0031]10、手动阀；
[0032]11、温度传感器。
具体实施方式
[0033]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0034]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0035]此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0036]如图1所示具有高精度控温功能的电化学沉积槽，包括槽体1、循环管2和喷盘6。槽体1用于电化学沉积，槽体1内设置有两个电极8，电极8连接电源正极。两个电极8之间是基板待料位，平板玻璃放置在基板待料位，并给平板玻璃接电源的负极。槽体1中注入电化学沉积用的药液。电极8的相对内侧设置有喷盘6。喷盘6上设置开孔供电化学沉积离子流动。喷盘6通过循环管2接收槽体1内的药液，并将药液喷至平板玻璃表面，喷盘6促进了药液流动。喷盘6将槽体1内间隔成三个分区，三个分区中分别设置有两个温度传感器11，两个温度传感器11同时监测所在分区的温度，测得的两个温度值可以比较，且当其中一个温度传感器11损坏时，仍可继续工作。三个分区中，相远离的两侧分区之间设置有连通管9，连通管9中设置有手动阀10，开启手动阀10能够使两侧分区之间进行药液交换，促进药液流动从而提高温度均匀性。
[0037]循环管2连接在槽体1周壁和喷盘6之间，循环管2中设置有循环泵3。循环管2在周
壁上的开口至少有两个，本例为多个开口，从而使循环管2从槽体1内多点吸取药液。周壁内侧于循环管2开口对应位置设置有过滤网7，防止碎渣进入循环管2。循环管2连接在一侧的周壁和对侧的喷盘6之间，从而使槽体1内药液充分混匀。本例中，槽体1的相对侧周壁均设置有循环管2。且周壁上下侧也均分别设置有循环管2，且上侧循环管2连通到对侧喷盘6下端，下侧循环管2连通到对侧喷盘6上端。从而进一步混匀药液，使槽体1中药液温度趋于一致。
[0038]循环管2内还设置有换热器4和过滤器5，通过换热器4进行热量交换，且每个循环管2可以单独进行热量交换，从而调节药液温度；通过过滤器5进行过滤。
[0039]本例中，通过在每个分区中设置两个温度传感器11，测得的温度可以比较，且在其中一个温度传感器11损坏时仍能保证装置正常运行；通过循环管2混匀槽体1内药液，使药液成分均匀，也提高了温度均匀性，从而提高电化学沉积工艺质量。
[0040]上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此限制本技术的保护范围，凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有高精度控温功能的电化学沉积槽，其特征在于，它包括：槽体（1）；喷盘（6），所述喷盘（6）用于喷射药液以促进药液流动，所述喷盘（6）设置在所述槽体（1）内，所述喷盘（6）将所述槽体（1）内间隔成至少两个分区，每个所述分区中设置有两个温度传感器（11）；循环管（2），所述循环管（2）中设置有循环泵（3），所述循环管（2）连接在所述槽体（1）周壁与所述喷盘（6）之间，所述循环管（2）用于将所述槽体（1）内药液引导至所述喷盘（6）。2.根据权利要求1所述具有高精度控温功能的电化学沉积槽，其特征在于：所述喷盘（6）设置有两个，所述喷盘（6）将所述槽体（1）间隔成三个分区，两个所述喷盘（6）设置在基板待料位两侧。3.根据权利要求2所述具有高精度控温功能的电化学沉积槽，其特征在于：三个所述分区中两远离的两个所述分区之间设置有连...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋新，张军，施利君，陈书良，
申请(专利权)人：苏州晶洲装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：