基板传送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种基板传送装置，包括水平设置的横梁，以及纵向设置于所述横梁的两端的支撑梁，所述横梁上悬挂有基板载具，所述基板载具位于两个所述支撑梁之间，且所述基板载具与两个所述支撑梁所在的平面平行，所述基板载具包括沿水平方向相对设置的两个侧壁，每个所述支撑梁上设置有辅助夹持结构，所述辅助夹持结构用于在所述基板传送装置运动过程中夹持所述基板载具的所述侧壁上。持所述基板载具的所述侧壁上。持所述基板载具的所述侧壁上。

【技术实现步骤摘要】
基板传送装置


[0001]本技术涉及显示产品制作
，尤其涉及一种基板传送装置。

技术介绍

[0002]为了降低能耗及避免长时间点灯导致背光源过热问题，需要尽可能大的降低走线通道阻抗。目前降低走线阻抗通常通过导电层加厚来实现，就目前工艺而言，主要有磁控溅射和电化学沉积两种方案，其中，电化学沉积工艺是一种低成本的化学性成膜方式，可以沉积2～20um的厚金属，从而获得较低的电阻，电沉积具有效率高、应力低、风险小等优点。
[0003]但是大尺寸电化学沉积设备中，基板传送装置搬运基板载具在各个工艺槽体运行，进行电化学沉积工艺生产，应产能需求基板传送装置搬运基板载具的速度需要达到2000mm/s，基板载具上部有夹紧机构，启动、停止、行进过程中，由于惯性导致基板载具下部会有偏摆，摆动对机构的可靠性和产能满足情况都会产生影响。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供一种基板传送装置，解决基板载具在运输过程中容易摆动的问题。
[0005]为了达到上述目的，本技术实施例采用的技术方案是：一种基板传送装置，包括水平设置的横梁，以及纵向设置于所述横梁的两端的支撑梁，所述横梁上悬挂有基板载具，所述基板载具位于两个所述支撑梁之间，且所述基板载具与两个所述支撑梁所在的平面平行，所述基板载具包括沿水平方向相对设置的两个侧壁，每个所述支撑梁上设置有辅助夹持结构，所述辅助夹持结构用于在所述基板传送装置运动过程中夹持在所述基板载具的所述侧壁上。
[0006]可选的，所述辅助夹持结构包括设置于所述支撑梁上的驱动连接部，以及与所述驱动连接部连接的连接臂，所述连接臂远离所述驱动连接部一端设置有夹持部，所述驱动连接部用于控制
[0007]所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相平行，或者
[0008]所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相垂直，以使得所述夹持部能够夹持所述基板载具。
[0009]可选的，所述驱动连接部包括与所述支撑梁的延伸方向相平行设置的第一伸缩气缸，以及通过第一旋转轴连接至所述第一伸缩气缸的一端的传动杆，所述传动杆与所述连接臂的一端通过第二旋转轴传动连接；
[0010]所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相垂直时，所述传动杆的延伸方向与所述第一伸缩气缸的运动方向相垂直；
[0011]所述第一伸缩气缸伸出，在所述传动杆的作用下，所述连接臂的延伸方向改变为与所述支撑梁的延伸方向相平行，所述第一伸缩气缸回缩，在所述传动杆的作用下，所述连接臂的延伸方向改变为与所述支撑梁的延伸方向相垂直。
[0012]可选的，所述驱动连接部还包括在垂直于所述支撑梁的延伸方向的方向上、设置于所述传动杆相对的两侧的防护板，所述防护板固定于所述支撑梁上，并向靠近所述基板载具的方向延伸设置，所述第二旋转轴的两端固定于所述防护板远离所述支撑梁的一端。
[0013]可选的，所述夹持部包括：
[0014]收纳槽，所述收纳槽的底部与所述连接臂连接；
[0015]容纳于所述收纳槽内的第二伸缩气缸，所述第二伸缩气缸的一端固定于所述收纳槽的底部，且所述第二伸缩气缸的延伸方向与所述传动杆的延伸方向相同；
[0016]相对设置的两个夹持组件，每个所述夹持组件包括至少一个夹持连杆，至少一个所述夹持连杆包括沿其排列方向设置的首端和末端，所述首端与所述第二伸缩气缸连接，所述末端为自由端；
[0017]所述第二伸缩气缸伸出，所述末端向远离所述收纳槽的方向移动，且两个所述夹持组件的末端之间的空间随着所述末端的移动而增大；
[0018]所述第二伸缩气缸收缩，所述末端向靠近所述收纳槽的方向移动，且两个所述夹持组件的末端之间的空间随着所述末端的移动而减小。
[0019]可选的，所述第一伸缩气缸上上设置有用于检测所述第一伸缩气缸的伸缩状态的第一传感器，所述第二伸缩气缸上设置有用于检测所述第二伸缩气缸的伸缩状态的第二传感器。
