一种大容积人造石英晶体高压釜制造技术

本发明专利技术公开了一种大容积人造石英晶体高压釜，釜体内开设有反应腔，且釜体的顶端和底端均为接通反应腔的开口端，同时反应腔的内径为600至800mm、长度为12至18m、长径比为18至23；釜盖覆盖釜体顶端的开口，并通过环形密封件密封连接在釜体的顶端；环形卡箍的位置对应釜体顶端与釜盖的连接处，且环形卡箍分别卡接釜体与釜盖的外壁；布里奇曼自紧式密封结构靠近釜体底端的开口密封连接在反应腔内。本发明专利技术公开了一种大容积人造石英晶体高压釜，具有较大的容积，从而不仅可以培育更大尺寸的石英晶体，而且提高石英晶体制备质量和产能，同时可以降低单位成本。以降低单位成本。以降低单位成本。

【技术实现步骤摘要】
一种大容积人造石英晶体高压釜


[0001]本专利技术涉及人造石英晶体高压釜
，更具体的说是涉及一种大容积人造石英晶体高压釜。

技术介绍

[0002]人造石英晶体是我国战略性材料，广泛应用于5G通讯、人工智能、北斗导航、光学仪器和半导体微电子等领域，是人工晶体的常青树。晶振是用人造石英晶体制造的主要产品之一，被称之为“信息产业之盐”，随着晶振小型化、高精度、高稳定、高频化和低功耗的发展要求，QMEMS工艺将逐渐成为主流制造工艺，这要求石英晶体在质量、尺寸和产能上有较大的提升。
[0003]高压釜的容积、长径比、测温点、材质、密封和安装方式等参数影响石英晶体的质量、单位成本、可靠性和一致性，同时高压釜的材质、密封和安装方式等参数也会影响石英晶体生长工艺的安全性、便捷性。
[0004]目前国内小口径(容积)的高压釜难以满足低成本、大尺寸、高品质、高一致性的石英晶体量产工艺，导致下游企业更热衷于从国外进口价廉质优的产品用于生产线，国内石英晶体材料存在的各种问题不能得到充分暴露和及时反馈，供应链保障存在风险，不能实现石英晶体可持续改本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大容积人造石英晶体高压釜，其特征在于，包括：釜体(1)，所述釜体(1)内开设有反应腔(10)，且所述釜体(1)的顶端和底端均为接通所述反应腔(10)的开口端，同时所述反应腔(10)的内径为600至800mm、长度为12至18m、长径比为18至23；釜盖(2)，所述釜盖(2)覆盖所述釜体(1)顶端的开口，并通过环形密封件(3)密封连接在所述釜体(1)的顶端；环形卡箍(4)，所述环形卡箍(4)的位置对应所述釜体(1)顶端与所述釜盖(2)的连接处，且所述环形卡箍(4)分别卡接所述釜体(1)与所述釜盖(2)的外壁；布里奇曼自紧式密封结构(5)，所述布里奇曼自紧式密封结构(5)靠近所述釜体(1)底端的开口密封连接在所述反应腔(10)内。2.根据权利要求1所述的一种大容积人造石英晶体高压釜，其特征在于，所述反应腔(10)内设计压力为100
‑
180MPa，设计温度为380
‑
420℃。3.根据权利要求1所述的一种大容积人造石英晶体高压釜，其特征在于，所述釜盖(2)的外壁靠近所述釜体(1)的位置固定有第一凸出圈(21)，所述釜体(1)的外壁靠近所述釜盖(2)的位置固定有第二凸出圈(11)，同时所述环形卡箍(4)上开设有第一环形卡槽(41)，所述第一凸出圈(21)和所述第二凸出圈(11)对接，并均卡接在所述第一环形卡槽(41)内；所述釜盖(2)的外壁固定有第三凸出圈(22)，且所述第三凸出圈(22)与所述第一凸出圈(21)间隔分布，所述釜体(1)的外壁固定有第四凸出圈(12)，且所述第四凸出圈(12)与所述第二凸出圈(11)间隔分布，同时所述环形卡箍(4)上分别开设有卡接所述第三凸出圈(22)的第二环形卡槽(42)，以及开设有卡接所述第四凸出圈(12)的第三环形卡槽(43)，且所述第二环形卡槽(42)、所述第三环形卡槽(43)和所述第一环形卡槽(41)沿所述环形卡箍(4)的轴向间隔分布，同时所述第二环形卡槽(42)和所述第三环形卡槽(43)分居在所述第一环形卡槽(41)的两端。4.根据权利要求3所述的一种大容积人造石英晶体高压釜，其特征在于，所述第三凸出圈(22)、所述第四凸出圈(12)、所述第二环形卡槽(42)和所述第三环形卡槽(43)均...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹利君，张璇，刘巨澜，张绍锋，
申请(专利权)人：烁光特晶科技有限公司，
类型：发明
国别省市：