智能压力平衡控制系统技术方案

本发明专利技术公开了智能压力平衡控制系统，包括反应炉，所述反应炉的内壁固定连接有多个压强检测器，所述反应炉的两侧分别固定连接有进气端和出气端，所述反应炉的一侧设有用于增加反应炉内压强的加压组件，所述反应炉的另一侧设有用于降低反应炉内压强的降压组件，所述反应炉的一侧固定连接有控制面板，本发明专利技术结构简单，使用方便，通过启动驱动电机和第一电动推杆可以分别打开进气端与出气端，方便平衡反应炉内的压强，且通过启动转动电机和第二电动推杆可以使反应炉内的气体分布均匀，方便在反应炉内不同位置的压强检测器检测到准确的压强，进而方便控制面板控制驱动电机、第一电动推杆、抽气泵和吸气泵来平衡反应炉内的压强。杆、抽气泵和吸气泵来平衡反应炉内的压强。杆、抽气泵和吸气泵来平衡反应炉内的压强。

【技术实现步骤摘要】
智能压力平衡控制系统


[0001]本专利技术涉及压力平衡控制
，尤其涉及智能压力平衡控制系统。

技术介绍

[0002]半导体或太阳能扩散炉设备中，传统的扩散炉生产工艺中采用非闭管方式，此种方式由于对炉内的压力没有约束和控制，不能达到相应的炉内压力平衡，所以传统设备在工艺水平上想要实现扩散工艺中炉内压力平衡的标准具有一定的难度，随着半导体工业的飞速发展，对扩散工艺均匀性及工艺扩展性的要求越来越高，同时对于扩散设备的炉内压力控制提出了相应的全新标准，因此，扩散炉炉内压力平衡的实现是半导体工业发展的一个关键环节。
[0003]现有技术中，无法有效、精准的对炉内压力进行平衡控制，因此导致无法提高工艺水平，且在控制炉内压力平衡时，由于炉内气体分布不均匀，因此无法对炉内的压强进行准确的检测。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的智能压力平衡控制系统。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0006]智能压力平衡控制系统，包括反应炉，所述反应本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.智能压力平衡控制系统，包括反应炉(1)，其特征在于，所述反应炉(1)的内壁固定连接有多个压强检测器(2)，所述反应炉(1)的两侧分别固定连接有进气端(3)和出气端(10)，所述反应炉(1)的一侧设有用于增加反应炉(1)内压强的加压组件，所述反应炉(1)的另一侧设有用于降低反应炉(1)内压强的降压组件，所述反应炉(1)的一侧固定连接有控制面板(32)，所述反应炉(1)内设有用于使反应炉(1)内气体分布均匀的搅拌组件。2.根据权利要求1所述的智能压力平衡控制系统，其特征在于，所述加压组件包括设置在反应炉(1)一侧的抽气泵(4)，所述抽气泵(4)的出气管延伸至进气端(3)内，所述进气端(3)内滑动连接有挡板(5)，且挡板(5)的顶部滑动贯穿进气端(3)的顶部，所述进气端(3)的顶部转动连接有转轮(7)，所述转轮(7)的外壁设有滑槽(8)，所述挡板(5)的一侧顶部固定连接有与滑槽(8)滑动连接的连接块(6)，所述进气端(3)的顶部固定连接有驱动电机(9)，所述驱动电机(9)的输出轴与转轮(7)通过齿轮传动。3.根据权利要求1所述的智能压力平衡控制系统，其特征在于，所述降压组件包括设置在反应炉(1)另一侧的吸气泵(11)，所述吸气泵(11)的吸气管延伸至出气端(10)内，所述出气端(10)内呈横向转动连接有转轴(12)，所述转轴(12)的外壁固定套设有转动板(13)，且转动板(13)的顶部与底部分别与出气端(10)的顶部内壁与底部内壁相碰触，所述转轴(12)的一端转动贯穿出气端(10)的一侧并固定连接有第一齿轮(14)，所述出气端(10)的一侧固定连接有第一电动推杆(15)，所述第一电动推杆(15)的活塞杆固定连接有与第一齿轮(14)相啮合的第一齿条(16)。4.根据权利要求2或3所述的智能压力平衡控制系统，其特征在于，所述搅拌组件包括设置在反应炉(...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈奇志，钟晓宏，何永文，肖岳意，
申请(专利权)人：凯德技术长沙股份有限公司，
类型：发明
国别省市：