一种新型的贴膜机残胶检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种新型的贴膜机残胶检测装置，包括胶带，挡板、第一滚轴、传感器，所述胶带的首端穿过挡板和第一滚轴之间，所述传感器设置在胶带的首端上下两面，所述胶带依次经过第三滚轴、玻璃棒，所述玻璃棒将胶带的保护膜剥离，保护膜后方设有压紧滚轴，所述压紧滚轴正下方设有晶圆，所述第三滚轴靠近胶带处设有张力计，能够及时的发现溢胶问题，及时的给设备提供预警信号，能够快速的暂停设备，提醒人员对异常部位进行处理，减少残胶的堆积，减少品质不良。节省由于品质不良，而产生的设备损坏时间，节省处理品质事故的人力成本，节约成本，提高良率。提高良率。提高良率。

【技术实现步骤摘要】
一种新型的贴膜机残胶检测装置


[0001]本技术主要涉及半导体设备领域，尤其涉及一种新型的贴膜机残胶检测装置

技术介绍

[0002]在现有的贴膜机只能进行正常的贴膜操作，无残胶检测装置，无法对设备上遗留的残胶进行预警；所有检查需要人工进行点检清洁：耗时，耗力；遗留的残胶，会导致贴膜机贴膜异常，直接导致产品品质异常，产品良率变低，公司收益减少。如果不及时被发现，将会出现大批量的连续的不良，给公司造成巨大的损失。现有的设备在机械设计过程中，未考虑胶带在滚轮与滚轮中间，由于挤压会出现溢胶的情况，从而也未考虑由于溢胶而带来的品质问题，机械设计过程中，滚轮长短存在缺陷，未考虑由于滚轮过长，而造成胶带被挤压，出现溢胶的情况。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的上述缺陷，本技术提供一种新型的贴膜机残胶检测装置，包括包括胶带3，挡板1、第一滚轴2、传感器4，所述胶带3的首端穿过挡板1和第一滚轴2之间，所述传感器4设置在胶带3的首端上下两面，所述胶带3依次经过第三滚轴6、玻璃棒7，所述玻璃棒7将胶带3的保护膜剥离，保护膜后方设有压紧滚轴8，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型的贴膜机残胶检测装置，其特征在于，包括胶带(3)，挡板(1)、第一滚轴(2)、传感器(4)，所述胶带(3)的首端穿过挡板(1)和第一滚轴(2)之间，所述传感器(4)设置在胶带(3)的首端上下两面，所述胶带(3)依次经过第三滚轴(6)、玻璃棒(7)，所述玻璃棒(7)将胶带(3)的保护膜剥离，保护膜后方设有压紧滚轴(8)，所述压紧滚轴(8)正下方设有晶圆，所述第三滚轴(6)靠近胶带...

【专利技术属性】
技术研发人员：梅雪军，叶金浪，
申请(专利权)人：海太半导体无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：