一种薄膜材料及其制备方法和应用技术

本发明专利技术提供了一种薄膜材料及其制备方法和应用，属于防护材料技术领域。本发明专利技术提供了一种薄膜材料，包括钼元素、硅元素和贵金属元素，所述贵金属元素为金或银，所述钼元素的含量为28～35at.％，所述硅元素的含量为60～70at.％，所述贵金属元素的含量为0.5～1.5at.％，所述贵金属元素以单原子形式存在。本发明专利技术中，贵金属Au或Ag单原子的引入，可以调控MoSi2的微观结构，限制MoSi2的晶粒尺寸，提高MoSi2薄膜的致密度，改善其本征脆性提高其韧性，进而提高薄膜材料的硬度和断裂韧性。且Au单原子或Ag单原子的引入，能够极大地降低MoSi2薄膜的摩擦系数，对发动机传动机构具有重要意义。重要意义。重要意义。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜材料及其制备方法和应用


[0001]本专利技术涉及防护材料
，尤其涉及一种薄膜材料及其制备方法和应用。

技术介绍

[0002]随着航空航天事业的飞速发展，对于航空发动机的传动机构如齿轮、花键能否承受恶劣的工作环境是航空发动机能否稳定运行的前提。这不仅要求发动机的传动机构具有较高的硬度韧性以及耐磨性能，而且其使用寿命也至关重要。另一方面，传动机构之间需要承受不同零部件之间的摩擦，较大的摩擦系数会降低传动机构之间传递效率，而低的摩擦系数在不仅能够减小传动机构的磨损，而且能够提高传动效率。同时，在保证发动机传动机构稳定运行的前提下，减小其对空中环境的影响也应该被考虑到。薄膜技术的发展对提高材料表面硬度、韧性以及降低表面的摩擦系数具有显著的效果。
[0003]近年来，人们发现过渡金属硅化物具有高硬度、高耐磨性和抗氧化性，作为硬质防护薄膜，在改善材料性能方面具有显着效果。二硅化钼作为一种过渡金属硅化物，具有金属和陶瓷的双重性能，具有较高的耐磨性、耐腐蚀性和抗氧化性。同时MoSi2也是一种可再生、无毒、环保的材料，这使其成为防护薄膜的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜材料，其特征在于，包括钼元素、硅元素和贵金属元素，所述贵金属元素为金或银，所述钼元素的含量为28～35at.％，所述硅元素的含量为60～70at.％，所述贵金属元素的含量为0.5～1.5at.％，所述贵金属元素以单原子形式存在。2.根据权利要求1所述的薄膜材料，其特征在于，所述贵金属元素的含量为0.8～1.0at.％。3.根据权利要求1所述的薄膜材料，其特征在于，所述钼元素的含量为30.6at.％，所述硅元素的含量为68.9at.％，所述金的含量为0.5at.％。4.根据权利要求1或2所述的薄膜材料，其特征在于，所述钼元素的含量为31.7at.％，所述硅元素的含量为67.5at.％，所述金的含量为0.8at.％。5.根据权利要求1所述的薄膜材料，其特征在于，所述钼元素的含量为32.4at.％，所述硅元素的含量为66.1at.％，所述金的含量为1....

【专利技术属性】
技术研发人员：任萍，王港港，杨晓阳，邱剑勋，司衍鑫，
申请(专利权)人：烟台大学，
类型：发明
国别省市：