半导体装置具备：半导体元件(40)，具有一面侧的第1主电极(41C)和背面侧的第2主电极(41E)；基板(50)，包括与上述第1、第2主电极分别连接的第1、第2基板(50C、50E)；主端子(71)，包括经由上述第1、第2基板而与上述第1、第2主电极分别连接的第1、第2主端子(71C、71E)；以及接合部件(80)。上述接合部件分别存在于上述第1、第2主电极与上述第1、第2基板之间。上述第1、第2主端子的至少一方具有多个。上述第1、第2主端子在与上述半导体元件的厚度方向正交的一个方向上交替地配置。上述第1、第2主端子相对于上述第1、第2基板，不经由上述接合部件而分别直接接合。别直接接合。别直接接合。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】半导体装置
[0001]关联申请的相互参照
[0002]本申请基于2019年3月11日提出的日本专利申请第2019－43888号，这里引用其记载内容。
[0003]本专利技术涉及半导体装置。
技术介绍
[0004]在专利文献1中公开了一种半导体装置。半导体装置具备具有第1主电极及第2主电极的半导体元件、夹着半导体元件而配置的散热器、以及主端子。
[0005]散热器包括与第1主电极电连接的第1散热器以及与第2主电极电连接的第2散热器。主端子包括与第1散热器电连接的第1主端子以及与第2散热器电连接的第2主端子。
[0006]专利文献1记载的半导体装置中，作为主端子，具有各1个第1主端子及第2主端子。要求进一步减小电感。
[0007]主端子例如经由接合部件而与散热器连接。还要求提高主端子的连接可靠性。
[0008]现有技术文献
[0009]专利文献
[0010]专利文献1：日本特开2015－82614号公报
技术实现思路
[0011]本专利技术的目的在于，提供能够减小电感并且提高主端子的连接可靠性的半导体装置。
[0012]根据本专利技术的一个技术方案，半导体装置具备：至少一个半导体元件，具有形成在一面侧的第1主电极以及形成在背面侧的第2主电极，上述背面在厚度方向上与上述一面相对；基板，包括配置在上述一面侧并与上述第1主电极电连接的第1基板以及配置在上述背面侧并与上述第2主电极电连接的第2基板，将上述半导体元件夹着而配置；主端子，包括经由上述第1基板而与上述第1主电极电连接的第1主端子以及经由上述第2基板而与上述第2主电极电连接的第2主端子；以及接合部件。上述接合部件分别存在于上述第1主电极与上述第1基板之间以及上述第2主电极与上述第2基板之间。上述主端子中，上述第1主端子及上述第2主端子的至少一方具有多个。上述第1主端子及上述第2主端子在与上述半导体元件的厚度方向正交的一个方向上以侧面相互对置的方式交替地配置。上述第1主端子不经由上述接合部件而相对于上述第1基板直接接合。上述第2主端子不经由上述接合部件而相对于上述第2基板直接接合。
[0013]根据公开的半导体装置，以侧面相互对置的方式交替地配置有第1主端子和第2主端子。半导体装置具有多组第1主端子与第2主端子对置的侧面的组。由此，能够降低电感。
[0014]例如如果使端子的配置区域一定，则越是为了降低电感而增加主端子的条数，端
子间的间隙所占的比例越大。由此，主端子的通电区域变小，主端子的发热成为问题。根据公开的半导体装置，主端子与对应的基板直接接合。由于不使用接合部件，所以能够降低电感并且提高主端子的连接可靠性。
附图说明
[0015]本专利技术的上述目的及其他目的、特征及优点通过参照附图并根据下述详细记载会更加明确。
[0016]图1是表示应用第1实施方式的半导体装置的电力转换装置的概略结构的图。
[0017]图2是表示半导体装置的立体图。
[0018]图3是将图2从A方向观察的平面图。
[0019]图4是将图2从B方向观察的平面图。
[0020]图5是沿着图4的V－V线的剖视图。
[0021]图6是沿着图4的VI－VI线的剖视图。
[0022]图7是表示制造方法的剖视图。
[0023]图8是表示制造方法的剖视图。
[0024]图9是表示主端子的个数与电感、端子温度之间的关系的图。
具体实施方式
[0025]参照附图说明多个实施方式。在多个实施方式中，对于在功能上及/或构造上对应的部分赋予相同的标记。以下，将半导体元件的厚度方向表示为Z方向，将与Z方向正交的一个方向表示为X方向。此外，将与Z方向及X方向这两个方向正交的方向表示为Y方向。在没有特别声明的情况下，将沿着由上述的X方向及Y方向规定的XY面的形状设为平面形状。
