本实用新型专利技术公开一种旋转消隙装置及副室转动装置，包括回弹装置，回弹装置设置在基座或转臂上，转臂能够相对于基座转动，回弹装置能够与转臂弹性接触，在转臂停止转动之前对转臂施加扭矩，使转臂具有反向转动的趋势消隙齿轮间隙；主动齿轮通过电机带动旋转，主动齿轮与从动齿轮相互啮合传动，从动齿轮与转臂相对固定，当转臂旋转时与回弹装置接触，回弹装置对转臂施加反向的扭矩，始终保持主动齿轮与从动齿轮之间紧密啮合的状态，当转臂停止转动时，在回弹装置的弹力作用下，从动齿轮仍然与主动齿轮紧密啮合接触，消除了从动齿轮因惯性和齿轮间隙造成的位置偏差。和齿轮间隙造成的位置偏差。和齿轮间隙造成的位置偏差。
【技术实现步骤摘要】
一种旋转消隙装置及副室转动装置
[0001]本技术涉及半导体生产
，更进一步涉及一种旋转消隙装置。此外，本技术还涉及一种副室转动装置。
技术介绍
[0002]单晶硅生产过程中，副室作为存放晶棒的腔体，呈细长的圆筒形结构；副室的下方可对接炉筒，炉筒内加热使多晶硅熔化形成液态，副室上端设置的提升机构带动副室内部的籽晶下降到炉筒内的液体中，多晶硅在籽晶的引导下生长形成固体单晶硅，当单晶硅棒达到一定长度后，提升机构将单晶硅棒向上提升到副室内。
[0003]在电机的带动下，副室连同内部的单晶硅棒同步转动，与炉筒分离，副室转动一定角度后，将内部的单晶硅棒移出，空置的副室反向转动，重新移到炉筒的下方，重复上述的单晶硅棒生成过程。
[0004]副室与下方的炉筒要保证精准对齐，但由于电机通过齿轮实现传动，两个齿轮相互啮合存在间隙；当电机通过齿轮带动副室转动到位后停止，由于齿之间存在的间隙以及惯性作用，会使副室继续转动微小的角度，由于旋转半径较小，通常可为1～2m，微小的转动角度也会造成停止位置的较大差异，无法确保停止位置精准。
[0005]对于本领域的技术人员来说，如何降低齿轮间隙造成停止位置的偏移误差，是目前需要解决的技术问题。
技术实现思路
[0006]本技术提供一种旋转消隙装置，能够消除转动停止过程中因齿轮间隙造成的位置偏差，具体方案如下：
[0007]一种旋转消隙装置，包括回弹装置，所述回弹装置设置在基座或转臂上，所述转臂上固定设置从动齿轮，所述基座上安装主动齿轮，所述主动齿轮由电机带动旋转，啮合带动所述从动齿轮转动，使所述转臂相对于所述基座转动；
[0008]所述回弹装置能够对所述转臂施加扭矩，在所述转臂停止转动之前，使所述转臂具有反向转动的趋势保持齿轮紧密啮合消隙齿轮间隙。
[0009]可选地，所述回弹装置包括固定座、伸缩杆和弹性件，所述伸缩杆的一端从所述固定座中伸出，所述基座和所述转臂相互靠近转动时，所述伸缩杆向内回缩挤压所述弹性件产生弹性力。
[0010]可选地，所述固定座安装在所述基座上，所述转臂上固定安装挡块，所述挡块能够与所述伸缩杆接触挤压。
[0011]可选地，所述挡块设置在所述转臂的转轴外表面。
[0012]可选地，所述弹性件为螺旋弹簧。
[0013]可选地，所述转臂在距离转向位置10～20度范围内时，所述回弹装置对所述转臂施加弹力。
[0014]本技术还提供一种副室转动装置，包括上述任一项所述的旋转消隙装置。
[0015]本技术提供一种旋转消隙装置，包括回弹装置，回弹装置设置在基座或转臂上，转臂能够相对于基座转动，回弹装置能够与转臂弹性接触，在转臂停止转动之前对转臂施加扭矩，使转臂具有反向转动的趋势消隙齿轮间隙；主动齿轮通过电机带动旋转，主动齿轮与从动齿轮相互啮合传动，从动齿轮与转臂相对固定，当转臂旋转时与回弹装置接触，回弹装置对转臂施加反向的扭矩，始终保持主动齿轮与从动齿轮之间紧密啮合的状态，当转臂停止转动时，在回弹装置的弹力作用下，从动齿轮仍然与主动齿轮紧密啮合接触，消除了从动齿轮因惯性和齿轮间隙造成的位置偏差。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术提供的旋转消隙装置安装在副室转动装置的示意图；
[0018]图2为主动齿轮和从动齿轮相互啮合传动的结构示意图；
[0019]图3为技术的回弹装置的结构示意图。
[0020]图中包括：
[0021]回弹装置1、固定座11、伸缩杆12、弹性件13、基座2、主动齿轮21、转臂3、从动齿轮31、挡块4。
具体实施方式
