扫描电镜样品台制造技术

本实用新型专利技术提供了一种扫描电镜样品台，包括台体和样品载网，台体的上端面开设有朝向其内部延伸的容纳腔；样品载网可拆卸地设置在容纳腔；样品载网与容纳腔的底面之间具有预设间距，样品载网用于承载经过分散液分散后的样品悬浊液，从而在经过烘干后能够使样品粉末或颗粒均匀粘连在样品载网上，防止在分散剂蒸干过程中样品粉末或颗粒发生重胶结从而保证SEM

【技术实现步骤摘要】
扫描电镜样品台


[0001]本技术涉及科研设备领域，具体而言，涉及一种扫描电镜样品台。

技术介绍

[0002]扫描电镜
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能谱仪（SEM
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EDS）作为可同步表征物质的表观特征和元素分布的高分辨率高精度大型精密仪器，已在生命、物理、化学、材料和地球科学等领域的微观研究和物质鉴别中得到广泛应用。
[0003]而目前在实际应用中，扫描和透射电镜图谱的质量却往往因制样质量的好坏而存在较大差异。对于粉末和粘性较大的颗粒样品（如土壤样品），通常有两种制样方法：一是直接将粉末或颗粒样品撒在导电胶用于SEM
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EDS分析；二是利用液体分散剂将样品颗粒或粉末先进行分散，再将分散液滴加在样品台上，经烘箱烘干后对样品台上的试样喷溅导电层后即可进行SEM
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EDS分析。
[0004]上述方法中，第一种方法将粉末或颗粒样品直接撒在导电胶，往往由于操作难度大而导致部分位置样品堆积，难以实现样品在导电胶上均匀分布。第二种方法将分散的样品滴加至样品台上，尽管在很大程度消除了第一种方法由于人为操作造成的样品堆积，但是由于现有的样品台为一个敞开式的平面台体，在分散剂蒸干过程中样品粉末或颗粒会发生重胶结进而影响SEM
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EDS的检测结果。此外，由于样品台为敞开式结构，烘干后的样品极易被污染。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种扫描电镜样品台，以至少解决现有技术中的扫描电镜样品台在分散剂蒸干过程中样品粉末或颗粒却会发生重胶结从而影响SEM
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EDS检测结果的问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供了一种扫描电镜样品台，包括：台体，台体的上端面开设有朝向其内部延伸的容纳腔；样品载网，可拆卸地设置在容纳腔；其中，样品载网与容纳腔的底面之间具有预设间距，样品载网用于承载经过分散液分散后的样品悬浊液。
[0007]进一步地，台体和容纳腔均为圆柱形结构，样品载网为圆形结构；其中，样品载网的直径与容纳腔的直径相匹配。
[0008]进一步地，容纳腔底部的侧壁上开设有沿台体的径向延伸的排液孔；其中，排液孔用于将样品载网漏下的样品悬浊液排出。
[0009]进一步地，排液孔的孔径小于容纳腔高度的三分之一。
[0010]进一步地，扫描电镜样品台还包括：挡板，挡板为多个，多个挡板沿容纳腔的周向间隔设置在容纳腔的侧壁上；其中，多个挡板用于支撑样品载网。
[0011]进一步地，挡板沿容纳腔径向的长度小于样品载网直径的五分之一。
[0012]进一步地，挡板的底面与容纳腔的底面之间的间距大于容纳腔高度的一半。
[0013]进一步地，扫描电镜样品台还包括：胶塞，胶塞为圆形结构并与容纳腔的上端口形状匹配；其中，胶塞用于设置在容纳腔的上端口以将容纳腔封闭。
[0014]进一步地，台体采用铝或硅制成，样品载网为碳膜铜网或者金膜镍网。
[0015]进一步地，扫描电镜样品台还包括：连接架，设置在台体的下方，台体通过连接架固定连接在扫描电镜的检测部位。
[0016]应用本技术技术方案的扫描电镜样品台，包括台体和样品载网，台体的上端面开设有朝向其内部延伸的容纳腔；样品载网可拆卸地设置在容纳腔；样品载网与容纳腔的底面之间具有预设间距，样品载网用于承载经过分散液分散后的样品悬浊液，从而在经过烘干后能够使样品粉末或颗粒均匀粘连在样品载网上，防止在分散剂蒸干过程中样品粉末或颗粒发生重胶结从而保证SEM
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EDS的检测结果。
附图说明
[0017]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0018]图1是根据本技术实施例可选的一种扫描电镜样品台的剖面结构示意图；
