基于微纳光纤多环谐振器的高灵敏度湿度传感器制造技术

本发明专利技术提供一个基于微纳光纤多环谐振器的高灵敏度湿度传感器。该发明专利技术由以下部分组成：1.微纳光纤多环谐振器的制备。2.实现高灵敏度湿度传感器的光路的构建。该发明专利技术具有制备简单、高性能、低损耗、成本低廉的优势，利用游标效应和琼脂糖凝胶的湿敏特性制备了湿度传感器，具有高灵敏度、快速响应和较大测量范围，可用于化工生产、食品加工等需要测量动态湿度的诸多领域。的诸多领域。的诸多领域。

【技术实现步骤摘要】
基于微纳光纤多环谐振器的高灵敏度湿度传感器


[0001]本专利技术涉及一种基于微纳光纤多环谐振器的高灵敏度湿度传感器，在高湿度环境下湿度灵敏度可达2.442nm/％RH(RH为相对湿度单位)，具有102ms的快速响应时间及较大的测量范围(60
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90％RH)，非常适合测量化工生产等领域的环境湿度变化。

技术介绍

[0002]相对湿度(relative humidity,RH)是与环境和人类最密切相关的物理量之一，对相对湿度进行测量和监测的传感器在工业、农业、生物医学等领域得到了广泛的应用。传统湿度传感器多为电子湿度传感器，具有原理简单、测量准确度高、成本低等优点，但往往对环境的洁净度要求较高，且抗腐蚀能力差、不适用于某些特殊场合如强电磁场或易燃易爆场合。因此，具有成本低、体积小、耐腐蚀、抗电磁干扰等优势的光纤湿度传感器迅速发展起来。
[0003]光纤湿度传感器的传感探头由光纤与湿敏聚合物材料共同构成，当光信号在光纤中传输时，测量环境的温度、湿度等发生变化会引起湿敏聚合物材料的折射率变化，从而影响传输光的强度，实现湿度传本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于微纳光纤多环谐振器的高灵敏度湿度传感器，其特征是，包括两部分：微纳光纤多环谐振器的制备：利用陶瓷微电偶加热器，将其加热至工作温度(约1300℃)，再将单模光纤加热至熔融状态并拉制成微纳光纤，锥腰直径2.7μm，长度10mm；制备好一根微纳光纤后，将其左端固定于光纤位移三维平台，右端沿其轴逆时针旋转180度，以确保光纤保持直的形状没有交叉；将光纤的右侧部分移至左侧，锥形部分将由于内部应力而相交；利用探针将相交的其中一根尾纤穿入相交产生的回路，形成由一个单环谐振器与一个弯曲的马赫
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曾德干涉...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏飞，易雅婷，江宇璇，
申请(专利权)人：哈尔滨工程大学，
类型：发明
国别省市：