[0020]可选的，所述基板载具具有与所述横梁的延伸方向相平行的中心线，所述辅助夹持结构用于夹持于所述基板载具的第一位置，所述第一位置位于所述中心线远离所述横梁的部分。
[0021]可选的，每个所述支撑梁靠近所述基板载具的侧面上设置有容纳槽，所述容纳槽用于容纳所述辅助夹持结构。
[0022]可选的，还包括框架，所述框架上设置有导轨，每个所述支撑梁的底部设置有滚轮，所述支撑梁通过所述滚轮在所述导轨上移动，以将所述基板载具在各个工艺槽之间传送。
[0023]本技术的有益效果是：通过所述辅助夹持结构的设置，降低基板载具的摆动幅度，减少由基板载具摇摆对基板传送装置造成的损害，延长使用寿命。
附图说明
[0024]图1表示本技术实施例中基板传送装置部分结构示意图一；
[0025]图2表示本技术实施例中辅助夹持结构示意图；
[0026]图3表示本技术实施例中驱动连接部示意图；
[0027]图4表示本技术实施例中夹持部结构示意图；
[0028]图5表示本技术实施例中基板传送装置部分结构示意图二。
具体实施方式
[0029]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的
实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0031]由于基板载具重量高达300Kg，在2000mm/s的高速运行中，启动、运行、停止必定导致基板载具在空中摇摆，在工艺生产过程中需要被动等待摇摆接近停止(摇摆幅度在2mm以内)后，才可将基板载具放入工艺槽体，严重影响设备产能，同时摆动过程中，玻璃基板受到基板载具的应力，容易发生碎片；且基板载具在摇摆过程中，对基板传送装置行走机构可靠性影响很大，加速行车轨道老化失效；基板载具在摇摆过程中，对基板传送装置载具抓紧机构可靠性影响很大，降低抓紧机构使用寿命。
[0032]如图1
‑
5所示，本实施例提供一种基板传送装置，包括水平设置的横梁1，以及纵向设置于所述横梁1的两端的支撑梁2，其特征在于，所述横梁1上悬挂有基板载具3，所述基板载具3位于两个所述支撑梁2之间，且所述基板载具3与两个所述支撑梁2所在的平面平行，所述基板载具3包括沿水平方向相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板传送装置，包括水平设置的横梁，以及纵向设置于所述横梁的两端的支撑梁，其特征在于，所述横梁上悬挂有基板载具，所述基板载具位于两个所述支撑梁之间，且所述基板载具与两个所述支撑梁所在的平面平行，所述基板载具包括沿水平方向相对设置的两个侧壁，每个所述支撑梁上设置有辅助夹持结构，所述辅助夹持结构用于在所述基板传送装置运动过程中夹持在所述基板载具的所述侧壁上。2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述辅助夹持结构包括设置于所述支撑梁上的驱动连接部，以及与所述驱动连接部连接的连接臂，所述连接臂远离所述驱动连接部一端设置有夹持部，所述驱动连接部用于控制所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相平行，或者，所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相垂直，以使得所述夹持部能够夹持所述基板载具。3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述驱动连接部包括与所述支撑梁的延伸方向相平行设置的第一伸缩气缸，以及通过第一旋转轴连接至所述第一伸缩气缸的一端的传动杆，所述传动杆与所述连接臂的一端通过第二旋转轴传动连接；所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相垂直时，所述传动杆的延伸方向与所述第一伸缩气缸的运动方向相垂直；所述第一伸缩气缸伸出，在所述传动杆的作用下，所述连接臂的延伸方向改变为与所述支撑梁的延伸方向相平行，所述第一伸缩气缸回缩，在所述传动杆的作用下，所述连接臂的延伸方向改变为与所述支撑梁的延伸方向相垂直。4.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述驱动连接部还包括在垂直于所述支撑梁的延伸方向的方向上、设置于所述传动杆相对的两侧的防护板，所述防护板固定于所述支撑梁上，并向靠近所述基板载具的方向延伸设置，所述第二旋转轴的两端固定于所述防护板远离所述支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：王成飞，闫俊伟，袁广才，孙少东，张国才，董士豪，董鹏程，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：