本发明专利技术公开了晶圆加工领域的一种晶圆铝条烧写确认测试防护装置，包括安装盒，安装盒内安装有烧写器，烧写器的右侧于安装盒内安装有烧写盒，烧写盒内安装有两个晶圆固定装置，安装盒的顶部安装有顶盖装置，安装盒的右侧安装有用于固定顶盖装置的锁紧装置，安装盒的底部安装有延伸至其内部的水冷装置，水冷装置包括：水箱、水泵、主体管、吸热球和冷却管，水箱安装于安装盒的底部，水箱内安装有水泵，安装盒的内部左右两侧分别安装有一个主体管，主体管上设置有多个吸热球，水泵通过水管与主体管相连，主体管通过水管与冷却管相连，冷却管通过水管与水箱相连。本发明专利技术结构简单，散热性好，防护性强。护性强。护性强。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆铝条烧写确认测试防护装置
[0001]本专利技术涉晶圆加工领域，具体是一种晶圆铝条烧写确认测试防护装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]烧写是指将特定的程序写入到晶圆内，这一过程中会产生大量的热量，长时间的烧写可能会导致高温，损坏晶圆，因此，针对以上现状，迫切需要开发一种散热性好，防护性强的烧写确认测试防护装置，以克服当前实际应用中的不足，满足当前的需求。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种晶圆铝条烧写确认测试防护装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]一种晶圆铝条烧写确认测试防护装置，包括安装盒，所述安装盒内安装有烧写器，所述烧写器的右侧于安装盒内安装有烧写盒，所述烧写盒内安装有两个晶圆固定装置，所述安装盒的顶部安装有顶盖装置，所述安装盒的右侧安装有用于固定顶盖装置的锁紧装置，所述安装盒的左右两侧均开设有多个散热孔，所述安装盒的内部左右两端均安装有一个除尘网，所述安装盒的底部安装有延伸至其内部的水冷装置，所述水冷装置包括：水箱、水泵、主体管、吸热球和冷却管，所述水箱安装于安装盒的底部，所述水箱内安装有水泵，所述安装盒的内部左右两侧分别安装有一个主体管，所述主体管上设置有多个吸热球，所述水泵通过水管与主体管相连，所述主体管通过水管与冷却管相连，所述冷却管通过水管与水箱相连。
[0007]作为本专利技术进一步的方案：两个所述晶圆固定装置关于烧写盒的轴线上下对称设置。
[0008]作为本专利技术再进一步的方案：所述晶圆固定装置包括：滑套、导杆、第一弹簧和夹紧板，所述滑套安装于烧写盒的内壁上，所述滑套内滑动连接有延伸至其外部的导杆，所述导杆的一端通过第一弹簧与烧写盒的内壁弹性连接，所述导杆的另一端与夹紧板相连。
[0009]作为本专利技术再进一步的方案：所述顶盖装置包括：盖板、轴套、销轴和把手，所述安装盒的顶部左端安装有轴套，所述轴套内转动连接有销轴，所述销轴上安装有延伸至轴套外部的盖板，所述盖板上安装有把手。
[0010]作为本专利技术再进一步的方案：所述锁紧装置包括：支撑板、转轴、偏心凸轮、压板和第二弹簧，所述支撑板安装于安装盒的右侧，所述支撑板上安装有转轴，所述转轴的顶部与偏心凸轮相连，所述偏心凸轮的下侧安装有压板，所述压板的上侧通过第二弹簧与偏心凸轮相贴合，所述压板的底部与盖板紧密贴合。
[0011]作为本专利技术再进一步的方案：所述冷却管由多个U型管组成。
[0012]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该晶圆铝条烧写确认测试防护装置，使用时，将晶圆放置到烧写盒内，通过第一弹簧的弹力带动导杆和夹紧板将晶圆夹住，然后，通过烧写器将程序烧写到晶圆内，烧写过程中会产生大量的热量，通过散热孔加快空气流通，降低温度，同时，通过水泵将冷水输送至主体管和吸热球内，通过主体管和吸热球对安装盒内的热量进行吸收，吸收热量后的水通过冷却管冷却后回流到水箱内，有利于提高散热效率；烧写完成后，转动偏心凸轮，通过偏心凸轮带动压板移动，使得压板与盖板相脱离，即可将翻开，取出晶圆。综上所述，本专利技术结构简单，散热性好，防护性强。
附图说明
[0013]图1为本专利技术的结构示意图。
[0014]图2为本专利技术结构示意图中A
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A向视图。
[0015]图3为本专利技术结构示意图中B处的局部视图。
[0016]图中：1
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安装盒，101
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散热孔，2
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顶盖装置，201
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盖板，202
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轴套，203
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销轴，204
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把手，3
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烧写器，4
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烧写盒，5
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晶圆固定装置，501
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滑套，502
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导杆，503
