一种单晶生长用半导体石墨热场制造技术

本实用新型专利技术涉及石墨热场的技术领域，特别是涉及一种单晶生长用半导体石墨热场，其提高清理的便利性，节省人力和时间，提高效率；包括底座、四组支腿、石墨热场下部、石墨热场上部、保温加热箱、坩埚、籽晶、两组固定架、两组丝杠和两组直角转向器，底座底端和四组支腿顶端固定连接，石墨热场下部固定安装在底座顶端，石墨热场上部底端和石墨热场下部顶端可卡装，保温加热箱固定安装在石墨热场下部内，坩埚底端设有坩埚座，坩埚座固定安装在保温加热箱内，坩埚顶端设有单晶棒，石墨热场上部顶端设有连接腔，籽晶位于连接腔内，单晶棒顶端活动穿过石墨热场上部顶端并与籽晶底端固定连接，两组固定架分别固定安装在石墨热场上部的左右两侧。侧。侧。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶生长用半导体石墨热场


[0001]本技术涉及石墨热场的
，特别是涉及一种单晶生长用半导体石墨热场。

技术介绍

[0002]单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质，单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。在单晶硅生长炉中主要设备为石墨热场，石墨热场主要是由坩埚组成。石墨热场在使用完成后要清理内部的残留物，然而现有的石墨热场清理时很不便捷，比较耗费人力和时间，导致清理效率较低。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本技术提供一种提高清理的便利性，节省人力和时间，提高效率的单晶生长用半导体石墨热场。
[0004]本技术的一种单晶生长用半导体石墨热场，包括底座、四组支腿、石墨热场下部、石墨热场上部、保温加热箱、坩埚、籽晶、两组固定架、两组丝杠和两组直角转向器，底座底端和四组支腿顶端固定连接，石墨热场下部固定安装在底座顶端，石墨热场上部底端和石墨热场本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶生长用半导体石墨热场，其特征在于，包括底座(1)、四组支腿(2)、石墨热场下部(3)、石墨热场上部(4)、保温加热箱(5)、坩埚(6)、籽晶(10)、两组固定架(11)、两组丝杠(13)和两组直角转向器(14)，底座(1)底端和四组支腿(2)顶端固定连接，石墨热场下部(3)固定安装在底座(1)顶端，石墨热场上部(4)底端和石墨热场下部(3)顶端可卡装，保温加热箱(5)固定安装在石墨热场下部(3)内，坩埚(6)底端设有坩埚座(7)，坩埚座(7)固定安装在保温加热箱(5)内，坩埚(6)顶端设有单晶棒(8)，石墨热场上部(4)顶端设有连接腔(9)，籽晶(10)位于连接腔(9)内，单晶棒(8)顶端活动穿过石墨热场上部(4)顶端并与籽晶(10)底端固定连接，两组固定架(11)分别固定安装在石墨热场上部(4)的左右两侧，石墨热场上部(4)的左右两端分别设有一组螺套(12)，丝杠(13)转动安装在固定架(11)内，螺套(12)螺装在丝杠(13)上，直角转向器(14)的输出端和丝杠(13)底端连接，直角转向器(14)的输入端转动设有连接轴(15)，连接轴(15)上设有手摇组件。2.如权利要求1所述的一种单晶生长...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹朝洁，
申请(专利权)人：安徽弘朗炭科技有限公司，
类型：新型
国别省市：