载物台装置及载物台控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提出一种利用气动致动器使工件移动的载物台装置专用的安全停止机构，并提供具备这种安全停止机构的载物台装置。本发明专利技术的载物台装置具备：引导件；滑块；正侧伺服阀，将流体供给至腔室(152)或从该腔室内排出流体来控制该腔室内的压力；及负侧伺服阀，将流体供给至腔室(154)或从该腔室内排出流体来控制该腔室内的压力，一组截止阀(170P、170N)分别设置于将流体供给至腔室(152)的供给流路上及将流体供给至腔室(154)的供给流路上、或分别设置于从腔室(152)排出流体的排出流路上及从腔室(154)排出流体的排出流路上，截止阀(170P)与正侧伺服阀串联连接，截止阀(170N)与负侧伺服阀串联连接。阀串联连接。阀串联连接。

【技术实现步骤摘要】
载物台装置及载物台控制装置
[0001]本申请主张基于2021年2月9日申请的日本专利申请第2021
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019209号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考而援用于本说明书中。


[0002]本专利技术涉及一种载物台装置及载物台控制装置。

技术介绍

[0003]以往，作为利用气动致动器驱动的机器的安全停止机构，提出了各种技术(例如专利文献1)。
[0004]专利文献1：日本特开平10
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159813号公报

