量子级联激光器制造技术

一种量子级联激光器，具备：第一台面波导，设置在基板上，包含第一芯层；第二台面波导，设置在基板上，包含第二芯层；第一电极，与第一台面波导电连接；及第二电极，与第二台面波导电连接。第一台面波导及第二台面波导沿第一方向延伸，并在与第一方向交叉的第二方向上相互分离。第一电极与第二电极之间的距离大于第一台面波导与第二台面波导之间的距离。面波导与第二台面波导之间的距离。面波导与第二台面波导之间的距离。

【技术实现步骤摘要】
量子级联激光器


[0001]本公开涉及量子级联激光器。

技术介绍

[0002]专利文献1公开了具有相互分离配置的多个台面波导的量子级联激光器。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特表2010
‑
514163号公报
[0006]专利技术要解决的课题
[0007]在量子级联激光器的阵列中，在相互分离配置的多个台面波导的各顶面连接电极。相邻的电极间的距离通常与相邻的台面波导间的距离相同。因此，如果台面波导间的距离缩短，则电极间的距离也缩短。其结果是，可能在相邻的电极间产生放电。

技术实现思路

[0008]本公开提供一种能够降低在相邻的电极间产生放电的可能性的量子级联激光器。
[0009]用于解决课题的方案
[0010]本公开的一方面的量子级联激光器具备：第一台面波导，设置在基板上，包含第一芯层；第二台面波导，设置在所述基板上，包含第二芯层；第一电极，与所述第一台面波导电连接；及第二电极，与所述第二台面波导电连接，所述第一台面波导及所述第二台面波导沿第一方向延伸，并在与所述第一方向交叉的第二方向上相互分离，所述第一电极与所述第二电极之间的距离大于所述第一台面波导与所述第二台面波导之间的距离。
[0011]专利技术效果
[0012]根据本公开，能够提供可减少在相邻的电极间产生放电的可能性的量子级联激光器。
附图说明
[0013]图1是示意性地表示一实施方式的量子级联激光器的俯视图。
[0014]图2是图1的沿II
‑
II线的剖视图。
[0015]图3是图1的沿III
‑
III线的剖视图。
[0016]图4是示意性地表示另一实施方式的量子级联激光器的剖视图。
[0017]图5是示意性地表示另一实施方式的量子级联激光器的剖视图。
[0018]图6是示意性地表示另一实施方式的量子级联激光器的剖视图。
[0019]图7是示意性地表示另一实施方式的量子级联激光器的剖视图。
[0020]图8是示意性地表示另一实施方式的量子级联激光器的剖视图。
[0021]图9的(a)、(b)及(c)是表示图4的量子级联激光器的制造方法中的各工序的图。
[0022]图10的(a)、(b)及(c)是表示图4的量子级联激光器的制造方法中的各工序的图。
具体实施方式
[0023][本公开的实施方式的说明][0024]一实施方式的量子级联激光器具备：第一台面波导，设置在基板上，包含第一芯层；第二台面波导，设置在所述基板上，包含第二芯层；第一电极，与所述第一台面波导电连接；及第二电极，与所述第二台面波导电连接，所述第一台面波导及所述第二台面波导沿第一方向延伸，并在与所述第一方向交叉的第二方向上相互分离，所述第一电极与所述第二电极之间的距离大于所述第一台面波导与所述第二台面波导之间的距离。
[0025]根据上述量子级联激光器，即使减小第一台面波导与第二台面波导之间的距离，也能够增大第一电极与第二电极之间的距离。由此，能够降低在第一电极与第二电极之间产生放电的可能性。
[0026]也可以是，所述第一台面波导具有第一侧面及第二侧面，所述第二台面波导具有第三侧面及第四侧面，所述第一侧面、所述第二侧面、所述第三侧面及所述第四侧面沿所述第一方向延伸，所述第二侧面与所述第三侧面相对，所述第一电极与所述第二电极之间的距离大于所述第一侧面与所述第四侧面之间的距离。在该情况下，能够增大第一电极与第二电极之间的距离。
[0027]也可以是，上述量子级联激光器还具备：第一接触层，与所述第一台面波导的顶面及所述第一电极电连接；及第二接触层，与所述第二台面波导的顶面及所述第二电极电连接，所述第一接触层在所述第二方向上延伸至相对于所述第一侧面与所述第二侧面相反的一侧的位置，所述第二接触层也可以在所述第二方向上延伸至相对于所述第四侧面与所述第三侧面相反的一侧的位置。在该情况下，通过延长第一接触层及第二接触层的在第二方向上的长度，能够增大第一电极与第二电极之间的距离。