[0022]本技术的核心在于提供一种旋转消隙装置，能够消除转动停止过程中因齿轮间隙造成的位置偏差。
[0023]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面将结合附图及具体的实施方式，对本技术的旋转消隙装置及副室转动装置进行详细的介绍说明。
[0024]如图1所示，为本技术提供的旋转消隙装置安装在副室转动装置的示意图，图中A表示副室；本技术提供的旋转消隙装置包括回弹装置1，回弹装置1设置在基座2或转臂3上，基座2为支架结构，保持固定不动，转臂3能够相对于基座2转动，转臂3上固定连接副室，副室与转臂3保持同步转动。
[0025]转臂3上固定设置从动齿轮31，从动齿轮31与转臂3的转轴同轴设置；基座2上安装主动齿轮21，主动齿轮21和从动齿轮31相互啮合传动；主动齿轮21由电机带动旋转，啮合带动从动齿轮31转动，使转臂3相对于基座2转动。如图2所示，为主动齿轮21和从动齿轮31相互啮合传动的结构示意图，图中所示的主动齿轮21沿逆时针方向转动，从动齿轮31沿顺时针方向转动。
[0026]回弹装置1能够对转臂3施加扭矩，在转臂3停止转动之前，使转臂3具有反向转动的趋势保持齿轮紧密啮合消隙齿轮间隙；结合图2对本专利技术的原理进行说明，图2所示的主动齿轮21和从动齿轮31具有一组相互啮合的齿块，位于主动齿轮21上的称为齿块X，位于从动齿轮31上的称为齿块Y，由于此时主动齿轮21逆时针转动而从动齿轮31顺时针转动，齿块
X的右侧与齿块Y的左侧接触，齿块X对齿块Y施加压力实现传动，由于齿块之间存在间隙，因此齿块X与从动齿轮31上的下一个齿块Z之间存在间隙D，假如在图2所示的位置主动齿轮21停止转动，而从动齿轮31由于惯性仍然具有转动的趋势，从而使齿块Z与齿块X接触，从动齿轮31仍然转动了一小段角度，也即主动齿轮21随电机停止转动的瞬间，从动齿轮31仍然继续转动，由此造成了与从动齿轮31相对固定的转臂3无法精准停止产生位置偏差。
[0027]本专利技术则通过回弹装置1对转臂3施加弹力，此弹力在转臂3停止转动之前施加，如图2所示，受此弹力作用，从动齿轮31受到沿逆时针方向的扭矩，当主动齿轮21停止时，通过此弹力将从动齿轮31的齿块Y紧压在主动齿轮21的齿块X上，防止从动齿轮31因齿隙和惯性造成位置偏差，保证了转臂3停止位置的精准。
[0028]在上述方案的基础上，本技术的回弹装置1包括固定座11、伸缩杆12和弹性件13，图3为技术的回弹装置1的结构示意图；伸缩杆12滑动插装在固定座11之内，伸缩杆12可相对于固定座11沿轴向滑动，伸缩杆12的一端从固定座11中伸出，弹性件13的两端分别顶在伸缩杆12和固定座11上；基座2和转臂3相互靠近转动时，伸缩杆12向内回缩挤压弹性件13产生弹性力，弹性件13产生的弹性力使伸缩杆12具有向外伸出的趋势，通过伸缩杆12将此弹性力施加到转臂3上。
[0029]具体地，本技术中的固定座1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种旋转消隙装置，其特征在于，包括回弹装置(1)，所述回弹装置(1)设置在基座(2)或转臂(3)上，所述转臂(3)上固定设置从动齿轮(31)，所述基座(2)上安装主动齿轮(21)，所述主动齿轮(21)由电机带动旋转，啮合带动所述从动齿轮(31)转动，使所述转臂(3)相对于所述基座(2)转动；所述回弹装置(1)能够对所述转臂(3)施加扭矩，在所述转臂(3)停止转动之前，使所述转臂(3)具有反向转动的趋势保持齿轮紧密啮合消隙齿轮间隙。2.根据权利要求1所述的旋转消隙装置，其特征在于，所述回弹装置(1)包括固定座(11)、伸缩杆(12)和弹性件(13)，所述伸缩杆(12)的一端从所述固定座(11)中伸出，所述基座(2)和所述转臂(3)相互靠近转动...
【专利技术属性】
技术研发人员：周林伟，沈浩锋，周杰，姚依笛，王谟，朱伟忠，
申请(专利权)人：天通吉成机器技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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