[0026](第1实施方式)
[0027]首先，基于图1声明应用半导体装置的电力转换装置。
[0028]<电力转换装置的概略结构>
[0029]图1所示的电力转换装置1例如搭载在电动汽车或混合动力汽车中。电力转换装置1在直流电源2与电动发电机3之间进行电力转换。
[0030]直流电源2是锂离子电池或镍氢电池等可充放电的二次电池。电动发电机3是三相交流式的旋转电机。电动发电机3作为车辆的行驶驱动源即电动机发挥功能。电动发电机3在再生时作为发电机发挥功能。
[0031]电力转换装置1具有平滑电容器4和作为电力转换器的逆变器5。平滑电容器4的正极侧端子与直流电源2的作为高电位侧电极的正极连接，负极侧端子与直流电源2的作为低电位侧电极的负极连接。逆变器5将输入的直流电转换为规定频率的三相交流，向电动发电机3输出。逆变器5将由电动发电机3发出的交流电转换为直流电。逆变器5是DC－AC转换部。
[0032]逆变器5具备三相的上下臂电路6。各相的上下臂电路6在正极侧的电源线即高电位电源线7与负极侧的电源线即低电位电源线8之间串联地连接2个臂而成。在各相的上下臂电路6中，上臂与下臂的连接点连接到对于电动发电机3的输出线9。
[0033]在本实施方式中，作为构成各臂的开关元件，采用n沟道型的绝缘栅双极型晶体管6i(以下表示为IGBT6i)。对于各个IGBT6i，反并联地连接着作为续流二极管的FWD6d。一相
的上下臂电路6具有2个IGBT6i。在上臂中，IGBT6i的集电极电极与高电位电源线7连接。在下臂中，IGBT6i的发射极电极与低电位电源线8连接。并且，上臂中的IGBT6i的发射极电极与下臂中的IGBT6i的集电极电极相互连接。
[0034]电力转换装置1除了上述的平滑电容器4及逆变器5以外，可以还具备作为与逆变器5不同的电力转换器的转换器、构成逆变器5或转换器的开关元件的驱动电路等。转换器是将直流电压转换为不同的值的直流电压的DC－DC转换部。
[0035]<半导体装置>
[0036]如图2～图6所示，半导体装置20具备封固树脂体30、半导体元件40、基板50、接线端(terminal)60、包括主端子71及信号端子73的引线框70、以及接合部件80。图3是将图2从A方向观察的平面图。图4是将图2从B方向观察的平面图，为了方便，将封固树脂体30用单点划线表示。
[0037]封固树脂体30将构成半导体装置20的其他要素的一部分封固。其他要素的剩余部分在封固树脂体30之外露出。封固树脂体30例如将半导体元件40封固。封固树脂体30将在构成半导体装置20的其他要素间形成的连接部分封固。例如，封固树脂体30将半导体元件40与基板50的连接部分封固。封固树脂体30将半导体元件40与接线端60的连接部分封固。封固树脂体30将接线端60与基板50的连接部分封固。封固树脂体30将基板50与主端子71的连接部分封固。封固树脂体30有时称作模塑树脂。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种半导体装置，其特征在于，具备：至少一个半导体元件(40)，具有形成在一面侧的第1主电极(41C)以及形成在背面侧的第2主电极(41E)，上述背面在厚度方向上与上述一面相对；基板(50)，包括配置在上述一面侧并与上述第1主电极电连接的第1基板(50C)以及配置在上述背面侧并与上述第2主电极电连接的第2基板(50E)，将上述半导体元件夹着而配置；主端子(71)，包括经由上述第1基板而与上述第1主电极电连接的至少一个第1主端子(71C)以及经由上述第2基板而与上述第2主电极电连接的至少一个第2主端子(71E)；以及接合部件(80)；上述接合部件分别存在于上述第1主电极与上述第1基板之间以及上述第2主电极与上述第2基板之间；上述主端子中，上述第1主端子及上述第2主端子的至少一方具有多个；上述第1主端子及上述第2主端子在与上述半导体元件的厚度方向正交的一个方向上以侧面相互对置的方式交替地配置；上述第1主端子不经由上述接合部件而相对于上述第1基板直接接合；上述第2主端子不经由上述接合部件而相对于上述第2基板直接接合。2.如权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，上述基板在上述厚度方向上具...
【专利技术属性】
技术研发人员：山田晋，大前翔一朗，长濑拓生，
申请(专利权)人：株式会社电装，
类型：发明
国别省市：
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