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第一弹簧，504
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夹紧板，6
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锁紧装置，601
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支撑板，602
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转轴，603
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偏心凸轮，604
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压板，605
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第二弹簧，7
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除尘网，8
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水冷装置，801
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水箱，802
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水泵，803
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主体管，804
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吸热球，805
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冷却管。
具体实施方式
[0017]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0018]在本专利技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”“第二”“第三”是为了清楚说明产品部件进行的编号，不代表任何实质性区别。“上”“下”“左”“右”的方向均以附图所示方向为准。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术实施例中的具体含义。
[0019]需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”应做广义理解，例如，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在专利技术实施例中的具体含义。
[0020]实施例
[0021]请参阅图1～3，本专利技术实施例中，一种晶圆铝条烧写确认测试防护装置，包括安装盒1，所述安装盒1内安装有烧写器3，所述烧写器3的右侧于安装盒1内安装有烧写盒4，所述烧写器3通过导线与烧写盒4相连，所述烧写盒4内安装有两个晶圆固定装置5，两个所述晶圆固定装置5关于烧写盒4的轴线上下对称设置，所述晶圆固定装置5包括：滑套501、导杆502、第一弹簧503和夹紧板504，所述滑套501安装于烧写盒4的内壁上，所述滑套501内滑动连接有延伸至其外部的导杆502，所述导杆502的一端通过第一弹簧503与烧写盒4的内壁弹性连接，所述导杆502的另一端与夹紧板504相连，所述夹紧板504的外表呈圆弧形，所述安装盒1的顶部安装有顶盖装置2，所述顶盖装置2包括：盖板201、轴套202、销轴203和把手
204，所述安装盒1的顶部左端安装有轴套202，所述轴套202内转动连接有销轴203，所述销轴203上安装有延伸至轴套202外部的盖板201，所述盖板201上安装有把手204，所述安装盒1的右侧安装有用于固定顶盖装置2的锁紧装置6，所述锁紧装置6包括：支撑板601、转轴602、本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆铝条烧写确认测试防护装置，包括安装盒(1)，其特征在于：所述安装盒(1)内安装有烧写器(3)，所述烧写器(3)的右侧于安装盒(1)内安装有烧写盒(4)，所述烧写盒(4)内安装有两个晶圆固定装置(5)，所述安装盒(1)的顶部安装有顶盖装置(2)，所述安装盒(1)的右侧安装有用于固定顶盖装置(2)的锁紧装置(6)，所述安装盒(1)的左右两侧均开设有多个散热孔(101)，所述安装盒(1)的内部左右两端均安装有一个除尘网(7)，所述安装盒(1)的底部安装有延伸至其内部的水冷装置(8)，所述水冷装置(8)包括：水箱(801)、水泵(802)、主体管(803)、吸热球(804)和冷却管(805)，所述水箱(801)安装于安装盒(1)的底部，所述水箱(801)内安装有水泵(802)，所述安装盒(1)的内部左右两侧分别安装有一个主体管(803)，所述主体管(803)上设置有多个吸热球(804)，所述水泵(802)通过水管与主体管(803)相连，所述主体管(803)通过水管与冷却管(805)相连，所述冷却管(805)通过水管与水箱(801)相连。2.根据权利要求1所述的晶圆铝条烧写确认测试防护装置，其特征在于：两个所述晶圆固定装置(5)关于烧写盒(4)的轴线上下对称设置。3.根据权利要求2所述的晶圆铝条烧写确认测试防护装置，其特征在于：所述晶圆固定装置(5)包括：滑套(501)、导杆(502)、第一弹簧(503...
【专利技术属性】
技术研发人员：常兵，邹桂明，杭晓宇，管林翔，王冰，
申请(专利权)人：江苏七维测试技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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