荧光体面板的制造方法、荧光体面板、图像增强器和扫描型电子显微镜技术

荧光体面板的制造方法包括：在出射窗上形成具有多个荧光体颗粒的荧光体层的工序；在荧光体层上形成有机膜的工序；在有机膜上形成金属反射膜的工序；通过烧成除去有机膜的工序；以及通过原子层沉积法形成一体地覆盖金属反射膜的表面和荧光体颗粒的表面的氧化物膜的工序。工序。工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】荧光体面板的制造方法、荧光体面板、图像增强器和扫描型电子显微镜


[0001]本专利技术涉及荧光体面板的制造方法、荧光体面板、图像增强器和扫描型电子显微镜。

技术介绍

[0002]现有技术中，例如在图像增强器和扫描型电子显微镜等中，荧光体面板被用作检测光电子的电子检测部。例如，在专利文献1中公开了由颗粒状的荧光体形成荧光体层(荧光膜)、以及在荧光体层中的电子入射面侧设置用于防止荧光体层的充电等的金属反射膜(铝层)。另外，专利文献1中公开了如下方法：在荧光体层上形成硝化纤维素膜后，在该硝化纤维素膜上形成金属反射膜，之后除去硝化纤维素膜，由此在荧光体层上形成金属反射膜。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开平1
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243345号公报

技术实现思路

[0006]专利技术想要解决的技术问题
[0007]在上述的金属反射膜的形成方法中，由于在荧光体层与金属反射膜之间夹设有硝化纤维素膜，所以不对荧光体层上直接成膜金属反射膜。因此，不能说金属反射膜相对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种荧光体面板的制造方法，其特征在于，包括：在透光性基板上形成具有多个荧光体颗粒的荧光体层的工序；在所述荧光体层上形成有机膜的工序；在所述有机膜上形成金属反射膜的工序；通过烧成除去所述有机膜的工序；以及通过原子层沉积法形成一体地覆盖所述金属反射膜的表面和所述荧光体颗粒的表面的氧化物膜的工序。2.如权利要求1所述的荧光体面板的制造方法，其特征在于：所述有机膜为硝化纤维素膜。3.如权利要求1或2所述的荧光体面板的制造方法，其特征在于：形成所述金属反射膜的工序通过蒸镀或溅射来进行。4.如权利要求1～3中任一项所述的荧光体面板的制造方法，其特征在于：在除去所述有机膜后进一步包括在作为位于所述荧光体层上的所述金属反射膜的第1金属反射膜上形成第2金属反射膜的工序，在形成所述氧化物膜的工序中，所述氧化物膜以覆盖所述第1金属反射膜、所述第2金属反射膜和所述荧光体颗粒的方式形成。5.一种荧光体面板，其特征在于，具备：透光性基板；荧光体层，其设置在所述透光性基板上，具有多个荧光体颗粒；金属反射膜，其设置在所述荧光体层上；以及氧化物膜，其以一体地覆盖所述金属反射膜的表面和所述荧光体颗粒的表面的方式形成。6.如权利要求5所述的荧光体面板，其特征在于：所述金属反射膜为铝膜。7...

【专利技术属性】
技术研发人员：浜名康全，渡边宏之，嶋野贤志，西泽宽仁，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：