[0028]也可以是，上述量子级联激光器还具备：第一覆盖层，配置在所述第一台面波导的所述顶面与所述第一接触层之间；及第二覆盖层，配置在所述第二台面波导的所述顶面与所述第二接触层之间，所述第一覆盖层在所述第二方向上延伸至相对于所述第一侧面与所述第二侧面相反的一侧的位置，所述第二覆盖层在所述第二方向上延伸至相对于所述第四侧面与所述第三侧面相反的一侧的位置。在该情况下，从第一电极经由第一接触层及第一覆盖层向第一芯层注入电流。当第一接触层及第一覆盖层延伸至比第一侧面靠外侧的位置时，从第一电极向第一台面波导的电阻下降。同样，从第二电极经由第二接触层及第二覆盖层向第二芯层注入电流。当第二接触层及第二覆盖层延伸至比第四侧面靠外侧的位置时，从第二电极向第二台面波导的电阻下降。
[0029]上述量子级联激光器也可以还具备配置在所述第一电极与所述第二电极之间的绝缘层。在该情况下，能够通过绝缘层进一步降低在第一电极与第二电极之间产生放电的可能性。
[0030][本公开的实施方式的详情][0031]以下，参照附图，详细说明本公开的实施方式。在附图的说明中，对于同一或同等的要素使用同一标号，省略重复的说明。在附图中，根据需要而示出相互交叉的X轴方向(第一方向)、Y轴方向(第二方向)及Z轴方向。X轴方向、Y轴方向及Z轴方向例如相互正交。
[0032]图1是示意性地表示一实施方式的量子级联激光器的俯视图。图2是沿图1的II
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II线的剖视图。图3是沿图1的III
‑
III线的剖视图。
[0033]图1、图2及图3所示的量子级联激光器10使用于例如工业用激光加工装置或者环境分析、工业气体分析、医疗诊断等中的光计测装置。量子级联激光器10是能够沿X轴方向振荡出激光的共振器。激光也可以是例如中红外线等红外线。量子级联激光器10具有沿X轴方向射出激光的出射面110、及在X轴方向上与出射面110相反的一侧的反射面112。出射面110是前端面。反射面112是后端面。出射面110及反射面112分别也可以与X轴方向正交。出射面110及反射面112分别具有例如矩形形状。在出射面110及反射面112也可以分别形成低反射膜及高反射膜。量子级联激光器10具有沿X轴方向及Z轴方向延伸的侧面114、116(分别为第五侧面及第六侧面)。侧面114、116分别具有例如矩形形状。量子级联激光器10的形状例如为长方体。量子级联激光器10具有在X轴方向上为例如1mm以上且3mm以下的长度L。
[0034]量子级联激光器10具备基板20、设置在基板20上的第一台面波导M1、及设置在基板20上的第二台面波导M2。第一台面波导M1及第二台面波导M2单片地集成于基板20。第一台面波导M1及第二台面波导M2沿X轴方向延伸且在Y轴方向上相互分离。第一台面波导M1及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种量子级联激光器，具备：第一台面波导，设置在基板上，包含第一芯层；第二台面波导，设置在所述基板上，包含第二芯层；第一电极，与所述第一台面波导电连接；及第二电极，与所述第二台面波导电连接，所述第一台面波导及所述第二台面波导沿第一方向延伸，并在与所述第一方向交叉的第二方向上相互分离，所述第一电极与所述第二电极之间的距离大于所述第一台面波导与所述第二台面波导之间的距离。2.根据权利要求1所述的量子级联激光器，其中，所述第一台面波导具有第一侧面及第二侧面，所述第二台面波导具有第三侧面及第四侧面，所述第一侧面、所述第二侧面、所述第三侧面及所述第四侧面沿所述第一方向延伸，所述第二侧面与所述第三侧面相对，所述第一电极与所述第二电极之间的距离大于所述第一侧面与所述第四侧面之间的距离。3.根据权利要求2所述的量子级联激光器，其中，所述量子级联激光器还具备：第一接触层，与所述第一台面波导的顶面及所述第一电极电连接；及第二接触层，与所述第二台面波导的顶面及所述第二电极电连接，所述第一接触层在所述第二方向上延伸至相对于所述第一侧面与所述第二侧面相反的一侧的位置，所述第二接触层在所述第二方向上延伸至相对于所述第四侧面与所述第三侧面相反的一侧的位置。4.根据权利要求3所述的量子级联激光器，其中，所述量子级联激光器还具备：第一覆盖层，配置在所述第一台面波导的所述顶面与所述第一接触层之间；及第...

【专利技术属性】
技术研发人员：桥本顺一，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：