【技术实现步骤摘要】
太阳能电池扩散炉尾气处理装置
[0001]本技术涉及一种太阳能电池扩散炉尾气处理装置。
技术介绍
[0002]扩散工序是太阳能电池生产过程中重要的一步，如图1所示，将氮气通过氮气管道1通入装有液态磷源的源瓶2中进行鼓泡，携带磷源进入扩散炉3腔室，POCL3在高温下生成五氧化二磷和五氯化磷，其中生成的五氧化二磷在高温下与硅反应生成二氧化硅和磷原子，随后磷原子通过热扩散进入体硅，实现表面磷掺杂，现有的太阳能电池扩散炉尾气处理装置由尾气管4连接冷凝瓶5组成，该方法无法完全处理扩散过程产生的五氧化二磷等固体反应物，容易在尾气管壁积聚堵塞，对扩散炉腔室环境造成影响，进而影响电池的转换效率。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种太阳能电池扩散炉尾气处理装置，其能够减少固体杂质(氧化磷等)堵塞尾气管道,从而影响腔室扩散环境，而且其维护部件少,维护时间短，结构简单易改造。
[0004]本技术的目的通过如下技术方案实现：
[0005]一种太阳能电池扩散炉尾气处理装置，它包括与氮气管道相连的氮气支路、与氮气支路出口端相连的纯水瓶以及进气端与纯水瓶出气端相连的水汽支路；所述氮气支路出口端位于纯水瓶的水中；所述水汽支路的出气端与扩散炉的尾气管相连。
[0006]较之现有技术而言，本技术的优点在于：
[0007](1)本技术在利用氮气携带水汽能够有效防止扩散工艺中产生的固体反应物堵塞管路。
[0008](2)本技术改造简单，成本低。
附图说明
[0009]图...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池扩散炉尾气处理装置，其特征在于：它包括与氮气管道相连的氮气支路、与氮气支路出口端相连的纯水瓶以及进气端与纯水瓶出气端相连的水汽支路；所述氮气支路出口端位于纯水瓶的水中；所述水汽支路的出气端与扩散炉的尾气管相连。2.根据权利要求1所述的太阳能电池扩散炉尾气处理装置，其特征在于：所述氮气支路上设有氮气单向阀。3.根据权利要求1所述的太阳能电池扩散炉尾气处理装置，其特征在于：所述扩散炉的尾气出口设有尾气单向阀。4.根据权利要求3所述的太阳能电池扩散炉...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓狄，林锦山，张超华，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：新型
国别省市：
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