[0019]图2是根据本技术实施例可选的一种扫描电镜样品台的俯视结构示意图；以及
[0020]图3是根据本技术实施例可选的一种扫描电镜样品台的侧面结构示意图。
[0021]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0022]10、台体；11、容纳腔；12、排液孔；20、样品载网；30、挡板；40、胶塞；50、连接架。
具体实施方式
[0023]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0024]根据本技术实施例的扫描电镜样品台，如图1和图2所示，包括台体10和样品载网20，台体10的上端面开设有朝向其内部延伸的容纳腔；样品载网20可拆卸地设置在容纳腔；样品载网20与容纳腔的底面之间具有预设间距，样品载网20用于承载经过分散液分散后的样品悬浊液，从而在经过烘干后能够使样品粉末或颗粒均匀粘连在样品载网20上，防止在分散剂蒸干过程中样品粉末或颗粒发生重胶结从而保证SEM
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EDS的检测结果。
[0025]具体实施时，扫描电镜样品台还包括连接架50，连接架50设置在台体10的下方，台体10通过连接架50固定连接在扫描电镜的检测部位。台体10和容纳腔11均为圆柱形结构，样品载网20为圆形结构；样品载网20的直径与容纳腔11的直径相匹配，实际应用中，样品载网20的直径略小于容纳腔11的直径，不仅使样品载网20能够顺畅地放入容纳腔11或者从容纳腔11内拿出，而且使样品载网20和容纳腔11的侧壁之间不要留过大的缝隙。进一步地，台体10采用铝或硅制成，样品载网20为碳膜铜网或者金膜镍网，样品载网20的网孔孔径可根据实验需求和分散的土壤颗粒大小进行选择。在实际应用中，也可以根据需要，将台体10和容纳腔11设计为方形，其他结构相应改变即可。
[0026]在向样品载网20滴样品悬浊液的过程中，部分样品悬浊液会透过样品载网20的网
孔漏到下方的容纳腔11内，为了使漏下的样品悬浊液能及时排出，避免容纳腔11底部残留过多的样品悬浊液影响烘干，进一步地，如图3所示，容纳腔11底部的侧壁上开设有沿台体10的径向延伸的排液孔12，排液孔12的孔径小于容纳腔11高度的三分之一，排液孔12的下沿与容纳腔11的底面平齐，排液孔12用于将样品载网20漏下的样品悬浊液排出，从而避免容纳腔11底部残留过多的样品悬浊液，有效缩短烘干时间。
[0027]进一步地，扫描电镜样品台还包括挡板30，挡板30为多个，多个挡板30沿容纳腔11的周向间隔设置在容纳腔11的侧壁上；通过多个挡板30将样品载网20支撑在容纳腔11内一定的高度。挡板30沿容纳腔11径向的长度小于样品载网20直径的五分之一，在保证能够承载样品载网20的基础上，避免挡板30过长将样品载网20的局部遮挡，影响检测结果。
[0028]进一步地，挡板30的底面与容纳腔11的底面之间的间距大于容纳腔11高度的一半，从而使挡板30的底面高于排液孔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜样品台，其特征在于，包括：台体（10），所述台体（10）的上端面开设有朝向其内部延伸的容纳腔（11）；样品载网（20），可拆卸地设置在所述容纳腔（11）；其中，所述样品载网（20）与所述容纳腔（11）的底面之间具有预设间距，所述样品载网（20）用于承载经过分散液分散后的样品悬浊液。2.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述台体（10）和所述容纳腔（11）均为圆柱形结构，所述样品载网（20）为圆形结构；其中，所述样品载网（20）的直径与所述容纳腔（11）的直径相匹配。3.根据权利要求2所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述容纳腔（11）底部的侧壁上开设有沿所述台体（10）的径向延伸的排液孔（12）；其中，所述排液孔（12）用于将所述样品载网（20）漏下的样品悬浊液排出。4.根据权利要求3所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述排液孔（12）的孔径小于所述容纳腔（11）高度的三分之一。5.根据权利要求2所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述扫描电镜样品台还包括：挡板（30），所述挡板（30）为多个，多个所述挡板（30）沿所述容纳...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨克俭，闫江涛，李忠徽，王显炜，陈艳龙，石柱涛，米卉子，
申请(专利权)人：陕西科睿斯达环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：