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提出一种利用气动致动器使工件移动的载物台装置专用的安全停止机构，并提供一种具备这种安全停止机构的载物台装置。
[0006]为了解决上述课题，本专利技术的一种实施方式具备：引导件；滑块，通过设置于其内部的两个腔室内的压力变化而沿引导件移动；第1压力控制阀，将流体供给至两个腔室中的一个腔室中或从一个腔室内排出流体来控制一个腔室内的压力；及第2压力控制阀，将流体供给至两个腔室中的另一个腔室中或从另一个腔室内排出流体来控制另一个腔室内的压力，一组截止阀分别设置于将流体供给至一个腔室中的供给流路上及将流体供给至另一个腔室中的供给流路上、或分别设置于从一个腔室排出流体的排出流路上及从另一个腔室排出流体的排出流路上，一组截止阀中的一个截止阀与第1压力控制阀串联连接，另一个截止阀与第2压力控制阀串联连接。
[0007]根据本专利技术，能够提供一种具备安全机构的载物台装置。
附图说明
[0008]图1是载物台装置的立体图。
[0009]图2是气动致动器的概略剖视图。
[0010]图3是伺服阀的剖视图。
[0011]图4是分别表示正常运转时的滑块的速度、滑块的加速度及伺服腔室内的压力值的经时变化的曲线图。
[0012]图5是简化了载物台装置的结构图。
[0013]图6是分别表示图5的载物台装置出现了异常时的滑块的速度、滑块的加速度及伺服腔室内的压力值的经时变化的曲线图。
[0014]图7是简化了载物台装置的结构图。
[0015]图8是分别表示图7的载物台装置出现了异常时的滑块的速度、滑块的加速度及伺服腔室内的压力值的经时变化的曲线图。
[0016]图9是简化了载物台装置的结构图。
[0017]图10是分别表示图9的该载物台装置出现了异常时的滑块的速度、滑块的加速度及伺服腔室内的压力值的经时变化的曲线图。
[0018]图11是简化了载物台装置的结构图。
[0019]图12是分别表示图11的载物台装置出现了异常时的滑块的速度、滑块的加速度及伺服腔室内的压力值的经时变化的曲线图。
[0020]图13是简化了载物台装置的结构图。
[0021]图中：100
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载物台装置，110
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工作台，122
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引导件，124
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滑块，126
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伺服阀，144P
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正侧空气供给管，144N
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负侧空气供给管，144P
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正侧空气供给管，144N
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负侧空气供给管，150
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伺服腔室，152
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正侧腔室，154
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负侧腔室，170P、170N、180P、180N、190P、190N
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截止阀，200P、200N
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排气阀。
具体实施方式
[0022]以下，在各附图中，对相同或相等的构成要件、部件及工序标注相同的符号，并适当省略重复说明。并且，为了便于理解，在各附图中，适当放大或缩小表示部件的尺寸。并且，在各附图中，省略对实施方式的说明并不重要的部件的一部分。
[0023]图1是载物台装置的立体图。载物台装置100主要具备：平台102、除振台104、除振装置106、工作台110、沿X轴方向延伸的1个X轴气动致动器120及沿Y轴方向延伸的两个Y轴气动致动器130A、130B。平台102被除振台104支承。俯视观察时，X轴气动致动器120及Y轴气动致动器130A、130B呈H型。除振装置106吸收由X轴气动致动器120及Y轴气动致动器130A、130B的运动引起的力量，从而抑制平台102振动。
[0024]X轴气动致动器120具有引导件(方形轴)122、滑块124及伺服阀(图1中未图示)。Y轴气动致动器130A、130B分别具有引导件132、滑块134及伺服阀136。引导件122的两端分别支承于Y轴气动致动器130A的滑块及Y轴气动致动器130B的滑块134。滑块124沿着引导件122在X轴方向上移动。X轴气动致动器120伴随滑块134的移动而沿着Y轴气动致动器130A、130B在Y轴方向上移动。由此，载物台装置100使工作台110与滑块124一同在XY平面内移动。工作台110、X轴气动致动器120及Y轴气动致动器130A、130B被外壳108包围并且置于真空环境下。
[0025]位置传感器140检测工作台110在X轴方向上的位置。并且，位置传感器142检测工作台110在Y轴方向上的位置。
[0026]图2是气动致动器的概略剖视图。具体而言，图2概略地表示了引导件122的Y轴方向上的中央处的纵截面。
[0027]引导件122上设置有静压轴承，滑块124通过设置于其内周侧各面上的空气轴承而相对于引导件122悬浮。由此，滑块124被支承为相对于引导件122能够以完全不接触的方式沿X轴方向移动。另外，虽然省略了图示，工作台110(参考图1)固定于滑块124的Z轴方向上的正侧的面上，从而与滑块124一同沿X轴方向移动。
[0028]滑块124上设置有内部空间(即，伺服腔室150)，伺服腔室150被固定于引导件122上的受压板123划分为正侧腔室152和负侧腔室154。
[0029]X轴气动致动器120具备分别配置于X轴方向上的正侧和负侧的正侧伺服阀126P
(该例子中相当于第1压力控制阀)及负侧伺服阀126N(该例子中相当于第2压力控制阀)。滑块124被正侧伺服阀126P及负侧伺服阀126N驱动。正侧伺服阀126P及负侧伺服阀126N通过后述阀柱的位置而控制正侧腔室152及负侧腔室154的供排气量。正侧伺服阀126P经由正侧配管128P与正侧腔室152连通。负侧伺服阀126N经由负侧配管128N与负侧腔室154连通。
[0030]X轴气动致动器120通过控制正侧伺服阀126P及负侧伺服阀126N从而在正侧腔室152及负侧腔室154产生压差。通过该压差，控制滑块124相对于引导件122的速度及加速度。
[0031]正侧伺服阀126P及负侧伺服阀126N分别经由正侧空气供给管144P(该例子中相当于第1流体供给管)及负侧空气供给管144N(该例子中相当于第2流体供给管)与空气供给源(即，泵146)连接。并且，正侧伺服阀126P及负侧伺服阀1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种载物台装置，其特征在于，具备：引导件；滑块，通过设置于其内部的两个腔室内的压力变化而沿所述引导件移动；第1压力控制阀，将流体供给至所述两个腔室中的一个腔室中或从所述一个腔室内排出流体来控制所述一个腔室内的压力；及第2压力控制阀，将流体供给至所述两个腔室中的另一个腔室中或从所述另一个腔室内排出流体来控制所述另一个腔室内的压力，一组截止阀分别设置于将流体供给至所述一个腔室中的供给流路上及将流体供给至所述另一个腔室中的供给流路上、或分别设置于从所述一个腔室排出流体的排出流路上及从所述另一个腔室排出流体的排出流路上，所述一组截止阀中的一个截止阀与所述第1压力控制阀串联连接，另一个截止阀与所述第2压力控制阀串联连接。2.根据权利要求1所述的载物台装置，其特征在于，所述一组截止阀同时工作。3.根据权利要求1或2所述的载物台装置，其特征在于，所述一组截止阀包括设置于所述第1压力控制阀与所述一个腔室之间的第1截止阀及设置于所述第2压力控制阀与所述另一个腔室之间的第2截止阀。4.根据权利要求1或2所述的载物台装置，其特征在于，所述一组截止阀包括设置于向所述第1压力控制阀供给流体的第1流体供给管内的第1截止阀及设置于向所述第2压力控制阀供给流体的第2流体供给管内的第2截止阀。5.根据权利要求1或2所述的载物台装置，其特征在于，所述一组截止阀包括设置于从所述第1压力控制阀排出流体的流体排出管内的第1截止阀及设置于从所述第2压力控制阀排出流体的流体排出管内的第2截止阀。6.根据权利要求1至5中的任一项所述的载物台装置，其特征在于，还具备：异常检测部，检测所述滑块移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田达矢，滨田慎哉，近藤章，渡边真理乃，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：