一种双瓶高低压吹扫装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种双瓶高低压吹扫装置，包括工艺调节盘面、左钢瓶、右钢瓶、过滤装置和固定支架；工艺调节盘面内设置有输气管路，输气管路内设置有第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门、第一高压表、第二高压表、第一调压阀和第二调压阀；输气管路分别连通左钢瓶和右钢瓶，输气管路分别连接有左进气接口、右进气接口和排气口；左钢瓶和右钢瓶固定于固定支架上；过滤装置分别设置于左钢瓶和右钢瓶的出口处。本实用新型专利技术的双瓶高低压吹扫装置可以合理有效的满足特气设备要求、减少气源浪费。减少气源浪费。减少气源浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种双瓶高低压吹扫装置


[0001]本技术涉及化学领域，特别涉及一种双瓶高低压吹扫装置。

技术介绍

[0002]传统的微电子、半导体实验室高纯特气双瓶吹扫装置在气源出口外接一段高压金属软管、减压装置后与吹扫设备对接，该装置存在以下不足：左右钢瓶手动切换时，容易因为高压保压压力不够，造成左侧钢瓶浪费；左右两侧需单独排气，操作上环节繁琐，并且影响整体供气流程。
[0003]亟需一种可以合理有效的满足特气设备要求、减少气源浪费的高低压吹扫装置来解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本技术提供了一种双瓶高低压吹扫装置，本技术的双瓶高低压吹扫装置可以合理有效的满足特气设备要求、减少气源浪费。
[0005]本技术是通过如下技术方案解决上述技术问题的：
[0006]本技术提供了一种双瓶高低压吹扫装置，包括工艺调节盘面、左钢瓶、右钢瓶、过滤装置和固定支架；所述工艺调节盘面内设置有输气管路，所述输气管路内设置有第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门、第一高压表、第二高压表、第一调压本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双瓶高低压吹扫装置，其特征在于，所述双瓶高低压吹扫装置包括工艺调节盘面、左钢瓶、右钢瓶、过滤装置和固定支架；所述工艺调节盘面内设置有输气管路，所述输气管路内设置有第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门、第一高压表、第二高压表、第一调压阀和第二调压阀；所述输气管路分别连通所述左钢瓶和所述右钢瓶，所述输气管路分别连接有左进气接口、右进气接口和排气口；所述左钢瓶依次连通所述第一高压表、第四阀门、第五阀门和所述左进气接口，所述左钢瓶依次连通所述第一高压表、第三阀门、第二阀门、第一阀门、第六阀门和所述排气口，所述第一调压阀设置于所述第五阀门和所述第三阀门之间；所述右钢瓶依次和连通所述第二高压表、第一阀门、第二调压阀和所述右进气接口，所述右钢瓶依次连通所述第二高压表、第六阀门和所述排气口；所述左钢瓶和所述右钢瓶固定于所述固定支架上；所述过滤装置分别设置于所述左钢瓶和所述右钢瓶的出口...

【专利技术属性】
技术研发人员：周礼誉，
申请(专利权)人：上海兄弟微电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：